·極寬的光譜范圍,波長范圍從193nm至1700nm
·390-720個波長同時測量
·大范圍的測量角度,手動角45-90o,自動角40-90o,因此該橢偏儀的 測量角度均可超過45
·融合了該公司的專利技術——旋轉補償技術,在整個范圍內(0-360o)均能得到Δ值的精確測量
·極快的測量速度,不僅體現(xiàn)在多個波長同時測量,而且其測量速度是同類產品中最快的,每次測量只需1-5秒,而其它產品則需60秒以上
·M-2000F型橢偏儀具備很好的聚焦功能,在固定角情況下,聚焦斑點可達30μm,在可變角度情況下,聚焦斑點可達100μm
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