羅芬激光，世界領先的工業(yè)激光器和激光系統(tǒng)制造商推出前道工序（FEOL）處理交鑰匙解決方案，進入半導體市場。新的激光晶圓處理系統(tǒng)Waferlase®200/300/450，是一個全自動的模塊化平臺，包含市場領先的（超）薄半導體晶片傳送系統(tǒng)，以及可以根據(jù)應用的類型選擇激光處理模組。Waferlase®200/300/450（8”/12”/18”wafer size）產(chǎn)品系列從提供IGBT晶圓激光退火和激光晶圓ID 軟打標方案開始。

　　領先的超薄晶片自動化傳送技術

　　羅芬集成了上接觸晶圓傳送技術，即使晶片有較大的翹曲和彎曲，也能提供精確的無接觸式超薄晶圓傳輸。為開放式標準晶舟或FOUP晶片承載系統(tǒng)，配有兩個或多個標準盒端口。集成的掃描頭，檢測晶片在晶舟的精確位置。全面而易于使用的系統(tǒng)軟件控制晶舟slot的分配，晶片彎曲測量，晶片位置以及ID檢測，甚至由于萬一晶圓損壞處理而會自動改變晶片拾取和放置的順序，例如由于大面積的或相鄰晶圓的相反方向的彎曲。一個高端的雙臂機器人負責裝卸晶片。前置校準器（對邊器）對wafer中心和邊緣排列晶片。末端受動器和前置校準器之間的“真空握手”區(qū)域，包含的硅片保護裝置，以確保其背面無損傷傳送。因此，羅芬Waferlase®200/300/450將高端的技術和先進的控制軟件集成其中，在幾乎可以忽略不計的硅片破損率下確保最大生產(chǎn)量.

　　IGBT 晶圓激光退火

　　由于IGBT相比與其他晶體管器件相比有顯著的優(yōu)勢，如高電壓能力，導通電阻低，易于驅(qū)動，開關速度快，耐用性等，絕緣柵雙極型晶體管（IGBT）的市場正在不斷增長。

　　這個市場增長的關鍵因素之一，是由于在汽車和工業(yè)應用領域，包括可再生能源，通訊，醫(yī)療，照明和交通運輸?shù)男枨蟠蠓黾印?/p>

　　IGBT是在一個標準的厚度為100微米或更小的機械化變薄的晶片上制造出來的。為了在晶片的背面形成場闌和/或發(fā)射極層，深層注入的摻雜元素（如磷或硼），必須高溫退火的過程中被激活，直到FEOL的最后處理產(chǎn)線。很多時候，硅片正面的敏感裝置是粘膠帶保護的。由于膠帶的損傷溫度低，正面裝置的熱感應器，以及在處理腔中不均勻的熱分布，使常規(guī)烤箱激活水平低和速度慢。羅芬激光退火工藝已經(jīng)能夠克服這些問題，工藝穩(wěn)定性明顯更高，并且生產(chǎn)成本低，晶片質(zhì)量優(yōu)。激光退火能夠深層激活摻雜物，同時防止損壞晶片的正面和保護帶。激光允許在最多2微米范圍內(nèi)，為場闌和/或發(fā)射極層的激活的精準深度控制。 羅芬IGBT激光退火方法激活率超過90％，遠遠優(yōu)于傳統(tǒng)的方式。

　　硅片打標

　　羅芬Waferlase®200/300/450系統(tǒng)可在透明，半透明，不透明的晶圓材料上打上可追蹤ID標記。有兩種方法 – 激光硬打標和軟打標 - 這是根據(jù)打標的處理方式，深度和位置的不同所決定的。在潔凈室環(huán)境中的激光軟打標，可由硅晶片表面的熔化實現(xiàn)。

　　羅芬正在申請的專利新技術，使用戶可以精確的控制打標深度從小于1微米到7微米不等。激光軟打標過程使用一個特制的IC打標激光源，其波長為532 nm。這種專用的解決方案，實現(xiàn)了高對比度，對標記小字符具有優(yōu)異的表現(xiàn)。