傳感器光路效果圖
基于TDLAS(可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜)技術(shù)的氣體含量實時在線式監(jiān)測系統(tǒng)是通過氣體對特定波長的激光吸收,測量對應(yīng)氣體的含量。它是先進的高靈敏度、快速響應(yīng)的新一代氣體監(jiān)測技術(shù)。
該技術(shù)具有測量精度高,可達ppm(百萬分之一)量級;準(zhǔn)確度高,可檢測混合氣體中的特定成分氣體;響應(yīng)速度快,可達毫秒響應(yīng)量級;使用光學(xué)方式檢測,可抗干擾和防爆特性,可用于易燃易爆氣體監(jiān)測。掌握了自主知識產(chǎn)權(quán),就可定制化生產(chǎn),滿足不同行業(yè)氣體監(jiān)測需要。
本項目由中國航天空氣動力技術(shù)研究院北京航天易聯(lián)科技發(fā)展有限公司、中國科學(xué)院電工研究所、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合研制。半導(dǎo)體擁有半導(dǎo)體激光器研制和光電子封裝技術(shù)優(yōu)勢、電工所擁有結(jié)構(gòu)設(shè)計、電子電路優(yōu)勢,易聯(lián)公司擁有航天軍工工藝、產(chǎn)品化、市場推廣的優(yōu)勢,三家優(yōu)勢互補,推動氣體傳感器的研制和產(chǎn)品化。
該技術(shù)有廣闊的應(yīng)用前景。其中基于TDLAS技術(shù)的濕度(水汽)傳感器是國內(nèi)目前唯一的基于該技術(shù)的可產(chǎn)品化的濕度傳感器,能夠解決現(xiàn)有濕度計存在的低溫濕度無法測量、高濕度測量不準(zhǔn)確等問題,可廣泛應(yīng)用在氣象監(jiān)測、制藥、煙草、電子工業(yè)、食品加工、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域;同時基于該技術(shù)的甲烷等易燃易爆氣體傳感器具有本質(zhì)安全性,是易燃易爆、有毒有害等危險氣體監(jiān)測的最佳解決方案?;谠摷夹g(shù)的其他氣體傳感器(甲烷、HF、HN3、NOx等)還可應(yīng)用在環(huán)境監(jiān)測、汽車制造和航空航天、各種原材料制造、化學(xué)制造等行業(yè),具有重大社會經(jīng)濟效益。
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