世界上的大型顯示屏制造商每天生產(chǎn)超過 100 萬個(gè)顯示屏。為實(shí)現(xiàn)這樣的產(chǎn)量,需要非常高速的生產(chǎn)工藝。 在前段生產(chǎn)步驟中更容易實(shí)現(xiàn)這種高速吞吐率。這是因?yàn)樵陲@示面板制造周期的第一階段,工藝是在可容納數(shù)百個(gè)顯示屏的玻璃基板上執(zhí)行的。因此,在準(zhǔn)分子激光退火 (ELA) 和激光剝離 (LLO) 等步驟中,能夠一次性同時(shí)處理玻璃基板上的所有顯示屏。 但是當(dāng)大尺寸基板被分成 “Cell” 時(shí),情況會(huì)發(fā)生變化。這意味著要將大尺寸基板切割形成一個(gè)個(gè)單獨(dú)的顯示屏,或者在有些情況下切割形成包含幾個(gè)顯示屏的分組面板。就其本質(zhì)而言,這種 Cell 切割操作無法在整個(gè)面板上同時(shí)進(jìn)行,而是需要按部就班執(zhí)行一系列操作。 當(dāng)然,制造商不希望 Cell 切割成為生產(chǎn)瓶頸。此工藝必須與生產(chǎn)流程的其余環(huán)節(jié)保持節(jié)拍。 優(yōu)質(zhì)的切割工藝 理論上講,可以使用多種不同的方法輕松實(shí)現(xiàn)薄型柔性 OLED 顯示屏切割。然而,在實(shí)踐中,這一應(yīng)用展現(xiàn)出一些獨(dú)特的問題。 首先,基板上每個(gè)顯示屏與相鄰顯示屏僅相隔幾毫米。其次,顯示屏的結(jié)構(gòu)是由一堆異構(gòu)材料組合而成,每種材料的切割特性可能不同。最后,顯示屏是相對精密且脆弱的電子設(shè)備,其組成的不同膜層,可能會(huì)因熱量或其他因素影響導(dǎo)致物理上的分離,從而對顯示屏造成損傷。 在所有上述條件的限制下,CO2 激光器提供了優(yōu)化切割工藝的最佳手段。這些激光器產(chǎn)生的高功率紅外光會(huì)被 OLED 結(jié)構(gòu)中的各種材料很好地吸收,這就意味著,每一層都能夠得到有效切割。而且,這些激光器在切割工藝中不會(huì)產(chǎn)生任何碎屑,從而避免對顯示屏外觀或功能可能造成的影響,或是需要引入額外步驟才能去除這類碎屑。 在 Cell 和偏光片切割工藝中,通常利用高速、精密的掃描系統(tǒng)來傳送聚焦的 CO2 光斑。這樣做可以提供所需的吞吐率,并能實(shí)現(xiàn)切口寬度較窄的直線切割。 Cell 切割涉及多個(gè)膜層 不過,能夠?qū)崿F(xiàn)快速切割的高功率激光也會(huì)帶來一些負(fù)面作用。這是因?yàn)?,CO2 激光器發(fā)出的紅外光可用于切割的原理是基于熱效應(yīng)。也就是說,激光會(huì)對材料進(jìn)行加熱直到材料氣化。在切割過程中,如果在部件上施加過多熱量,會(huì)產(chǎn)生較大的熱影響區(qū),進(jìn)而損壞顯示屏電路。 此外,柔性 OLED 顯示屏的底部和頂部膜層都是聚合物材質(zhì)。如果這種塑料在切割過程中被過度加熱,材料中的一部分會(huì)被熔融但不會(huì)氣化。然后,它往往會(huì)流動(dòng)并重新凝固成“珠子”形狀,從而在膜層邊緣處導(dǎo)致略厚的“唇緣”。 這個(gè)“唇緣”在后續(xù)生產(chǎn)步驟中會(huì)帶來問題,特別是在 OLED 顯示屏頂部貼附偏光片時(shí)問題更為突出。這種偏光片用于抑制環(huán)境光反射從而增強(qiáng)顯示對比度,也采用 CO2 激光器做切割,因此可能會(huì)遇到相同的邊緣增厚問題。 示意圖說明了 使用連續(xù)二氧化碳激光器切割顯示屏單元板時(shí)的問題 在將這兩部分膜層壓合到一起時(shí),邊緣的唇緣會(huì)在膜層之間產(chǎn)生氣泡或間隙。這是我們非常不希望發(fā)生的情況。 調(diào)制型 CO2 激光器切割 避免在切割邊緣產(chǎn)生唇緣的方法是對 CO2 激光器進(jìn)行調(diào)制,這意味著要實(shí)現(xiàn)激光束的快速打開和關(guān)閉。這樣,激光作用產(chǎn)生的熱量仍然足以使材料氣化。但又不會(huì)讓激光加熱過程持續(xù)太長時(shí)間,從而導(dǎo)致熱量傳導(dǎo)深入到基板內(nèi)部,這種熱量會(huì)熔融基板內(nèi)部的材料,而不是完全去除。 有兩種不同的方法可以調(diào)制 CO2 激光器。第一種方法,是采用輸出連續(xù)波的激光器,然后使用外部聲光調(diào)制器將其切成脈沖。Coherent DIAMOND Cx-10LDE+ 就是這種方案,目前在平板顯示行業(yè),它是 Cell 和偏光片切割工藝中最熱門的激光器型號(hào)。 Cx-10LDE+ 被如此廣泛使用的一個(gè)重要原因是其中內(nèi)置了調(diào)制器。通過這種方法,我們能夠把激光器和調(diào)制器完全集成在一起,從而優(yōu)化系統(tǒng)的整體性能。這對于達(dá)到高精度的脈沖控制和功率穩(wěn)定性至關(guān)重要,顯示面板制造商要求工藝具備極高的一致性和可重復(fù)性,上述性能是實(shí)現(xiàn)該目標(biāo)的關(guān)鍵前提。 調(diào)制 CO2 激光器的第二種方法是 Q 開關(guān)。在這種方法中,調(diào)制器置于激光諧振腔內(nèi)部,以便激光器以脈沖模式(而不是連續(xù)模式)運(yùn)行。這讓激光器的工作模式發(fā)生了很大變化。因此,外部調(diào)制器的引入可以使激光器輸出微秒級(jí)寬度脈沖, Q 開關(guān)方案則能夠產(chǎn)生更窄的納秒級(jí)寬度脈沖,而且還能顯著增加峰值脈沖功率。 這些更短的脈沖可進(jìn)一步縮小熱影響區(qū),還能夠?qū)崿F(xiàn)更高的精度以及更好地控制切割工藝。因此,許多顯示面板制造商正在轉(zhuǎn)向采用這種技術(shù)。Coherent DIAMOND Cx-10LQS+ 是市面上唯一一款 Q 開關(guān) CO2 激光器。 更可靠,更省錢 Coherent 高意公司的激光器如此廣泛應(yīng)用于 Cell 和偏光片切割的另一個(gè)原因,是它們的使用壽命和可靠性,以及我們的全球服務(wù)基礎(chǔ)設(shè)施。顯示面板制造商正在持續(xù)不斷地生產(chǎn)大量產(chǎn)品,而因激光器的維修或更換產(chǎn)生的生產(chǎn)停機(jī)時(shí)間會(huì)對生產(chǎn)效率和成本產(chǎn)生巨大影響。這些激光器出眾的使用壽命(通常在 1 萬到 2 萬小時(shí))可確保不間斷生產(chǎn)高質(zhì)量的面板。而且,在最終需要更換激光器時(shí),Coherent在全球的庫存和快速響應(yīng)服務(wù)團(tuán)隊(duì)可確保及時(shí)更換。
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