光刻機(jī)已是當(dāng)下中國(guó)芯片制造的最大瓶頸，為此中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)鏈一直都在共同努力，力求打破這一難關(guān)，而哈工大公布的光刻機(jī)技術(shù)將有助于打破這個(gè)環(huán)節(jié)，國(guó)產(chǎn)芯片的先進(jìn)工藝問(wèn)題將因此得以解決。

光刻機(jī)的研發(fā)難度非常大，雖然全球僅有ASML可以生產(chǎn)出先進(jìn)光刻機(jī)，然而ASML自身也無(wú)法完全搞定整個(gè)光刻機(jī)元件，它自己僅能完成其中10%的零部件，其他零部件需要全球20多個(gè)國(guó)家的5000多家企業(yè)配合，由此可見(jiàn)光刻機(jī)這條產(chǎn)業(yè)鏈多么長(zhǎng)。

中國(guó)的光刻機(jī)研發(fā)進(jìn)展落后于其他環(huán)節(jié)，恰恰就在于產(chǎn)業(yè)鏈需要逐步完善，由于眾所周知的原因，中國(guó)不僅難以買(mǎi)到先進(jìn)光刻機(jī)，連先進(jìn)光刻機(jī)的元件都難以買(mǎi)到，迫使我們建設(shè)自己的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈。

此前在國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)鏈的支持下，已逐步解決了雙工作臺(tái)、物鏡系統(tǒng)、激光光源等諸多光刻機(jī)零部件，這次哈工大研發(fā)的“高速超精密激光干涉儀”，這項(xiàng)技術(shù)是14納米光刻機(jī)的重要技術(shù)，可以確保掩膜工作臺(tái)、雙工作臺(tái)和物鏡系統(tǒng)之間復(fù)雜的相對(duì)位置，實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)的整體套刻精度，可以確保諸多元件整合成系統(tǒng)后的芯片工藝精度，已是光刻機(jī)的最后技術(shù)之一，也意味著國(guó)產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)即將完成最后的步驟。

對(duì)于芯片制造工藝來(lái)說(shuō)，14納米光刻機(jī)并不僅限于生產(chǎn)14納米工藝，通過(guò)多重曝光技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)接近7納米的工藝，其實(shí)此前臺(tái)積電和三星都并非是從14納米一步邁進(jìn)到7納米，還研發(fā)了10納米、8納米等工藝，甚至在7納米工藝上也有7納米和7納米EUV之分，故以14納米光刻機(jī)生產(chǎn)接近7納米工藝的芯片是有可能的。

國(guó)產(chǎn)芯片除了在芯片制造工藝方面努力之外，還積極開(kāi)發(fā)小芯片技術(shù)，通過(guò)將兩塊芯片堆疊可以大幅提升性能；將不同工藝、不同功能的芯片封裝在一起也能大幅提升性能，這些技術(shù)臺(tái)積電、Intel都在嘗試，因?yàn)楫?dāng)前的硅基芯片達(dá)到3納米之后已接近極限，開(kāi)發(fā)芯片封裝技術(shù)已成為芯片行業(yè)發(fā)展的一個(gè)方向。

國(guó)產(chǎn)芯片制造工藝如果能達(dá)到7納米，加上小芯片技術(shù)，那么國(guó)產(chǎn)芯片的性能可望進(jìn)一步提升至接近5納米，到那個(gè)時(shí)候，困擾國(guó)產(chǎn)芯片的最大障礙將被徹底解決，美國(guó)意圖以先進(jìn)芯片技術(shù)阻礙中國(guó)科技體系發(fā)展的圖謀將破產(chǎn)。

其實(shí)國(guó)產(chǎn)芯片如今在多條途徑上發(fā)展先進(jìn)芯片，上述這些都是基于現(xiàn)有的硅基芯片技術(shù)，而歐美發(fā)展硅基芯片技術(shù)已有近百年歷史，這讓他們?cè)诠杌酒矫姹３种I(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，中國(guó)除了在硅基芯片上加快追趕之外，還在開(kāi)發(fā)更先進(jìn)的芯片技術(shù)，如量子芯片、光子芯片、碳基芯片技術(shù)等，這將是中國(guó)芯片彎道超車(chē)的機(jī)會(huì)。

在這些先進(jìn)芯片技術(shù)方面，中國(guó)已取得一些優(yōu)勢(shì)，2022年底至今，中國(guó)已先后籌建了全球第一條量子芯片生產(chǎn)線、光子芯片生產(chǎn)線，凸顯出中國(guó)在先進(jìn)芯片技術(shù)方面的突破，這些先進(jìn)芯片技術(shù)在加速推進(jìn)量產(chǎn)，一旦實(shí)現(xiàn)商用就將具有趕超歐美的實(shí)力。

總的來(lái)說(shuō)美國(guó)阻礙中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的計(jì)劃已不可能，反而是激發(fā)了中國(guó)芯片行業(yè)的潛力，短短數(shù)年時(shí)間在諸多芯片技術(shù)方面都取得突破，中國(guó)芯片或許在不久的將來(lái)打破美國(guó)在芯片技術(shù)方面的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，正是有見(jiàn)及此，美國(guó)才會(huì)在諸多技術(shù)方面施加限制，反過(guò)來(lái)恰恰說(shuō)明了中國(guó)芯片確實(shí)取得了巨大的進(jìn)展，讓它深感威脅。