在上世紀(jì)中期，貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明“貝爾太陽(yáng)能電池”，但是其昂貴的成本限制了太陽(yáng)能電池行業(yè)的發(fā)展，即使此后經(jīng)過(guò)55年，光伏太陽(yáng)能電池的發(fā)電量在全球電網(wǎng)中也只占大約0.04%。然而，形勢(shì)在近幾年發(fā)生了變化，從平板顯示和半導(dǎo)體行業(yè)衍生出來(lái)的激光加工技術(shù)使太陽(yáng)能行業(yè)出現(xiàn)了爆發(fā)式的增長(zhǎng)。

目前商業(yè)化應(yīng)用有三種常見的太陽(yáng)能電池技術(shù)：多結(jié)電池，晶硅電池和薄膜電池。多結(jié)電池通過(guò)在單晶基片上應(yīng)用化學(xué)氣相沉積技術(shù)而制備，擁有最高的電子轉(zhuǎn)換效率（一般28-29%，甚至可達(dá)40%）。由于生產(chǎn)成本非常昂貴，它們通常用于不計(jì)成本或者有效面積較小的應(yīng)用，如衛(wèi)星或太陽(yáng)能集中器。晶硅電池的應(yīng)用最為廣泛，單晶或者多晶硅的效率大致是13%到22%范圍。薄膜電池是一種新技術(shù)，具有相對(duì)較低的效率（8-18%）和較低的生產(chǎn)成本。

晶硅電池占據(jù)著大約93%的光伏市場(chǎng)。在2006年，太陽(yáng)能應(yīng)用超過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)，成為硅片最主要的應(yīng)用方向(55%)，這使得硅片的需求大量增加，并造成了硅片價(jià)格地飛速升高。因此人們開始尋找替代方案，例如薄膜電池。薄膜電池通常由多層不同材料附著在玻璃或者金屬基底上，常見的結(jié)構(gòu)如下圖所示。大部分吸收材料使用的是非晶硅，碲化鎘(CdTe)，銅銦鎵硒化物(CIGS)。電池的外電極通常由氧化銦錫(ITO)、氧化鋅(ZnO)等導(dǎo)電玻璃(TCO)，以及鋁、鉬等金屬組成。二極管泵浦激光器常用于在不同的層次上的連接和絕緣部分劃線。

薄膜電池的刨面圖， P1, P2和P3通過(guò)劃線來(lái)實(shí)現(xiàn)電路連接，TCO=Transparent Conductive Oxide

激光劃線
制造薄膜電池的第一步是在玻璃基底上鍍上電極，此鍍膜一般是ITO（Indium Tin Oxide，一種透光材料）。然后P1過(guò)程劃線電子線路，通常使用調(diào)Q激光器1064 nm波長(zhǎng)和12-15 W平均功率。為提高產(chǎn)量，激光必須以100 KHz以上的高重頻進(jìn)行快速掃描，脈寬應(yīng)該很窄（15-40 ns）使得峰值功率高于材料的消融閾值。

實(shí)現(xiàn)這種加工過(guò)程的理想激光器包括光譜物理（Spectra-Physics）的Navigator，Hippo或者Talon系列，目前全世界已經(jīng)有數(shù)百套這種激光安裝到光伏劃線設(shè)備中。光斑質(zhì)量和脈沖穩(wěn)定性也非常重要，它們是確保劃線品質(zhì)、重復(fù)性和可靠性的關(guān)鍵。一旦ITO層完成，電池板重新回到化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，進(jìn)行半導(dǎo)體鍍膜（一層非晶硅）。

P1層激光劃線：玻璃基底上的ITO 

之后是P2激光加工過(guò)程，利用532 nm激光器從玻璃的背面進(jìn)行劃線。同樣，高重頻和短脈沖寬度（15-30 ns）是最理想的，而該過(guò)程對(duì)功率的要求并不高（通常小于1W）。因此可以使用一臺(tái)低功率綠光激光器，或者一臺(tái)4-6 W的激光器分成多束同時(shí)進(jìn)行多次加工。當(dāng)P2過(guò)程完成后，電池板進(jìn)行背電極鍍膜（一般是鋁），最后進(jìn)行P3激光劃線過(guò)程，這也是從背面通過(guò)玻璃基底，并使用和P2過(guò)程一樣的激光器。好的光斑質(zhì)量和脈沖穩(wěn)定性尤為重要，避免傷害其他層的材料。適用于P2和P3加工過(guò)程的激光器有光譜物理的Navigator, Hippo以及Talon綠光系列（532 nm）。

薄膜電池相對(duì)傳統(tǒng)硅電池最大的優(yōu)點(diǎn)是可以全程自動(dòng)在線生產(chǎn)，平板顯示設(shè)備的鍍膜設(shè)備制造商Applied Materials, Oerlikon, Ulvac和Leybold已經(jīng)認(rèn)識(shí)到這個(gè)機(jī)遇，開始研發(fā)全自動(dòng)生產(chǎn)線。它和平板顯示市場(chǎng)的原理一樣，通過(guò)增大加工面積來(lái)減少成本。

激光系統(tǒng)是這種全自動(dòng)在線生產(chǎn)線的重要組成部分。就像在半導(dǎo)體和平板顯示中的應(yīng)用一樣，激光也能使太陽(yáng)能電池市場(chǎng)大放異彩。