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電子加工新聞

激光應(yīng)用于微電子行業(yè)淺析

星之球激光 來源:激光世界2013-02-20 我要評(píng)論(0 )   

激光 是20世紀(jì)60年代發(fā)展起來的一門新興科學(xué)。它是一種具有亮度高、方向性好、單色性好等特點(diǎn)的相干光。 激光應(yīng)用于材料加工,使制造業(yè)發(fā)生了根本性變化,解決了許多常...

     2012年在全球經(jīng)濟(jì)低迷不振的大環(huán)境下,激光器制造商在“經(jīng)濟(jì)余震”中所經(jīng)歷的不確定性和擔(dān)憂,在經(jīng)濟(jì)大衰退之后的幾年內(nèi)將依然存在。然而從長(zhǎng)遠(yuǎn)銷售預(yù)期來看,在很多幾乎不受地域或者全球性經(jīng)濟(jì)衰退影響的領(lǐng)域,激光正在作為一種成熟的、對(duì)經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)發(fā)揮重要作用的技術(shù),呈現(xiàn)出上揚(yáng)態(tài)勢(shì)。盡管預(yù)計(jì)全球債務(wù)危機(jī)將會(huì)限制2013年的某些資本設(shè)備支出,但是激光器有望憑借“能實(shí)現(xiàn)制造自動(dòng)化、提高效率、降低能耗,進(jìn)而使企業(yè)在經(jīng)濟(jì)風(fēng)暴中更具競(jìng)爭(zhēng)力”的優(yōu)勢(shì)脫穎而出。

  半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展迅速,“綠色”技術(shù)無疑具有光明的未來,這就要求有新的激光加工工藝與技術(shù)來獲得更高的生產(chǎn)品質(zhì)、成品率和產(chǎn)量。除了激光系統(tǒng)的不斷發(fā)展,新的加工技術(shù)和應(yīng)用、光束傳輸與光學(xué)系統(tǒng)的改進(jìn)、激光光束與材料之間相互作用的新研究,都是保持綠色技術(shù)革新繼續(xù)前進(jìn)所必須的。2013年激光技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)將會(huì)取得怎樣的成績(jī)呢?

  半導(dǎo)體市場(chǎng):黯然神傷

  雖然智能電子設(shè)備組件的微加工將繼續(xù)為光纖激光器制造商帶來利好勢(shì)頭,但是主要依賴于半導(dǎo)體資本設(shè)備采購的激光器制造商,將在2013年遭遇坎坷。

  “隨著半導(dǎo)體行業(yè)從45nm轉(zhuǎn)向20nm甚至更高的節(jié)點(diǎn),需要更多的制造步驟處理更多的層和新材料,這導(dǎo)致資本強(qiáng)度增加。”半導(dǎo)體設(shè)備暨材料協(xié)會(huì)(SEMI)行業(yè)研究與統(tǒng)計(jì)高級(jí)總監(jiān)Dan Tracy表示,“2010年和2011年,半導(dǎo)體行業(yè)在產(chǎn)能擴(kuò)充方面實(shí)現(xiàn)了堅(jiān)挺恢復(fù),同時(shí)也轉(zhuǎn)向了更加先進(jìn)的工藝技術(shù)。而2012年產(chǎn)能擴(kuò)張的減少,為半導(dǎo)體行業(yè)帶來了更多不確定性,一些分析師預(yù)計(jì)2013年半導(dǎo)體行業(yè)的資本支出將出現(xiàn)負(fù)增長(zhǎng)。”Tracy還補(bǔ)充道,半導(dǎo)體資本設(shè)備市場(chǎng)存在著周期性,最近報(bào)道的設(shè)備數(shù)據(jù)反映了2012年下半年更加低迷的行業(yè)狀況。2012年10月的訂單出貨比為0.75,訂單量約比2011年10月下跌20%。

       “對(duì)于微電子行業(yè)來講,2012年將是一分為二的年頭,”相干微電子部門營銷總監(jiān)David Clark表示,“預(yù)計(jì)2013年傳統(tǒng)消費(fèi)電子產(chǎn)品,如筆記本電腦、PC、數(shù)碼相機(jī)、硬盤驅(qū)動(dòng)器和電視機(jī)將非常不景氣,但是平板電腦和智能手機(jī)以及相關(guān)組件將會(huì)以驚人的速度增長(zhǎng)。這無疑是個(gè)好消息,因?yàn)檫@些移動(dòng)設(shè)備組件很多都是使用相干的激光器制造的,相干的這部分業(yè)務(wù)將會(huì)繼續(xù)強(qiáng)勁增長(zhǎng)。”Clark補(bǔ)充說,“如果基于Windows 8的超級(jí)本和平板電腦在企業(yè)市場(chǎng)獲得真正成功,相信這必將刺激2013年IC銷售額的限制增長(zhǎng)。”

  IC Insihts公司也看到了類似趨勢(shì),其預(yù)計(jì)2013年電子設(shè)備的銷售額將增長(zhǎng)5%,2012年的增長(zhǎng)率為3%。Clark對(duì)更長(zhǎng)遠(yuǎn)的趨勢(shì)也持樂觀態(tài)度,他表示,“4G-LTE無線網(wǎng)絡(luò)建設(shè)、互聯(lián)網(wǎng)流量的持續(xù)增長(zhǎng)、云計(jì)算的采用一級(jí)即將向450nm晶圓的遷移,所有這些都將促使未來幾年內(nèi)半導(dǎo)體資本支出方面出現(xiàn)重大投資。”

  相干2012年第四財(cái)季(截至2012年9月29日)的銷售額,從上年同期的2.08億美元下降到1.89億美元;與上個(gè)季度相比,訂單量下降近23%。相比之下,Newport則由于研發(fā)市場(chǎng)和工業(yè)市場(chǎng)的強(qiáng)勁表現(xiàn)而實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)紀(jì)錄的銷售額;當(dāng)然半導(dǎo)體資本支出的疲軟也使其受到了一定影響,其第四財(cái)季(截至2012年9月29日)微電子業(yè)務(wù)銷售額比上年同期下降了9.7%,降至1.1億美元。

  作為一家主要為半導(dǎo)體行業(yè)提供光刻光源的供應(yīng)商,Cymer公司2012年第三季度(截至2012年9月30號(hào))的總營收約為1.32億美元,基本與上年同期持平,但低于2012年第二季度1.49億美元的總營收。2012年10月,Cymer公司被荷蘭ASML公司以大約26億美元的價(jià)格收購;2012年第三季度,Cymer出貨了27套紫外系統(tǒng),并向ASML交付了其首款極紫外光源,曝光功率為30W。

  Cymer公司和日本Gigaphoton公司是業(yè)界領(lǐng)先的極紫外光源制造商,依據(jù)摩爾定律,他們會(huì)繼續(xù)享受業(yè)務(wù)增長(zhǎng)。但是研究超短、超高功率激光脈沖(如用于光與物質(zhì)相互作用研究的極強(qiáng)光設(shè)施)的激光器制造商,正在尋求超越摩爾定律。

  “早在2007年,來自美國能源部基礎(chǔ)能源科學(xué)顧問委員會(huì)的一份報(bào)告就顯示,當(dāng)集成電路制造達(dá)到分子級(jí)或納米級(jí)的時(shí)候,其將遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越摩爾定律的限制。一個(gè)基于納米芯片的超級(jí)計(jì)算機(jī),可以舒適地握在掌中,且耗電極低。”Calmar Laser公司營銷總監(jiān)Tim Edwards說,“這使得激光產(chǎn)業(yè)令人興奮不已——沒有激光發(fā)揮舉足輕重的作用,分子尺度的未來將無法實(shí)現(xiàn)。飛秒光纖激光器制造商始終致力于提升脈沖到脈沖之間的穩(wěn)定性,以滿足眼科、光譜、DNA分析、分子成像、薄膜太陽能電池加工以及計(jì)量等應(yīng)用的苛刻要求,所有這些都提供了廣闊的科研激光市場(chǎng),但是不知為何激光市場(chǎng)并未快速增長(zhǎng)。”

 

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