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固體激光材料與固體激光器的發(fā)展及應(yīng)用

星之球科技 來(lái)源:中國(guó)百科網(wǎng)2016-08-29 我要評(píng)論(0 )   

1、前 言  與氣體激光器相比,半導(dǎo)體泵浦固體激光器具有體積小、重量輕、供電簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、便于攜帶、便于維護(hù)和操作等優(yōu)點(diǎn)

 1、前 言
  與氣體激光器相比,半導(dǎo)體泵浦固體激光器具有體積小、重量輕、供電簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、便于攜帶、便于維護(hù)和操作等優(yōu)點(diǎn)?,F(xiàn)在已用作手術(shù)治療、肌肉組織焊接、牙科治療、光鎮(zhèn)痛和光針灸等領(lǐng)域。2μm波段恰恰處于水分子的吸收峰,輸出波長(zhǎng)為 2μm的固體激光器是激光手術(shù)的最佳波長(zhǎng)。與通常的Nd:YAG激光(1.064μm)相比,人體對(duì)2μm激光的吸收效果更好,激光切割能力大大提高,尤其對(duì)敏感組織,如肝、胃、結(jié)腸等軟組織的燒蝕利切割效果更加理想。此外石英光纖還可以傳播2μm激光,這使得激光傳導(dǎo)更加容易。目前半導(dǎo)體激光器泵浦的Ho∶YLF 2.12μm激光器已做成結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)容易、便攜式的醫(yī)用器械。雖然2μm激光器有著如此廣泛而重要的應(yīng)用前景,并且在相應(yīng)領(lǐng)域已經(jīng)得到了大范圍的應(yīng)用,但是對(duì)于二極管泵浦2μm固體激光器深入的研究并不是伴隨著激光器的產(chǎn)生而開(kāi)始的,其間經(jīng)歷了漫長(zhǎng)的過(guò)程。
 
  2、國(guó)外2μm波段固體激光材料及激光器的發(fā)展?fàn)顩r
  (1)Ho:YAG激光器
  1965年Bell實(shí)驗(yàn)室Johnson等人首先報(bào)道了Ho:YAG在液氮溫度下實(shí)現(xiàn)振蕩[1],使用的晶體用熔鹽法生長(zhǎng),晶體長(zhǎng)度25mm,輸出三種不同的激光波長(zhǎng)。輸出波長(zhǎng)2.0975μm時(shí),脈沖閾值為44J;輸出波長(zhǎng)2.0914μm時(shí),脈沖閾值為1760J;輸出波長(zhǎng)2.1223μm時(shí),脈沖閾值為410J。高閾值限制了Ho:YAG的應(yīng)用。
  (2)Er,Tm,Ho:YAG激光器
  Ho:YAG激光器泵浦效率低是由于Ho3+在YAG中只有幾條弱吸收線。為了增加對(duì)燈泵能量的吸收,1966年Johnson等人采用Er3+和Tm3+來(lái)敏化Ho3+,由于它們吸收和傳遞泵浦能量,液氮溫度下得到了5%的閃光燈泵浦效率和15W的連續(xù)激光輸出[2]。1975年, Beck等人報(bào)道了直徑4mm,長(zhǎng)度70mm的晶體在液氮溫度下連續(xù)輸出50W,斜率效率6.5%,使用鎢鹵素?zé)糇鞅闷衷碵3]。1981年Barnes等人在液氮溫度下實(shí)現(xiàn)了脈沖激光振蕩和放大,TEM00模輸出112mJ,斜率效率1.2%,放大輸出235mJ。晶體直徑4mm,長(zhǎng)度56mm,晶體中Ho3+、Tm3+、Er3+和Y3+分別占0.021、0.037、0.616和0.326[4]。
 ?。?)Tm,Ho:YAG激光器
  1987年Fan等人報(bào)道了用波長(zhǎng)為781.5二極管激光器泵浦Tm,Ho:YAG獲得室溫連續(xù)輸出,閾值4.4mW,斜率效率19%,輸出波長(zhǎng)2.074μm [5]。1990年Stoneman等人實(shí)現(xiàn)了Tm,Ho:YAG在2.09~2.12范圍連續(xù)可調(diào)諧激光輸出。晶體用引上法生長(zhǎng),Tm3+和Ho3+的含量分別為8.3×1020cm-3和6.9×1019cm-3。
 ?。?)Cr,Tm,Ho:YSGG激光器
  1986年Alpatev研制出Cr,Tm,Ho:YSGG(釔鈧石榴石)激光晶體,并獲得室溫?zé)舯闷置}沖輸出能量7.4J,斜率效率3.1%,輸出波長(zhǎng)2.088μm,并于1988年實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)運(yùn)行[6]。其中晶體直徑4mm,長(zhǎng)度76mm,晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為2.5×1020cm-3、8×1020cm-3、5×1019cm-3。在室溫下獲得80mJ的電光調(diào)輸出,此時(shí)的泵浦輸入為125J,調(diào)閾值為60J。在轉(zhuǎn)鏡調(diào)時(shí),獲得280mJ的多峰光脈沖,500的總寬度,脈沖中含5~6個(gè)峰,峰-峰間隔2μm,每個(gè)峰半寬度為40~50。
  (5)Cr,Tm,Ho:YAG激光器
  1988年ST Systems公司的Mark E.Storm 采用單橢圓腔,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2.7at%、5.8at%、0.36at%。晶體直徑5mm,長(zhǎng)度53mm。閃光燈內(nèi)徑4mm,閃光燈弧長(zhǎng)50mm,閃光燈脈寬600us,全反鏡曲率半徑10m,輸出鏡透過(guò)率85%。在溫度295K時(shí),激光閾值25J,斜率效率2.3%[7]。
  1989年美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室的G.J.Quarles等人采用67mm鍍銀橢圓腔和69mm漫反射腔,晶體直徑5mm,長(zhǎng)度76.2mm,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為7.7×1019cm-3、8.0×1020cm-3、5.0×1019cm-3,氙燈充氣壓630Torr,閃光燈內(nèi)徑4mm,閃光燈弧長(zhǎng)63.5mm,閃光燈脈寬540us,諧振腔長(zhǎng)度為300mm,全反鏡曲率半徑為1m,輸出鏡透過(guò)率小于75%,輸出波長(zhǎng)為2.097μm。使用漫反腔得到了4.7%斜效率,閾值70J。使用鍍銀腔得到了5.1%斜效率,閾值38J[8]。同時(shí)從理論和實(shí)驗(yàn)上證明了YAG是Cr,Tm,Ho:YAG最好基質(zhì),Cr3+→Tm3+能量傳遞效率YAG高于YSAG和YSGG。
  1990年T.Becker等人報(bào)道了Cr,Tm,Ho:YAG激光器重頻30Hz時(shí)的輸出特性。Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2at%、5at%和0.5at%。晶體直徑分別為2.8mm、4mm和5mm,晶體長(zhǎng)度為56mm,諧振腔腔長(zhǎng)300mm,全反鏡半徑1m,輸出鏡透過(guò)率15%。閃光燈內(nèi)徑為4mm,弧長(zhǎng)76mm,放電脈寬500μm。在20oC時(shí),直徑2.8mm晶體的效率比其它兩種高,在重頻21Hz時(shí),斜效率1.6%,同時(shí)獲得了6.5W的輸出;在重頻30Hz時(shí),得到2W輸出。
  1991年美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室采用單橢圓鍍銀腔,晶體直徑5mm,長(zhǎng)度67mm,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為0.8at%、6.0at%、0.4at%,氙燈充氣壓450Torr,閃光燈內(nèi)徑5mm,閃光燈弧長(zhǎng)63mm,閃光燈脈寬290μs,諧振腔長(zhǎng)度為290mm,全反鏡曲率半徑為0.5m,輸出鏡透過(guò)率20%,水溫20oC,重頻1Hz時(shí),得到最佳斜率效率。同時(shí),研究了調(diào)的特性,發(fā)現(xiàn)開(kāi)關(guān)的Cr,Tm,Ho:YAG效率幾乎比長(zhǎng)脈沖Cr,Tm,Ho:YAG低一個(gè)數(shù)量級(jí),得到了2.121μm增益系數(shù)為0.07cm-1,估計(jì)調(diào)在2.121μm的增益系數(shù)為0.02~0.07cm-1[9]。
  1994年W.Zendzian等人報(bào)道了閃光燈泵浦的Cr,Tm,Ho:YAG激光器。注入能量110J時(shí),得到了17W的輸出,斜效率為2%,同時(shí)從理論和實(shí)驗(yàn)上驗(yàn)證了熱焦距對(duì)M2參數(shù)的影響[10]。
  1998年Yoichi等人報(bào)道了在溫度10oC,泵浦能量密度85.9J/cm3,得到了Cr,Tm:YAG和Cr,Tm,Ho:YAG的最大小信號(hào)增益系數(shù)分別為0.144cm-1和0.234cm-1[11]。
  2000年Cheng Li等人報(bào)道了采用閃光燈泵浦Cr,Tm,Ho:YAG晶體,在自由運(yùn)轉(zhuǎn)模式下,室溫獲得了4.5J的激光輸出,輸出波長(zhǎng)2.098μm,斜率效率2.7%,閾值能量95J;在聲光調(diào)方式下,室溫下單模輸出大于530mJ,脈沖寬度165ns。晶體直徑為4mm,長(zhǎng)度100mm,晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為1.2at%、6.1at%、0.4at%[12]。
  在醫(yī)用鈥激光器的研究開(kāi)發(fā)方面,美國(guó)相干公司等單位居領(lǐng)先地位,1990年向用戶(hù)提供了第一臺(tái)醫(yī)用鈥激光治療機(jī),如今已開(kāi)發(fā)出平均功率為20W、60W和100W三種單波長(zhǎng)型號(hào),相應(yīng)重復(fù)頻率分別為5-20Hz、5-40Hz和5-50Hz,相應(yīng)單脈沖能量分別為0.5-2.5J、0.2-3.5J和0.2-3.5J,相應(yīng)的平均功率設(shè)置分別為2J/10Hz、1.5J/40Hz和2J/50Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間為500μs。此外,還有80/100W 的雙波長(zhǎng)Holmium&Nd:YAG激光器,重復(fù)頻率為5-40Hz,單脈沖能量為0.2-3.5J,相應(yīng)的平均功率設(shè)置為2J/40Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間為500μs。這些構(gòu)成了Versa Pulse PowerSuiteTm系列鈥激光器。

美國(guó)Trimedyne公司開(kāi)發(fā)的鈥激光治療機(jī),平均功率有30W和80W兩種。對(duì)于30W的鈥激光治療機(jī),單脈沖能量為0.2-3.5J,重復(fù)頻率為5-20Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間為350μs。而80W鈥激光治療機(jī)采用獨(dú)特的雙脈沖技術(shù),能夠傳遞更多的能量到硬組織,同時(shí)盡量減少對(duì)周?chē)浗M織的損傷。其單脈沖能量為0.2-3.5J,重復(fù)頻率為5-60Hz,雙脈沖模式下,單脈沖有效能量為0.4-7J,重復(fù)頻率為3-30Hz,脈沖持續(xù)時(shí)間為350μs。
 
  3、國(guó)內(nèi)2μm波段固體激光材料及激光器的發(fā)展?fàn)顩r
  1991年起電子部11所展開(kāi)了鈥激光晶體研究工作。采用感應(yīng)加熱提拉法生長(zhǎng)Cr,Tm,Ho:YAG晶體,解決了高效率Cr3+→Tm3+→Ho3+能量轉(zhuǎn)移和高光學(xué)質(zhì)量晶體生長(zhǎng)工藝等一系列關(guān)鍵技術(shù)。激光棒主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到:干涉條紋0.3條/25mm,無(wú)散射顆粒,單脈沖輸出能量2.3J。
  1995年華中理工大學(xué)的葉洪波等人研制出了在室溫下Ho:YAG激光器輸出的能量3J。實(shí)驗(yàn)中所用到的泵浦方式為脈沖氙燈泵浦,聚光腔是鍍銀單橢圓腔,冷卻方式為對(duì)冷卻水進(jìn)行恒溫控制,其溫度浮動(dòng)范圍為10±5oC。實(shí)驗(yàn)采用國(guó)產(chǎn)棒尺寸為φ5×93mm,諧振腔為平凹腔,腔長(zhǎng)280mm。全反鏡為曲面鏡,曲率為1m。輸出鏡為平面鏡,在輸出鏡透過(guò)率為29%,冷卻溫度為9oC,放電脈沖半寬度為360μs,激光器閾值為98.4J,單脈沖輸出在3J以上。 1997年中國(guó)計(jì)量學(xué)院光電子研究所的黃莉蕾等人,使用國(guó)產(chǎn)晶體Cr3+(2.3×1020cm-3),Tm3+(8.2×1020cm-3), Ho3+(5.4×1020cm-3):YAG。尺寸為φ6×100mm,采用單燈相交圓柱聚光腔,內(nèi)壁貼Ag箔拋光。諧振腔為平凹腔,輸出鏡曲率半徑為5m,透過(guò)率為25%,全反鏡對(duì)2.1激光反射率大于98%。用氣壓為2×105Pa的氙燈泵浦,頻率1Hz,冷卻水溫18~22oC,激光閾值為73~84J,獲得斜率效率為2~4%,單脈沖能量為0.8~1.4J [13]。
  1997年,安徽光機(jī)所的陳長(zhǎng)水等人進(jìn)行了開(kāi)關(guān)Cr,Tm,Ho:YAG激光器的實(shí)驗(yàn)研究,獲得了單脈沖能量60mJ的2.1μm的穩(wěn)定調(diào)激光輸出,通過(guò)倍頻途徑測(cè)得了其倍頻光(1.05μm)的脈沖半寬度35ns[14]。
  安徽光機(jī)所魯士平課題組研制的HJZ-1-10型鈥激光治療機(jī)于1997年12月在杭州通過(guò)了國(guó)家醫(yī)藥管理局用光學(xué)、激光、冷療設(shè)備質(zhì)量檢測(cè)中心的新產(chǎn)品注冊(cè)檢測(cè)。經(jīng)過(guò)高溫55篊、低溫-40oC、濕度93%以及電絕緣強(qiáng)度等多種環(huán)境實(shí)驗(yàn)的嚴(yán)格檢測(cè),兩臺(tái)醫(yī)用鈥激光器所達(dá)到的指標(biāo)為:脈沖重復(fù)頻率為4~10Hz分檔可調(diào),輸出平均功率為14W左右,輸出功率的不穩(wěn)定度為±2.0%,傳輸光纖的耦合效率大于65%。目前,這兩臺(tái)鈥激光治療機(jī)正在醫(yī)院里進(jìn)行臨床應(yīng)用研究[15]。 如上所述,目前國(guó)內(nèi)的鈥激光治療機(jī),輸出平均功率14W左右,遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于國(guó)外水平,不能滿(mǎn)足醫(yī)學(xué)臨床治療要求。
 
  4、醫(yī)用Cr,Tm,Ho:YAG激光器的特點(diǎn)
  人體組織中水的比例大約占70%,因而組織對(duì)光的吸收情況與水相似。水在中紅外波段有兩個(gè)強(qiáng)的吸收譜帶,分別為2.5~4.0μm和5.6~10μm。因此,當(dāng)激光與人體組織相互作用時(shí),水對(duì)所用激光吸收系數(shù)的大小就決定了激光在組織中的穿透深度、損傷區(qū)域以及手術(shù)精度等Nd:YAG激光器的波長(zhǎng)為1.06μm,可以用石英光纖傳輸,在醫(yī)療方面有不少應(yīng)用。但是,由于水對(duì)它的吸收僅為0.1cm-1,在有些外科手術(shù)中,它的穿透深度較深,損傷區(qū)域較大,手術(shù)精度不高,因此不宜使用。Er:YAG激光波長(zhǎng)為2.94μm,水對(duì)它的吸收為3000cm-1,屬水的強(qiáng)吸收波段。對(duì)醫(yī)療應(yīng)用來(lái)說(shuō),鉺激光器是一個(gè)十分理想的光源,然而令人遺憾的是:鉺激光不能用石英光纖傳輸,能夠傳輸鉺激光的非石英光纖容易斷裂,防礙其臨床應(yīng)用。 Ho:YAG激光波長(zhǎng)為2.1μm,位于水較強(qiáng)吸收譜線。水對(duì)其吸收約為25cm-1,是水對(duì)Nd:YAG激光吸收的250倍。顯然,水對(duì)Ho:YAG激光的強(qiáng)吸收使其可以在大部分軟組織和硬組織中產(chǎn)生淺的穿透深度、高的手術(shù)精度和獨(dú)特的凝血作用,大大限制了損傷區(qū)域。在未來(lái)幾年中,它將逐步取代Nd:YAG激光器。雖然水對(duì)鈥激光的吸收只是水對(duì)鉺激光吸收的一百二十分之一,然而鈥激光能用低OH-的石英光纖傳輸,這就使鈥激光能有效地工作在氣體和液體環(huán)境中,為醫(yī)生切除軟骨和其它硬組織提供精確的途徑,使鈥激光成為現(xiàn)有激光內(nèi)窺鏡系統(tǒng)中最適宜的光源[37]。鈥激光在軟組織中的外科手術(shù)精度與CO2激光相比較,可能略低于CO2激光的手術(shù)精度,然而它能為大部分組織提供更好的凝血功能。除此之外,二者之間的最大區(qū)別是CO2激光不能用石英光纖傳輸,只能借助于笨重的關(guān)節(jié)臂來(lái)導(dǎo)光,十分不便;而能用光纖傳輸?shù)拿}沖鈥激光則是切除和燒蝕軟骨以及其它硬的鈣化的組織的有效工具。因此有人稱(chēng)鈥激光對(duì)于CO2激光來(lái)說(shuō)具有挑戰(zhàn)性,在某些手術(shù)中鈥激光具有取代CO2激光的潛力。
 
  5、大功率鈥激光器技術(shù)方案的提出
  根據(jù)上述鈥激光器在醫(yī)療中的具體應(yīng)用,我們提出了一種實(shí)現(xiàn)大功率輸出的燈泵鈥激光器實(shí)用化方案:對(duì)單路電源的放電信號(hào)進(jìn)行分頻處理,在軟硬件上實(shí)現(xiàn)單路電源改造成具有多條放電回路并且輪流等時(shí)間間隔工作的多路電源,最終實(shí)現(xiàn)一臺(tái)電源供兩路或四路Cr,Tm,Ho:YAG激光器輪流等時(shí)間間隔工作的設(shè)想。在水溫0oC,單脈沖注入能量100J,重頻20Hz時(shí),雙路Cr,Tm,Ho:YAG激光器直接輸出功率有望突破35W,合光路后光纖末端輸出功率25W。該設(shè)計(jì)方案為同類(lèi)激光器的研究與應(yīng)用提供了有利參考,具有一定的指導(dǎo)意義。

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