相干公司130W LEAP準(zhǔn)分子激光器

相干公司2kHz的IndyStar 準(zhǔn)分子激光器

采用紫外準(zhǔn)分子激光器進(jìn)行聚合物的加工可以產(chǎn)生非常干凈的燒蝕效果，而且?guī)缀醪粫a(chǎn)生熱效應(yīng)區(qū)。同時隨著準(zhǔn)分子激光器輸出功率的增長，其加工效率也不斷提高。

目前，紫外微加工技術(shù)在塑料襯底上最卓有成效的一項(xiàng)應(yīng)用就是用于噴墨打印機(jī)高質(zhì)量噴嘴的制造，它要求在塑料基板上鉆出孔徑為10-50um的微孔。這種超高精密度的加工工藝是采用248nm或者308nm的準(zhǔn)分子激光器通過掩模板成像技術(shù)來實(shí)現(xiàn)的，它要求激光輸出功率密度達(dá)到600-800mJ/cm2。掩模板成像技術(shù)一次可以加工出300個微孔。通常加工一個完整的噴嘴微孔陣列需要200個激光脈沖。相干公司130W的LEAP系列準(zhǔn)分子激光器工作頻率可達(dá)200Hz，非常適合于這種鉆孔應(yīng)用。

對于個別的需要更加靈活的鉆孔方式的需求而言，一個可行的辦法就是采用掃描頭來改變輸出光束在塑料基板上的位置。除非你需要在塑料基板上鉆斜孔，否則，采用這種方式就必須要配置一個垂直場鏡，這樣才能保證入射光始終都是垂直照射在塑料基板上。由于現(xiàn)在掃描振鏡的速度非?？欤虼讼鄳?yīng)地需要高重頻的準(zhǔn)分子激光器，相干公司的IndyStar系列激光器就是這樣一款產(chǎn)品，它具有2kHz的重復(fù)頻率。

圖1：50um厚度的塑料板加工出的孔徑60um的通孔，波長308nm，能量密度800mJ/cm2, 200脈沖