MEMS掃描鏡，也稱為MEMS微鏡，是利用光學(xué)MEMS技術(shù)，將微光反射鏡與MEMS驅(qū)動(dòng)器集成在一起制造而成的光學(xué)MEMS器件。MEMS掃描鏡主要應(yīng)用在激光技術(shù)中，功能是實(shí)現(xiàn)激光指向偏轉(zhuǎn)、圖形化掃描、圖像掃描等，主要產(chǎn)品包括電磁驅(qū)動(dòng)類、靜電驅(qū)動(dòng)類、電熱驅(qū)動(dòng)類、壓電驅(qū)動(dòng)類等。

MEMS掃描鏡具有體積小、掃描頻率高、使用壽命長、功耗低、成本低、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，可以用于智能手機(jī)、平板電腦、可穿戴智能設(shè)備、VR/AR、激光投影儀、激光雷達(dá)、3D攝像頭、3D掃描儀、激光打印機(jī)、汽車抬頭顯示（HUD）、醫(yī)療成像設(shè)備等產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域，在消費(fèi)電子、通訊、家電、汽車、儀器儀表、醫(yī)療、工業(yè)、軍工國防等行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用，市場需求不斷增長。

在工業(yè)中，隨著制造技術(shù)不斷進(jìn)步，適用于精密加工的激光加工應(yīng)用需求不斷增長，2020年，我國激光加工設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到690億元左右。在自動(dòng)駕駛領(lǐng)域，激光雷達(dá)是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)駕駛的核心技術(shù)之一，具有不可或缺性，2020年，我國激光雷達(dá)市場規(guī)模達(dá)到180億元左右。僅從工業(yè)以及自動(dòng)駕駛領(lǐng)域來看，激光技術(shù)應(yīng)用規(guī)模正在不斷攀升，利好MEMS掃描鏡行業(yè)發(fā)展。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2021-2025年MEMS掃描鏡行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，在全球市場中，MEMS掃描鏡領(lǐng)先生產(chǎn)商主要有德州儀器、意法半導(dǎo)體、博世、濱松、MicroVision、MEMSCAP等。在我國市場中，MEMS掃描鏡主要研究機(jī)構(gòu)有中科院上海微系統(tǒng)所等，主要生產(chǎn)企業(yè)有微奧科技、知微傳感、希景科技等。

MEMS掃描鏡可以承受的激光功率從瓦級、十瓦級到百瓦級、千瓦級，越高級別的MEMS掃描鏡的設(shè)計(jì)難度、制造工藝要求越高；為滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域需求，提高產(chǎn)品可靠性以及降低生產(chǎn)成本，MEMS掃描鏡的鏡面尺寸、掃描角度、軸數(shù)、驅(qū)動(dòng)方式等技術(shù)仍在不斷升級?？偟膩砜?，在下游產(chǎn)品技術(shù)含量不斷提高的情況下，MEMS掃描鏡行業(yè)技術(shù)壁壘在不斷提升。

新思界行業(yè)分析人士表示，我國激光加工、自動(dòng)駕駛、電子家電等領(lǐng)域激光技術(shù)應(yīng)用需求不斷上升，MEMS掃描鏡行業(yè)未來發(fā)展前景良好。與國外企業(yè)相比，我國MEMS掃描鏡企業(yè)在規(guī)模、研發(fā)、技術(shù)等方面存在差距，品牌知名度較低，特別是在高端市場中競爭力弱。經(jīng)過不斷發(fā)展，我國MEMS掃描鏡行業(yè)中的優(yōu)秀企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)可以應(yīng)用在自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域，但未來還有較大進(jìn)步空間。