內(nèi)存容量更大、尺寸更小

　　最近幾年，SD和microSD內(nèi)存卡的容量穩(wěn)步提升，這些卡的物理尺寸和形狀還可以保持不變。而且，每兆字節(jié)（MB）單位成本顯著下降。上述進(jìn)步的主要原因在于：第一，顯微光刻法的發(fā)展帶來的電路密度提高；第二，使用物理上更薄的晶圓，從而能夠在同樣封裝尺寸中垂直疊放更多晶圓。

　　現(xiàn)在，內(nèi)存晶圓厚度通常為80微米或更薄，50微米是尖端技術(shù)，而20微米晶圓還處于研發(fā)層面。從規(guī)模經(jīng)濟(jì)考慮，這些晶圓的直徑能達(dá)到300毫米。硅是一種晶體材料，因此一塊300毫米×50微米的晶圓是非常易碎的，機(jī)械接觸很容易讓晶圓開裂和破損。而且，后處理費(fèi)用通常大大高于10萬美元，因此必須在單切工藝中避免破損。

圖 3

　　傳統(tǒng)上，使用鉆石圓鋸旋轉(zhuǎn)進(jìn)行的單切將會(huì)重復(fù)多次。然而如果晶圓厚度為80微米，圓鋸必須放慢到很不經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)速度，降低切割壓力以避免剝落、開裂和破損（見圖3）。這給激光器創(chuàng)造了巨大的機(jī)會(huì)?，F(xiàn)在許多芯片生產(chǎn)商已經(jīng)轉(zhuǎn)而使用355納米調(diào)Q半導(dǎo)體泵浦固體激光器。與圓鋸類似，激光切割必須采用多程，以最大限度減少需要后處理才能消除的熱損傷。因此，唯一最重要的激光參數(shù)是極高的脈沖重復(fù)頻率。更為特別的是，掃描速度通常為600到750毫米/秒，這樣才能在做5程左右處理時(shí)讓總切割速度達(dá)到150毫米/秒。這種應(yīng)用還要求非常高的邊緣質(zhì)量，所以要有50%的脈沖波動(dòng)空間疊加。因此，針對(duì)這種薄晶圓應(yīng)用，Coherent公司開發(fā)了一款脈沖重復(fù)頻率極高的激光器（AVIA 355-23-250），脈沖重復(fù)頻率為250千赫，輸出功率大于8瓦，能夠?yàn)閱纬烫峁┏渥愕那懈钅芰俊Ａ硗?，?duì)于在工藝過程開發(fā)中使用混合皮秒級(jí)激光器的興趣與日俱增，原因在于更短的脈沖持續(xù)時(shí)間產(chǎn)生的熱影響區(qū)（HAZ）更小，從而能夠避免后處理。