由中科院長(zhǎng)春光機(jī)所和中科院物理所共同承擔(dān)的“980nm大功率重直腔表面發(fā)射激光器(VCSEL)”項(xiàng)目日前通過(guò)鑒定。
據(jù)介紹，垂直腔表面發(fā)射激光器作為半導(dǎo)體激光技術(shù)中的新型器件，相對(duì)傳統(tǒng)的邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器具有光束質(zhì)量好、易于制作大規(guī)膜集成列陣等優(yōu)點(diǎn)。在通信、加工、醫(yī)療、顯示等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，目前，國(guó)際垂直腔表上面發(fā)射半導(dǎo)體激光器方面的研究主要集中在面向光通信應(yīng)用的850nm波段小功率器件，并已經(jīng)商品化，而980nm高功率激光的報(bào)道還很少。 
面對(duì)高功率垂直腔表面發(fā)射激光器的未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)的實(shí)際需求，長(zhǎng)春光機(jī)所與中科院物理所聯(lián)合，開展了“980nm高功率垂直腔面發(fā)射激光器研究”的研究。他們建立了高功率垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)理論模型，采用能帶理論計(jì)算了量子阱光增益、最佳摻雜濃度;用有限元法首次研究了底發(fā)射結(jié)構(gòu)電極間距的最佳距離等;首次采用高導(dǎo)熱A1203薄膜鈍化技術(shù)減少非輻射復(fù)合降低器件閾值電流;首次采用氧化鉿多層膜組合技術(shù)制備高透過(guò)率出光窗口等，促使研究工作取得了突破性進(jìn)展，首次研制出500μm、600μm、700μm大直徑高功率垂直腔表面發(fā)射激光器件，連續(xù)波光功率輸出均為1.95瓦。研制出200μm直徑VCSEL器件，10ns條件下峰值光功率10.5瓦，光功率密度33.4kW/cm2;300μm直徑VCSEL器件連續(xù)波光功率輸出1.11瓦，光功率密度1.57kW/cm2;上述指標(biāo)據(jù)稱均高于國(guó)際報(bào)道的同類器件。與此同時(shí)，通過(guò)高溫快速老化方法實(shí)驗(yàn)，器件的壽命達(dá)到4,500小時(shí)。 
兩家單位將進(jìn)一步優(yōu)化器件工藝，并將產(chǎn)品推向市場(chǎng)。