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技術(shù)前沿

上海光機(jī)所在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進(jìn)展

激光制造網(wǎng) 來(lái)源:上海光機(jī)所2023-05-26 我要評(píng)論(0 )   

近期,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心實(shí)驗(yàn)室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進(jìn)展。研究首次證明了激光修形技術(shù)可以在近無(wú)應(yīng)力條件下...

近期,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測(cè)中心實(shí)驗(yàn)室在激光高精度修形理論及工藝研究中取得新進(jìn)展。研究首次證明了激光修形技術(shù)可以在近無(wú)應(yīng)力條件下,實(shí)現(xiàn)納米精度全頻段誤差一致性收斂。相關(guān)研究成果以“Densi-melting effect for ultra-precision laser beam figuring with clustered overlapping technology at full-spatial-frequency”為題發(fā)表于Optics Express。

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圖1 全空間頻率誤差收斂的激光修形示意圖;(a)“致密化-熔融”效應(yīng);(b)重疊集束工藝;(c1,c2)面形誤差;(d1,d2)微米尺度粗糙度誤差;(e1,e2)納米尺度粗糙度誤差(f)功率譜密度曲線。

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上海光機(jī)所,激光高精度修形理論,工藝研究,光電,激光,激光企業(yè),激光制造
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