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激光晶體

漫談光子晶體

激光制造網(wǎng) 來(lái)源:無(wú)線電技術(shù)2013-10-15 我要評(píng)論(0 )   

早在半個(gè)世紀(jì)前,物理學(xué)家就已經(jīng)知道,晶體中的電子由于受到晶格的周期性位勢(shì)(periodic potential)散射,部份波段會(huì)因破壞性干涉而形成能隙(energy gap),導(dǎo)致電子...

       早在半個(gè)世紀(jì)前,物理學(xué)家就已經(jīng)知道,晶體中的電子由于受到晶格的周期性位勢(shì)(periodic potential)散射,部份波段會(huì)因破壞性干涉而形成能隙(energy gap),導(dǎo)致電子的色散關(guān)系(dispersion relation)呈帶狀分布,這是眾所周知的電子能帶結(jié)(electronic band structures)。然而直到1987年,E.Yablonovitch及S.John不約而同地指出,類似的現(xiàn)象也存在于光子系統(tǒng)中:在介電系數(shù)呈周期性排列的三維介電材料中,電磁波經(jīng)介電函數(shù)散射后,某些波段的電磁波強(qiáng)度會(huì)因破壞性干涉而呈指數(shù)衰減,無(wú)法在系統(tǒng)內(nèi)傳遞,相當(dāng)于在頻譜上形成能隙,于是色散關(guān)系也具有帶狀結(jié)構(gòu),此即所謂的光子能帶結(jié)構(gòu)(photonic band structures)。具有光子能帶結(jié)構(gòu)的介電物質(zhì),就稱為光能隙系統(tǒng)(photonic band-gap system,簡(jiǎn)稱PBG系統(tǒng)),或簡(jiǎn)稱光子晶體(photonic crystals)。

一、自然界中的光子晶體
  光子晶體雖然是個(gè)新名詞,但自然界中早已存在擁有這種性質(zhì)的物質(zhì),盛產(chǎn)于澳洲的寶石蛋白石(opal)。蛋白石是由二氧化硅納米球(nano-sphere)沉積形成的礦物,其色彩繽紛的外觀與色素?zé)o關(guān),而是因?yàn)樗鼛缀谓Y(jié)構(gòu)上的周期性使它具有光子能帶結(jié)構(gòu),隨著能隙位置不同,反射光的顏色也跟著變化;換言之,是光能隙在玩變色把戲。


圖1. 蛋白石是礦物界的光子晶體


在生物界中,也不乏光子晶體的蹤影。以花間飛舞的蝴蝶為例,其翅膀上的斑斕色彩,其實(shí)是鱗粉上排列整齊的次微米結(jié)構(gòu),選擇性反射日光的結(jié)果。數(shù)年前,科學(xué)家發(fā)現(xiàn)澳洲海老鼠的毛發(fā)也具有六角晶格結(jié)構(gòu),為生物界的光子晶體又添一例。


圖2. 蛋白石是礦物界的光子晶體

二、光子晶體的基本架構(gòu)和制作
  光子晶體是在一維、二維或三維架構(gòu)上具有高度秩序排列的材料,一般所謂的光學(xué)多層膜即是一維架構(gòu)的光子晶體,已被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)鏡片上。而具有二維或是三維高度秩序排列的結(jié)構(gòu)則是目前在光子晶體領(lǐng)域中最受到重視的一環(huán)。
光子晶體的制備是利用由上而下的蝕刻來(lái)制作,該制作的程序不但繁雜亦很難做到三維的結(jié)構(gòu)。相對(duì)的,若我們效法生物體利用自組裝生成諸如頭發(fā)、牙齒以及骨頭等模式,采取由分子程度逐步建構(gòu)至納米程度的結(jié)構(gòu),亦即由下而上的方法可解決上述的問(wèn)題。在目前的科學(xué)研究中,以自組裝模式制造三維光子晶體是采用一粒徑的聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯或是二氧化硅納米顆粒。利用自然、離心、抽濾以及真空等方式將納米顆粒制成模板,再于模板上添加無(wú)機(jī)氧烷單體使其進(jìn)行溶膠凝膠反應(yīng),最后利用鍛燒與萃取等方式將有機(jī)范本移除,可生成具有光學(xué)晶體性質(zhì)的三維光子晶體。一般而言利用自然干燥的方式可能得到六面(hexagonally close packed)、面心(face-centered cubic)、體心(body-centered cubic)以及雜亂(random)堆積等形式,但若以離心干燥的方式則可能得到緊密堆積的納米顆粒范本。

 

三、光子晶體的能隙
  事實(shí)上,在三維光子能帶結(jié)構(gòu)的概念尚未問(wèn)世前,層狀介電系統(tǒng)即一維的光子晶格已被研究多年,電磁波在該系統(tǒng)中的干涉現(xiàn)象早已應(yīng)用在各種光學(xué)實(shí)驗(yàn)中,做為波段選擇器、濾波器或反射鏡等。例如光學(xué)中常見(jiàn) 布拉格反射鏡(Bragg reflector),乃是一種四分之一波長(zhǎng)多層系統(tǒng)(quarter-wave-stack multi-lay ered system),說(shuō)穿了就是簡(jiǎn)單的一維光子晶體。盡管如此,這方面的研究卻停留在一維系統(tǒng)的光學(xué)性質(zhì)上,物理界一直未能以“晶格” 的角度來(lái)看待周期性光學(xué)系統(tǒng),也因此遲遲未將固態(tài)物理上已發(fā)展成熟的能帶理論運(yùn)用在這方面。一直到了1989年,Yablonovitch及Gmitter首次嘗試在實(shí)驗(yàn)上證明三維光子能帶結(jié)構(gòu)的存在,該實(shí)驗(yàn)雖然功虧一簣,但物理界已注意到其潛力,于是開(kāi)始大舉投入這方面的研究。


圖3. 1D、2D、3D的光子晶體

       Yablonovitch及Gmitter在實(shí)驗(yàn)中采用的周期性介電系統(tǒng)是在三氧化二鋁(Al2O3 )塊材中,按照面心立方(face-centered cubic, fcc)的排列方式鉆了八千個(gè)球狀空洞,這些空洞即所謂的“原子”,如此形成一個(gè)人造的巨觀晶體。三氧化二鋁和空氣的介電常數(shù)分別為12.5和1.0,面心立方體的晶格常數(shù)是1.27公分。根據(jù)實(shí)驗(yàn)量得的透射頻譜,所對(duì)應(yīng)的三維能帶結(jié)構(gòu)如圖4所示,其中左斜與右斜線分別代表兩種不同的偏極化模。由此圖所求得的絕對(duì)能(absolute gap)位于15GHz的微波范圍,寬度約有1GHz。


圖4. 第一個(gè)功敗垂成的三維光子晶體

       遺憾的是,理論學(xué)家稍后指出,上述系統(tǒng)因?qū)ΨQ性(symmetry)之故,在W和U兩個(gè)方向上并非真正沒(méi)有能態(tài)存在,只是該頻率范圍內(nèi)的能態(tài)數(shù)目相對(duì)較少,因此只具有虛能隙(pseudo gap)。


兩年之后,Yablonovitch等人卷土重來(lái),這回他們調(diào)整制作方式,在塊材上沿三個(gè)夾120度角的軸鉆洞,如此得到的fcc晶格含有非球形的“原子”(如圖5所示),終于打破了對(duì)稱的束縛,在微波波段獲得真正的絕對(duì)能隙,證實(shí)該系統(tǒng)為一個(gè)光子絕緣體(photonic insulator)。


圖5. 第一個(gè)具有絕對(duì)能隙的光子晶體,及其經(jīng)過(guò)特別設(shè)計(jì)的製作方式

       發(fā)展至今,無(wú)論是理論上或?qū)嶒?yàn)上都已有大量的成果出現(xiàn):在三維方面,光子能隙已在許多晶格結(jié)構(gòu)不同的系統(tǒng)如面心立方、體心立方(body-centered cubic)及其它準(zhǔn)晶格(quasi crystal)結(jié)構(gòu)中觀察到;在二維方面,三角(triangular)、四角(square)、蜂巢(honey comb)及其它晶體結(jié)構(gòu)也被證實(shí)具有光能隙的存在。雖然只有完美的光子晶體才可能擁有絕對(duì)能隙,但就應(yīng)用的角色來(lái)看,科學(xué)家對(duì)不完美的光子晶體更感興趣,原因就是雜質(zhì)態(tài)(impurity state)。實(shí)驗(yàn)上發(fā)現(xiàn),在二維或三維的光子晶體中加入或移去一些介電物質(zhì)(如圖6所示),便可以產(chǎn)生雜質(zhì)或缺陷(defect)。

 


圖6. 具有點(diǎn)狀缺陷的光子晶體

       與半導(dǎo)體的情況類似,光子系統(tǒng)的雜質(zhì)態(tài)也多半落在能隙內(nèi), 這使原來(lái)為“禁區(qū)”的能隙出現(xiàn)了“一線生機(jī)”(如圖7所示)。能隙給了人類局限電磁波的能力,而雜質(zhì)所提供的一線生機(jī)則使我們有導(dǎo)引電磁波的可能,這點(diǎn)在光電上極具應(yīng)用價(jià)值。因此,在光子晶體相關(guān)領(lǐng)域內(nèi),雜質(zhì)態(tài)是個(gè)重要的研究課題。


圖7. 出現(xiàn)在能隙中的缺陷態(tài)

       對(duì)于一個(gè)雜質(zhì)態(tài)而言,由于雜質(zhì)四周都是光子晶體形成的“禁區(qū)”,電磁波在空間分布上只能局限在雜質(zhì)附近,因此一個(gè)點(diǎn)狀缺陷(point defect)相當(dāng)于一個(gè)微空腔(micro-cavity)。
如果像圖8一樣接連制造幾個(gè)點(diǎn)狀缺陷,形成線狀缺陷(line defect),電磁波便可能沿著這些缺陷傳遞,就相當(dāng)于一個(gè)波導(dǎo)(waveguide),甚至有人以它設(shè)計(jì)成光子晶體光纖(photonic crys tal fiber)。以上只是雜質(zhì)態(tài)在光電方面的幾個(gè)應(yīng)用。


圖8. 光子晶體中的線狀缺陷可以做為波導(dǎo)

四、光敏晶體管的特性
  光子晶體具有可取代或補(bǔ)償傳統(tǒng)光學(xué)之不足的特色。簡(jiǎn)單地說(shuō),就是利用人工周期構(gòu)造有效控制電磁波的特性。更進(jìn)一步,光子晶體組件的體積遠(yuǎn)比傳統(tǒng)光學(xué)組件小,并且可以用現(xiàn)成的半導(dǎo)體技術(shù)制作,因此有機(jī)會(huì)把自由空間(free space)中的光學(xué)系統(tǒng),濃縮到一顆IC上,成為光集成電路。以下所述為光子晶體的特性。
(一)長(zhǎng)波極限(Long wave length limit)
在低頻的情況下,整個(gè)光子晶體的特性,就如同一般介電質(zhì)晶體。若根據(jù)晶格的排列來(lái)調(diào)整等效介電常數(shù),可以制造出人工的單軸或雙軸晶體。
(二)偏振特性(polarization)
      在研究二維光子晶體系統(tǒng)(空氣柱或是介電質(zhì)柱)中,我們均假設(shè)第三個(gè)維度的長(zhǎng)度為無(wú)限延伸,因此可以將電磁波的偏振方向區(qū)分成TE模態(tài)(H-polarization)與TM模態(tài)(E-polarization)。針對(duì)不同的偏振方向,其對(duì)應(yīng)的能帶結(jié)構(gòu)圖也是截然不同,如圖9所示。若配合長(zhǎng)波極限的特性使用,可以制造波片(wave plate)。

圖9. (a)正方晶格光子晶體的能帶結(jié)構(gòu);(b)三角晶格光子晶體的能帶結(jié)構(gòu)

(三)能隙特性(Band Gap)
在某一頻率范圍內(nèi),由于電磁波的破壞性干涉,使入射的波向量帶著虛部,并隨著空間呈指數(shù)衰減;換句話說(shuō),在此情況下找不到其對(duì)應(yīng)的本征模態(tài),因此無(wú)法穿透光子晶體的電磁波,便完全反射回來(lái)。此效應(yīng)可用于制造反射鏡。
(四)局限特性(Localization)
藉由能隙特性,可延伸兩個(gè)主要的應(yīng)用方向。一個(gè)是制造點(diǎn)缺陷(pointdefect),形成共振腔應(yīng)用于雷射、發(fā)光二極管(LED)及光纖。另一個(gè)是制造線缺陷(line defect),形成波導(dǎo)(waveguide)組件,可克服傳統(tǒng)的光學(xué)波導(dǎo)的缺點(diǎn)。近年來(lái)有個(gè)新穎應(yīng)用組件,稱為信道選擇器(drop filter),則是結(jié)合點(diǎn)缺陷及線缺陷的思維,來(lái)達(dá)到共振波長(zhǎng)濾波的效果。

圖10. (a)點(diǎn)缺陷應(yīng)用于共振腔;(b)線缺陷應(yīng)用于波導(dǎo)

(五)異常群速度(anomalous groupvelocity)
從光子晶體的能帶結(jié)構(gòu)圖中可以知道,若把圖中的色散曲線作梯度(gradient)運(yùn)算,即可得到對(duì)應(yīng)的群速度。因此利用光子晶體的異常色散特性,有機(jī)會(huì)大大地降低光在介質(zhì)中傳播的速度。近年來(lái)有一種新式的波導(dǎo)結(jié)構(gòu),稱之耦合共振光學(xué)波導(dǎo)(coupled- resonator optical waveguide)。它是利用串接的共振腔來(lái)形成波導(dǎo)組件,由于彼此相互的共振腔有著微弱的耦合效應(yīng),因此可以獲得特殊的色散曲線如圖11所示。若設(shè)計(jì)得當(dāng),還可藉此效應(yīng)制作色散補(bǔ)償器(dispersion compensator)。

圖11. 耦合共振光學(xué)波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)圖和對(duì)應(yīng)的色散曲線圖

(六)異常折射(anomalous refraction)
若我們將光子晶體的能帶結(jié)構(gòu)展開(kāi),則可得到許多頻率等高線(frequency contours)。如圖12所示,為正方晶格轉(zhuǎn)45度后的頻率等高面。由空氣中入射的電磁波會(huì)沿垂直于等頻率線且頻率增加的方向傳播,如此就可產(chǎn)生超棱鏡現(xiàn)象(superprism phenomena)或是負(fù)折射(negative refraction)現(xiàn)象。此外利用負(fù)折射現(xiàn)象有機(jī)會(huì)達(dá)到次波長(zhǎng)成像(subwavelength imaging)圖12右圖所示。


圖12. 左為頻率等高面(正方晶格)、右為點(diǎn)光源成像(三角晶格)

 

五、光學(xué)界的半導(dǎo)體
  光學(xué)界的“半導(dǎo)體”由于雜質(zhì)態(tài)可以藉改變雜質(zhì)的大小或其介電常數(shù)而加以調(diào)整,因此只要設(shè)計(jì)妥當(dāng),我們便可按需求制造出具有特定能量或位于特定空間的雜質(zhì)態(tài),與半導(dǎo)體藉由攙入雜質(zhì)來(lái)調(diào)整載子性質(zhì)非常相似,因此,光子晶體又經(jīng)常被比喻成未來(lái)光學(xué)界的半導(dǎo)體。
       光子晶體具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),它提供了人們按自己的需求,以人工方式設(shè)計(jì)、裁制訂作(taylor)光學(xué)系統(tǒng)的可能性。許多相關(guān)應(yīng)用也紛紛被提出來(lái),雖然目前實(shí)際的應(yīng)用還有限,但隨著科技的加速發(fā)展與知識(shí)的累積,我們就能目睹“集成光路”(integrated op ti cal circuits)的實(shí)現(xiàn)。

六、光子晶體發(fā)光二極管LED
       利用光子晶體的特性,可以制作出光子晶體LED。利用光子晶體所制作出的二極管大致上可以分為2種,一種是LED,另一種是雷射二極管(Laser Diode)。LD雷射二極管分為光子晶體DFB雷射二極管(Photonic crystal DFB LD)與Photonic crystal defect LD。大家比較了解光子晶體DFB雷射二極管的結(jié)構(gòu),其雷射值可以控制在非常低的區(qū)域來(lái)做發(fā)射,這樣的結(jié)構(gòu)是必須存在光能隙的區(qū)域,所以這樣結(jié)構(gòu)要實(shí)現(xiàn)商品化是比較困難。相對(duì)的利用光子晶體的結(jié)構(gòu)制作成LED是比較簡(jiǎn)單。

圖13. 整合各種光子晶體相關(guān)結(jié)構(gòu)所設(shè)計(jì)的集成光路想象圖

       光子晶體藍(lán)色LED   圖14是利用藍(lán)色LED來(lái)制作的白光LED,藍(lán)色LED 會(huì)發(fā)出藍(lán)色的光,但是各個(gè)藍(lán)色的光會(huì)根據(jù)YAG熒光粉部分轉(zhuǎn)換成黃光,利用藍(lán)色和黃色的光,可以讓LED產(chǎn)生出白光,白光LED被應(yīng)用在白光照明燈跟液晶背光的光源,這種白光LED被稱為固體白色照明。這種光有3個(gè)特色:分別為體積小,省能源,壽命長(zhǎng),但是有一個(gè)很大的問(wèn)題需要克服:比起熒光燈,這樣的白光LED發(fā)光效率比較差,為了解決這個(gè)問(wèn)題,便可以利用光子晶體來(lái)解決這樣的問(wèn)題。


 

圖14. 一般白光LED(藍(lán)光LED+熒光粉)發(fā)光原理

       為了克服藍(lán)光LED發(fā)光效率比較低的問(wèn)題,可以將光子晶體放在藍(lán)光LED里,利用光子晶體來(lái)提高發(fā)光效率,這樣生產(chǎn)出的藍(lán)光光子晶體LED的特色是周期長(zhǎng),要讓發(fā)光效率提升,需要幾個(gè)很重要的技術(shù)。傳統(tǒng)的LED制作非常簡(jiǎn)單,但是存在的問(wèn)題點(diǎn)就是發(fā)光效率比較差,因?yàn)槭莻鹘y(tǒng)的藍(lán)光LED表面的全反射,從活性層出來(lái)的光線,會(huì)被表面全反射掉。這樣的光就沒(méi)有辦法發(fā)射到LED外面。
       光子晶體與一般LED反射臨界角光子晶體藍(lán)色LED工作原理。

       圖15左邊是現(xiàn)有的LED結(jié)構(gòu),可以看到他的全反射,現(xiàn)有的LED 臨界度是比較小的,主要是因?yàn)楸砻鎸⒐馊糠瓷?,相?duì)的,光子晶體藍(lán)色LED所設(shè)計(jì)出來(lái)的LED,由于衍射的關(guān)系,可以修正光的角度,修正后的光可以比臨界角還小,并可進(jìn)入臨界角投射到外面,這樣可以改善過(guò)去LED的光會(huì)全部反射的問(wèn)題。

 

圖15. 光子晶體與一般LED反射臨界角

       從LED的活性層發(fā)射出來(lái)的光,我們可以360度放射出去,但以往的LED只能受限于臨界角,只能在臨界角范圍內(nèi)發(fā)光,在臨界角內(nèi)的光才能發(fā)射出去,我們知道臨界角范圍內(nèi)的面積只占整個(gè)范圍的4%,所以相對(duì)光子晶體的光就比較廣,能有更多的面積將光反射出去,就是利用這個(gè)原理將發(fā)光效率提高。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

光子晶體的設(shè)計(jì)要點(diǎn)
  在光子晶體的設(shè)計(jì)上有一些重點(diǎn),有一個(gè)指針是周期。周期和衍射的距離有關(guān),如果周期越小,衍射的距離就越大,縱使經(jīng)過(guò)修正后還是沒(méi)有辦法將光發(fā)射到外面去。相對(duì)的如果周期變大,衍射的距離越小,因?yàn)檫@樣的關(guān)系,光就可以移到外面去了,所以在設(shè)計(jì)上需要找到一個(gè)最適合的周期。
       還有一個(gè)要點(diǎn)就是高度,高度跟衍射的效率有相當(dāng)緊密的相關(guān)聯(lián)性,實(shí)際上并不是所有的光都會(huì)受到衍射的影響,受到衍射影響的光都會(huì)跟衍射率產(chǎn)生相關(guān)聯(lián),所以這兩個(gè)重要指標(biāo)就是在開(kāi)發(fā)光子晶體LED 時(shí),需要計(jì)算出最適當(dāng)數(shù)值的G值,所以在設(shè)計(jì)上就必須經(jīng)過(guò)相當(dāng)精密計(jì)算來(lái)取得G值,如圖16所示。

圖16. G值將影響衍射率與發(fā)光效率

       而在設(shè)計(jì)中,如何去計(jì)算出LED表面需要多少光,可以利用 FDTD計(jì)算方式來(lái)做一些運(yùn)算,這個(gè)計(jì)算方式在光子晶體上是普遍被運(yùn)用的一個(gè)方式。


日本松下電器光子晶體LED制程
  圖17是日本松下電器對(duì)光子晶體LED上透明電極的影響所作出解釋,藍(lán)色線是沒(méi)有透明電極的狀態(tài),紅色是顯示有透明電極的狀態(tài),可以看到,無(wú)論有沒(méi)有涂上透明電極,對(duì)發(fā)光效率并沒(méi)有很大影響。根據(jù)這個(gè)結(jié)果,日本松下電器就很放心的在光子晶體上覆上一層透明電極。


 圖17. 透明電極對(duì)發(fā)光效率影響

       日本松下電器是利用藍(lán)寶石作為基板,再經(jīng)過(guò)MOCVD、EB 和RIE ETCHING等等制程,制作出二次光子晶體LED。根據(jù)日本松下電器的說(shuō)法,目前暫時(shí)是利用EB的方式,但以后在正式量產(chǎn)或商品化時(shí),就會(huì)用另一個(gè)成本更低的做法,另外還會(huì)做干式(Dry)Etching,再形成一個(gè)透明電極和電極板。圖18為光子晶體藍(lán)光LED在電子顯微鏡下的結(jié)構(gòu),左邊是在電子顯微鏡下看到的表面狀態(tài),在右上方的N電極和左下方的P電極的中間形成光子晶體。右邊是光子晶體藍(lán)光LED 在電子顯微鏡下的斷面圖,看起來(lái)像布丁狀態(tài)的構(gòu)造,分布在二次的空間上,可以看到這個(gè)透明電極它很均勻的分布在光子晶體上。


 

圖18. 電子顯微鏡下光子晶體藍(lán)光LED的結(jié)構(gòu)

        日本松下電器是第一個(gè)將光子晶體運(yùn)用導(dǎo)入藍(lán)色LED,而且很成功。發(fā)光效率達(dá)到1.5倍。相信業(yè)界透過(guò)這樣不斷的研究,顯示出固體白光照明的商品化應(yīng)該是指日可待的。這個(gè)技術(shù)絕對(duì)可以運(yùn)用并量產(chǎn)。另外一點(diǎn),光子晶體的獨(dú)特設(shè)計(jì)使得長(zhǎng)周期構(gòu)造可以實(shí)現(xiàn)。因?yàn)檫@樣的長(zhǎng)周期構(gòu)造讓GaN的光子晶體的應(yīng)用更容易實(shí)現(xiàn)。另外,經(jīng)過(guò)實(shí)際的制作后,日本松下電器也證實(shí)了一件事,在光子晶體的表面都覆蓋整面的透明電極,這樣一個(gè)獨(dú)特設(shè)計(jì),使得大面積的發(fā)光能夠具體實(shí)現(xiàn)。
 

 

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