近期國內(nèi)外局勢日益復(fù)雜，華為轉(zhuǎn)單國內(nèi)廠商舉步維艱，甚至有消息稱華為新品手機將會推遲上市，就在一籌莫展之際，中科院及時為市場注射“強心針”，據(jù)其官網(wǎng)消息，中科院日前成功實現(xiàn)超高精度激光光刻技術(shù)突破，結(jié)合此前A股上市公司中國長城（000066）今年5月份成功研制出我國首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機，我國在芯片制造業(yè)又邁出堅實一步。

光刻技術(shù)實現(xiàn)突破

據(jù)中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所7月7日官網(wǎng)報道，張子旸研究員與國家納米中心劉前研究員合作，成功開發(fā)新型5nm超高精度激光光刻加工方法，并于日前在Nano Letters上發(fā)表了題為“5 nm Nanogap Electrodes and Arrays by a Super-resolution Laser Lithography”的研究論文。

據(jù)悉，研究團隊基于光熱反應(yīng)機理，設(shè)計開發(fā)了一種新型三層堆疊薄膜結(jié)構(gòu)。在無機鈦膜光刻膠上，采用雙激光束（波長為405nm）交疊技術(shù)，通過精確控制能量密度及步長，實現(xiàn)了1/55衍射極限的突破（NA=0.9），達(dá)到了最小5nm的特征線寬。研究團隊利用這種超分辨的激光直寫技術(shù)，實現(xiàn)了納米狹縫電極陣列結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制備。

此外，該研究使用了研究團隊開發(fā)的具有完全知識產(chǎn)權(quán)的激光直寫設(shè)備，利用激光與物質(zhì)的非線性相互作用來提高加工分辨率，有別于傳統(tǒng)的縮短激光波長或增大數(shù)值孔徑的技術(shù)路徑，打破了傳統(tǒng)激光直寫技術(shù)中受體材料為有機光刻膠的限制，可使用多種受體材料，擴展了激光直寫的應(yīng)用場景。

據(jù)悉，該研究團隊針對激光微納加工中所面臨的實際問題出發(fā)，解決了高效和高精度之間的固有矛盾，開發(fā)的新型微納加工技術(shù)在集成電路、光子芯片、微機電系統(tǒng)等眾多微納加工領(lǐng)域展現(xiàn)了廣闊的應(yīng)用前景。

今年以來，芯片行業(yè)除中科院的這一利好消息外，還有中國長城今年5月份成功研制的首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機，該機器不僅填補國內(nèi)空白，而且在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先。

就我國芯片行業(yè)整體而言，如今已經(jīng)具備隱形晶圓切割機研制能力，并且掌握了超高精度激光光刻技術(shù)，距離研制出光刻機可謂是更近一步。

芯片行業(yè)凜冬的“破冰者”

不知從何時起，國際局勢日益復(fù)雜，國內(nèi)部分企業(yè)被西方“精準(zhǔn)打擊”，尤其是芯片領(lǐng)域，直接對我方斷供關(guān)鍵零部件。鄰國日韓之間也出現(xiàn)經(jīng)貿(mào)摩擦，日本對韓國采取了限制關(guān)鍵半導(dǎo)體材料出口措施，這些突發(fā)事件讓國內(nèi)芯片行業(yè)愈發(fā)迫切落實關(guān)鍵領(lǐng)域自主可控這一重大目標(biāo)。

中國長城作為CEC信息安全和新興電子板塊的主力軍，正在擔(dān)負(fù)起解決國內(nèi)電子信息基礎(chǔ)軟硬件受制于人的重要使命。中國電子旗下?lián)碛休^為健全的產(chǎn)業(yè)鏈條，包括處理器設(shè)計、操作系統(tǒng)、數(shù)據(jù)庫、應(yīng)用軟件等業(yè)務(wù)板塊。其中，中國長城作為中國電子信息安全整合平臺的地位也越發(fā)明確。

2019年8月底，中國長城完成對天津飛騰（Phytium）35%股權(quán)的收購。天津飛騰是國內(nèi)重要的自主芯片設(shè)計企業(yè)之一，一直是作為中國電子集團的重要板塊，與天津麒麟（Kylin）聯(lián)手打造“PK”體系。

收購以后，依托中國長城產(chǎn)能和生態(tài)方面的先天優(yōu)勢，公司將有望與天津飛騰、天津麒麟形成深度綁定關(guān)系。中國長城可通過提供從“芯到端”的全棧式解決方案，更好地響應(yīng)國產(chǎn)化應(yīng)用需求，更將進(jìn)一步夯實公司在中國電子“PK”生態(tài)體系中的基礎(chǔ)性地位。

中國長城作為國內(nèi)重要的整機設(shè)計、生產(chǎn)企業(yè)，在承擔(dān)國產(chǎn)生態(tài)體系建設(shè)方面也有著得天獨厚的優(yōu)勢。因為整機企業(yè)在整個產(chǎn)業(yè)鏈上具備引領(lǐng)作用，同材料、零部件和軟件企業(yè)天然具備良好的合作關(guān)系，公司直接可以通過合作方式推動與國產(chǎn)基礎(chǔ)軟硬件平臺的整合。

同時，中國長城還可以依托中國電子擁有的自主可控產(chǎn)業(yè)資源，包括飛騰處理器芯片、銀河麒麟操作系統(tǒng)、中軟系統(tǒng)等，形成自主可控的完整產(chǎn)業(yè)鏈條。

現(xiàn)階段，中國長城主要從事自主可控的子公司有兩個：一個是從事國產(chǎn)信息化軟硬件設(shè)計、制造和銷售企業(yè)“深圳中電長城信息安全系統(tǒng)有限公司”，另一個就是參股公司“湖南長城銀河科技股份有限公司”，兩個公司目前均已經(jīng)擁有相當(dāng)?shù)氖袌鲇绊懥Α?/p>