已獲意向訂單60臺，預(yù)計年底分批交付

記者從河南鄭州了解到，由中國長城鄭州軌交院研發(fā)的國內(nèi)首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機自面世以來，獲得市場強烈關(guān)注，目前已接到行業(yè)客戶意向訂單60臺，預(yù)計今年能創(chuàng)造營業(yè)收入2億元以上。

記者了解到，半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機形成產(chǎn)能后，將從明年開始逐步提高產(chǎn)能，最終根據(jù)市場需求情況，穩(wěn)定在500臺以上的年產(chǎn)能，產(chǎn)值計劃達(dá)到20億元。中國長城的網(wǎng)絡(luò)安全和信息化以及高新電子核心主業(yè)板塊，將增添高端智能制造裝備的硬核內(nèi)容。

2020年5月，中國長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院聯(lián)合河南通用智能裝備有限公司，成功研制出填補國內(nèi)空白的半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機，實質(zhì)突破我國半導(dǎo)體激光隱形切割技術(shù)。

研發(fā)成功后，鄭州軌交院組織了行業(yè)重點客戶進(jìn)行半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機設(shè)備試用，客戶認(rèn)為相比同類產(chǎn)品該設(shè)備具有切割效率、良品率高等明顯優(yōu)勢，能夠出色地滿足不同材質(zhì)切割的工藝要求。

相比國外半導(dǎo)體切割智能裝備，半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機在焦點數(shù)量、焦點動態(tài)補償、加速度、切割速度、最大運行速度、開機率等重要參數(shù)上具有明顯優(yōu)勢。設(shè)備采用的激光隱形切割技術(shù)，相比傳統(tǒng)水切和激光表切，具有激光焦點小、無晶圓碎裂、無環(huán)境污染等優(yōu)點。

設(shè)備研發(fā)成功后，地方高度重視。鄭州市科技局組織第三方機構(gòu)對半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機進(jìn)行技術(shù)查新，認(rèn)為該設(shè)備研究了基于光相位調(diào)制器實現(xiàn)多焦點的全自動硅晶圓印象切割技術(shù)，采用了基于同軸尋焦裝置和高頻位移傳感器的激光焦點自適應(yīng)動態(tài)補償算法以及基于光路設(shè)計實現(xiàn)的激光線性控制和像差校正，國內(nèi)外未見與半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機綜合技術(shù)特征相同的公開文獻(xiàn)報道。

河南省電子信息產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗院出具的設(shè)備檢驗檢測報告顯示，半導(dǎo)體晶圓隱形切割機符合晶圓切割生產(chǎn)工藝技術(shù)要求，符合行業(yè)設(shè)備安全規(guī)格要求。

來自西安交通大學(xué)、中國兵器工業(yè)第214研究所的行業(yè)專家綜合測試鑒定半導(dǎo)體晶圓隱形切割機后，認(rèn)為該設(shè)備切割效率高、切割穩(wěn)定性強、應(yīng)用范圍廣，性能指標(biāo)和總體水平達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)，屬于半導(dǎo)體晶圓隱形切割領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，行業(yè)應(yīng)用前景廣闊。

鄭州軌交院院長劉振宇介紹，“將核心技術(shù)掌握在自己手里”是軌交院的初心使命。半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機批量生產(chǎn)是落實國家制造強國戰(zhàn)略、推進(jìn)新一代信息技術(shù)與制造業(yè)深度融合的具體體現(xiàn)，有利于推動我國半導(dǎo)體智能裝備獨創(chuàng)研發(fā)的進(jìn)程，加速形成我國半導(dǎo)體智能設(shè)備產(chǎn)業(yè)化生態(tài)。半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機在鄭州市高新區(qū)的產(chǎn)業(yè)化，將為河南省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新生力量，豐富河南省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局、帶動半導(dǎo)體裝備上下游產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。