激光精密加工在諸如薄膜電路的功能微調(diào)、壓電石英諧振腔和單層濾波器的微調(diào)、光掩膜的修正、具有分布參數(shù)的超高頻電路的微調(diào)、光學度盤和分劃板的刻制等工業(yè)領域?qū)⒌玫皆絹碓綇V泛的應用。
激光調(diào)阻機是利用激光工藝對薄膜或厚膜電阻進行雕刻實現(xiàn)精密調(diào)節(jié)的關鍵設備,在移動終端、數(shù)碼相機、便攜機等移動設備生產(chǎn)場所,采用精密激光調(diào)阻機作為加工工藝設備,有很大的發(fā)展?jié)摿Α?/div>
調(diào)阻技術要求含量很高,需要熟練掌握激光聚焦與圖像監(jiān)控技術。同軸數(shù)控與圖像視覺自動識別定位技術,ATE(自動化測試工裝)等技術。
激光電阻微調(diào)是通過短脈沖激光掃描切割,改變電阻的導電截面積,達到把低于目標阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。利用激光束按一定軌跡照射在電阻膜片上,基片電阻漿料層受激光照射加熱汽化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導體截面面積和導電體長度,從而達到微調(diào)電阻的目的。同時,對電阻進行動態(tài)測量,將測量結(jié)果與設定阻值進行比較,并反饋控制激光的掃射運動,達到預定的要求。
現(xiàn)有的操作方式是采用精密電阻人為測量調(diào)整,這種方式需要耗費較多人工,或者使用電位器進行阻值的調(diào)整,但這種存在超調(diào),電位器會回彈,產(chǎn)生電路振蕩,在移動或運輸過程中也易松動,產(chǎn)生參數(shù)漂移。而很多電路中對電阻的阻值要求十分精確,相對誤差要求達到千分之幾甚至萬分之幾,而由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準確性,基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復性,厚膜電阻常出現(xiàn)正負誤差,現(xiàn)在制造工藝相對誤差只能達到5%,甚至更低,所以必須進行電阻微調(diào),使之達到高精度要求。
先進的激光調(diào)阻系統(tǒng)應用了大量的LSI、VLSI電路,以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復及測量等系統(tǒng)相連接。測量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無源網(wǎng)絡組成。
目前,在國內(nèi),精密激光調(diào)阻機除了三工精密能自主研發(fā)外,能生產(chǎn)銷售該設備的廠商寥寥無幾。通過短脈沖激光掃描切割電阻基片,使電阻漿料層受激光加熱氣化,形成一定深度的刻痕,從而改變了電阻體的導電截面積和導電長度,達到把低于目標阻值的電阻體修調(diào)到阻值允許的偏差范圍內(nèi)。
激光調(diào)阻機,精度易控制,速度較快,且易于自動化及批量生產(chǎn),且能完成電路的功能調(diào)阻,目前是調(diào)阻的主流工藝。
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