伴隨著現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，熔石英元件紫外激光誘導(dǎo)損傷問題嚴(yán)重制約了高功率激光系統(tǒng)的發(fā)展。目前接觸式研拋工藝不可避免地會(huì)產(chǎn)生亞表面缺陷，且難以被后處理完全去除，這嚴(yán)重縮短了熔石英元件使用壽命。與此同時(shí)，傳統(tǒng)的亞表面缺陷檢測方法只能對局部信息進(jìn)行間接測量，難以表征深亞表面缺陷。

在之前的研究中【Light: Advanced Manufacturing 4(3), 181-194 (2023), Optics Express 31(22), 36359-36375 (2023)】，研究團(tuán)隊(duì)基于微秒脈沖激光低應(yīng)力均勻燒蝕技術(shù)提出了激光層析燒蝕表征亞表面缺陷的方法，并將其耦合到材料快速去除過程中，實(shí)現(xiàn)了對亞表面缺陷深度、分布等信息的定量獲取及有效去除。

在本項(xiàng)工作中，研究人員建立了考慮光場調(diào)制的激光層析燒蝕多物理場模型，并采用飛秒激光預(yù)制了不同形貌的亞表面缺陷，準(zhǔn)確預(yù)測亞表面缺陷深度數(shù)值，揭示亞表面缺陷在激光逐層燒蝕下的演化規(guī)律，并提出亞表面缺陷深度演變的三個(gè)階段。這表明采用本方法不會(huì)導(dǎo)致亞表面缺陷的延伸，從而驗(yàn)證了利用激光層析燒蝕去除并表征亞表面缺陷的可行性與準(zhǔn)確性。