閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
光學(xué)平臺

Zygo NewView5020 表面輪廓儀

星之球科技 來源:中科院大連物理化學(xué)研究2011-07-29 我要評論(0 )   

Technical Performance Vertical (Z) Scan Range: 5 mm Vertical (Z) Scan Rate: 10 mm/sec Vertical (Z) Resolution: 0.1 nm Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 1...

 


 

Technical Performance

·Vertical (Z) Scan Range: < 5 mm

·Vertical (Z) Scan Rate: < 10 mm/sec

·Vertical (Z) Resolution: > 0.1 nm

·Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 – 11.8 mm

·Field of View Range: 0.04 – 17.5 mm; larger areas can be imaged with field stitching capability

·Step Height Accuracy: < 0.75% (Model 5032)

·Step Height Repeatability: < 0.1% (Model 5032)

 

轉(zhuǎn)載請注明出處。

暫無關(guān)鍵詞
免責(zé)聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權(quán)均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)責(zé)任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),版權(quán)歸原作者所有,如有侵權(quán)請聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個人認(rèn)為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權(quán)益,請及時向本網(wǎng)提出書面權(quán)利通知,并提供身份證明、權(quán)屬證明、具體鏈接(URL)及詳細(xì)侵權(quán)情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關(guān)涉嫌侵權(quán)的內(nèi)容。

網(wǎng)友點評
0相關(guān)評論
精彩導(dǎo)讀