據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，濱松光子（Hamamatsu Photonics）宣布其開(kāi)發(fā)出一種高密度集成技術(shù)，用以創(chuàng)建iPMSEL（可集成相位調(diào)制表面發(fā)射激光器）陣列元件。該公司表示，作為全球最小級(jí)別的半導(dǎo)體激光器，它能夠發(fā)射2D模式的激光束。濱松在一份聲明中表示：“通過(guò)利用這項(xiàng)技術(shù)，我們成功地開(kāi)發(fā)了一款iPMSEL陣列，該陣列由16個(gè)發(fā)光單元組成，在面積為2平方毫米的微型芯片上形成四排四列的布局。”

上述芯片上的每個(gè)iPMSEL陣列單元都可以獨(dú)立控制，以切換其所輸出的激光束圖案，從而使該iPMSEL陣列適用于需要高精度的三維測(cè)量?jī)x器（系統(tǒng)）。該陣列由16個(gè)iPMSEL陣列單元組成，每個(gè)單元大是邊長(zhǎng)約為200μm的正方形，并在2平方毫米的芯片上完成高密度和高精度一體成形。該陣列在發(fā)射激光束的同時(shí)，通過(guò)對(duì)每個(gè)發(fā)光單元的電氣控制來(lái)實(shí)現(xiàn)各種高精度激光束圖案之間的切換輸出。

左圖：iPMSEL陣列由16個(gè)發(fā)光單元組成。右圖：由VCSEL、DOE和iPMSEL陣列組成的光束模式光源概念圖。

產(chǎn)品概述和應(yīng)用

iPMSEL陣列能夠切換輸出10000多個(gè)點(diǎn)、條紋、網(wǎng)格、字符、CG等圖案。濱松表示，他們已開(kāi)發(fā)出利用其自主的全息設(shè)計(jì)和精微加工技術(shù)，以及基于光子晶體表面發(fā)射激光器的iPMSEL發(fā)光單元。光子晶體垂直腔面發(fā)射激光器是以京都大學(xué)野田研究室所開(kāi)發(fā)的二維光子晶體（按光波長(zhǎng)尺寸排列的微型結(jié)構(gòu)）作為諧振器的垂直腔面發(fā)射激光器。

濱松補(bǔ)充表示：“我們目前開(kāi)發(fā)的iPMSEL陣列能夠執(zhí)行高精度3D測(cè)量，例如相移法。據(jù)悉，相移法（phase-shifting method）是一種通過(guò)將周期性輸出的二維光束圖像照射到目標(biāo)物體上，并解析由物體形狀產(chǎn)生的光束失真，從而達(dá)到對(duì)表面三維形狀進(jìn)行高精度測(cè)量的一種技術(shù)。

此外，iPMSEL陣列還可用于提高3D動(dòng)作捕捉和3D臉部識(shí)別的準(zhǔn)確性。此外，通過(guò)高密度集成技術(shù)實(shí)現(xiàn)的小型輕量化優(yōu)勢(shì)，它還可被應(yīng)用于醫(yī)療和工業(yè)領(lǐng)域的緊湊型便攜式光纖內(nèi)窺鏡等設(shè)備中。