可用波長(zhǎng)

193 nm

ArF

248 nm

KrF

308 nm

XeCl

450nm~520nm

XeF

最大紫外功率

540 W

最大紫外能量

1100 mj

重復(fù)頻率

可變， 1~600 Hz

脈沖穩(wěn)定性

0.5%~1%，rms

長(zhǎng)期漂移

0.1%~0.5%，rms

光束分布

均勻，平頂

脈沖寬度

10~20 ns

相關(guān)氣體純度

F2,   99.9%
Ar,   99.9999%
He,  99.9999%
Ne,  99.9999%
HCl, 電子級(jí)
Kr,   99.999%
Xe,  99.999%
O2,  99.999%
H2,  99.999%

氣體工作溫度

- 40 0C ~ + 74 0C

氣體壓力

520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar

鋼瓶規(guī)格

10L、16L、20L、50L

閥門接口

CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14

適用機(jī)型

波長(zhǎng)
nm

鋼瓶規(guī)格

閥門規(guī)格

工作氣體

鷹視（COHERENT）

193

20 L

DIN 8

F2,   99.9%
Ar,   99.9999%
He,  99.9999%
Ne,  99.9999%

博士倫（B & L）

193

20 L、50 L

DIN 8

蔡司（ZEISS）

193

10L、20 L

DIN 8

威視（VISX）

193

16 L

CGA 679

尼德克（NIDEK）

193

16 L

CGA 679

雷賽（LASERSIGHT）

193

10 L

CGA 679

愛爾康（Alcon）

193

16 L

CGA 679

康奧（SCHWIND）

193

20 L

DIN 8、 DIN 14

視可佳（六六視覺）

193

16 L

CGA 679

森美（SUMMIT）

193

16 L

CGA 679