一切以氣體或蒸汽作為激光工作物質(zhì)的激光氣，統(tǒng)稱為氣體激光氣。這是目前種類最多、發(fā)展最快應(yīng)用最廣的一類激光器。通常可以把氣體激光器劃分為原于氣體激光器、離子氣體激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體激光器的激勵方式很多，通常采用氣體放電激勵，此外還可采用電子束激勵、氣動式激勵、化學(xué)激勵、光激勵和核動激勵等。氣體激光器與液體激光器、固體激光器和半導(dǎo)體激光器一樣，已經(jīng)實現(xiàn)了實用化。它已廣泛用于工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究、國防建設(shè)和醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、
水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗?span lang="EN-US">KrF）激光，可稱為第三代激光。
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常見的激光混合氣的組成和主要用途： |
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