大家都知道,此前有消息傳出,作為我國目前最大最先進(jìn)的晶圓代工廠,中芯國際終于收到了來自ASML的光刻機(jī),而且順利的進(jìn)入了深圳廠區(qū),有了ASML的光刻機(jī)之后,中芯國際不僅可以實現(xiàn)14納米芯片的擴(kuò)大生產(chǎn),還將開始7納米的生產(chǎn)。
在人們還沒來得及開心,現(xiàn)在又出現(xiàn)了大反轉(zhuǎn),那就是中芯國際獲得光刻機(jī)并不是生產(chǎn)7納米工藝芯片所需的EUV芯片,實際上這臺機(jī)器應(yīng)該還是193nm波長的DUV系列光刻機(jī),根據(jù)中芯國際發(fā)布的消息來看,這臺機(jī)器是為了用于現(xiàn)有的生產(chǎn)線來進(jìn)行擴(kuò)容。
因為目前中芯國際深圳產(chǎn)區(qū)所提供的產(chǎn)品還是0.35μm到90nm,有了EUV光刻機(jī)的支持后,就可以開始更先進(jìn)工藝的生產(chǎn)了,而且中芯國際采購EUV光刻機(jī)的主要目的也是對先進(jìn)工藝進(jìn)行試驗和測試的。
對于中芯國際成功獲得ASML光刻機(jī)的消息,外界確實傳瘋了,但是為了得到更準(zhǔn)確的消息,中芯國際也對媒體做出了證實,這臺光刻機(jī)只是常規(guī)設(shè)備,不屬于EUV光刻機(jī),而且EUV對于中芯國際,對于芯片行業(yè)影響力都是比較大的,如果真正的獲得了,中芯國際是會主動通過官方發(fā)布消息的。
同時,中芯國際也表示,沒有EUV的支持,也不會影響芯片的生產(chǎn),由于美國的阻擾,本應(yīng)該在2019年交付的機(jī)器到現(xiàn)在還沒有交付,與其坐等ASML出手,還沒有自己謀求新的道路,現(xiàn)在中芯國際已經(jīng)采購了美國泛林公司6億美元設(shè)備,還有美國應(yīng)用材料、日本東京電子公司高達(dá)77億元的設(shè)備,這將進(jìn)一步的提升14納米工藝芯片的產(chǎn)能。
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