8、花瓣形

圖3所示的誤差隨時間和間隔不斷增加使線出現(xiàn)花瓣形。導致花瓣形的可能原因有：(1)在材料溫度傳感器定位不正確或者膨脹系數(shù)不正確。(2)滾珠絲杠在測試期間溫度進步、機床溫度改變。

圖3 花瓣形誤差曲線

為保證測試的精確度，建議在開始校準之前要讓機床完全預熱。在圖3中，安裝滾珠絲杠的端部可能正好與行程起始點重合，并且可在另一端產(chǎn)生軸向浮動。假如滾珠絲杠在對端受到限制，圖形將顯示負坡度。

9、三角形

三角形曲線是指誤差呈線性增加，誤差在行程最遠端機床反轉時出現(xiàn)躍升，然后在回程測試回到與軸線起始點時回到同樣位置上。出現(xiàn)三角形的可能原因是在軸線外端部因?qū)к壞p而出現(xiàn)偏轉。應當留意的是，反向反射鏡的位置對顯示的誤差有明顯影響。建議使用角度光學鏡組直接丈量偏轉角，以便對偏轉題目的嚴重程度有充分的了解。

10、臺階形

圖4顯示的或上或下臺階沿軸線長度按一定的間隔出現(xiàn)。出現(xiàn)臺階形的可能原因在機床方面：大機床上各齒條段對準不佳或裝配不佳或線性編碼器或感應式丈量器分段對準不佳或裝配不佳。

圖4 臺階形誤差曲線

在裝備有齒條和齒輪傳動機構的大型機床上，齒條由很多分別裝配在機床上的單獨分段組成，必須確保每段都正確地與其它段對準，保證齒輪能夠平滑地從一段轉到下一段。假如齒條段未正確對準，傳動齒輪在經(jīng)過對準不佳的接合點時可能發(fā)生偏轉。這種偏轉會導致丈量值出現(xiàn)突躍臺階。這種題目可以通過檢查每個齒條段的長度和相對位置，并與圖形數(shù)據(jù)比較來查明。

綜上分析可以看出，除機床本身精度不佳會帶來上述各種誤差，激光干涉儀操縱不當(包括精度不夠穩(wěn)定或采用自身對溫度影響比較敏感的激光干涉儀系統(tǒng))也會帶來較大誤差。