在IC產(chǎn)品生產(chǎn)制造中,由于制程工序繁雜,為了保證整個制程鏈的可追溯性、且不損傷元器件的前提下,需在已塑封好IC的特定位置,打上清晰的流水編號、產(chǎn)品名稱、廠商等訊息所對應(yīng)的特定字符串。
隨著芯片尺寸越來越小,標(biāo)刻的字符愈小,對打標(biāo)精度的要求也越來越高。大族顯視與半導(dǎo)體針對IC打標(biāo)的要求,結(jié)合自身激光工藝,推出一套完整的全自動高精度半導(dǎo)體標(biāo)刻系統(tǒng)解決方案,并在實(shí)際生產(chǎn)中應(yīng)用。
圖源:攝圖網(wǎng)
為了保證加工精度和良率控制,大族顯視與半導(dǎo)體對PLC控制系統(tǒng)、視覺系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、軟件系統(tǒng)等方面進(jìn)行了優(yōu)化和技術(shù)突破??蛇m用于半導(dǎo)體行業(yè)封裝后段,滿足SOP、QFN、LGA、BGA等各種引線框架和基板類IC產(chǎn)品打標(biāo)。
(180x320)mm的大幅面高精度打標(biāo)技術(shù) 采用雙激光器,雙打標(biāo)頭來實(shí)現(xiàn)(180x320)mm的大幅面打標(biāo)范圍,激光光斑大小在50~90μm可調(diào)節(jié);選用高品質(zhì)的激光掃描振鏡,長時間激光偏移保持在5μm; 穩(wěn)定的激光器輸出功率,確保加工工藝的一致性 配置獨(dú)立的能量檢測和能量補(bǔ)償系統(tǒng),可自動通過軟件定期對能量進(jìn)行檢測和補(bǔ)償,確保加工品質(zhì),填補(bǔ)了國內(nèi)激光標(biāo)刻設(shè)備在此方面的空白;同時也可保證操作人員的安全性; 防呆及Post inspection功能,及時遏制不良連續(xù)產(chǎn)生 采用機(jī)械&視覺雙定位對產(chǎn)品的來料、加工、檢測進(jìn)行全面的視覺監(jiān)控和視覺定位及檢測,保證標(biāo)刻精度; 自研軟件系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,優(yōu)化編輯界面,提升用戶體驗(yàn) 系統(tǒng)支持一鍵掃碼,自動提取印字信息等交互功能; 支持2D系統(tǒng),選擇性打標(biāo)、防反檢測; 采用獨(dú)特的壓輪技術(shù),可兼更大尺寸的產(chǎn)品翹曲 目前市場可接受產(chǎn)品翹曲標(biāo)準(zhǔn)是5mm,但大族設(shè)備可兼容7mm的產(chǎn)品翹曲,進(jìn)行正常的運(yùn)行加工。
△大族全自動高精度激光標(biāo)刻設(shè)備
掃描模式 | 單線/填充(可選) |
線寬 | 70±20μm可調(diào) |
刻蝕深度 | 15-40μm |
位置精度 | ±0.02mm |
字體尺寸精度 | ±0.02mm |
標(biāo)刻速度 | 1000mm/s |
Throughput | 1000strip/hour |
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