真空輔助薄膜技術(shù)產(chǎn)生具有特殊性質(zhì)的薄膜表面。例如，它被用于美化高層建筑的玻璃和電子元件。

巨大的玻璃外墻是現(xiàn)代高層建筑的一大特色。其設(shè)計(jì)是為了讓充足的陽(yáng)光照入建筑物。但是，即使在陽(yáng)光照射下，房間內(nèi)也幾乎不會(huì)變熱。玻璃上的特殊涂層不僅允許光線(xiàn)進(jìn)入，還可阻擋高能射線(xiàn)，同時(shí)抑制低溫下的熱損失。

納米涂層

這些涂層通過(guò)濺射涂覆。這使得載體材料能夠以金屬、氧化物、氮化物和其他化合物層提供。這些化合物層的厚度在微米級(jí)，甚至納米級(jí)。建筑玻璃使用氧化錫、金、銀和銅材料來(lái)防曬和隔熱。其他材料使制造超薄平板顯示屏和觸摸屏成為可能。

濺射在真空室內(nèi)進(jìn)行。涂層材料（目標(biāo)）放置在待涂覆工件（基材）的對(duì)面。然后，室內(nèi)被抽真空，并引入惰性氣體——通常是氬氣。同時(shí)，還要施加幾百伏的高壓。

原子"臺(tái)球"

在高電壓下，攜帶巨大能量的氬離子開(kāi)始轟擊目標(biāo)。像臺(tái)球一樣，它們通過(guò)激波級(jí)聯(lián)從涂層材料中釋放原子。釋放出的原子飛到基板上，在那里像凝結(jié)在浴室鏡子上的水蒸氣一樣，形成一層薄薄的涂層。

利用磁控濺射中附加的磁場(chǎng)，可以更快地去除靶上的物質(zhì)，加速涂覆過(guò)程。在濺射過(guò)程中，真空室的工作壓力不超過(guò)0.1毫巴。以這種方式，"物質(zhì)蒸汽"到達(dá)未經(jīng)檢查的基板，沒(méi)有雜質(zhì)。在這種條件下，即使在一米高的玻璃上，也會(huì)形成極薄、均勻，同時(shí)極其光滑、致密和粘附的涂層。