我們曾對采用四個2400的測試系統(tǒng)的測試速度、小電流和小電壓測量精度,在一系列不同的測量時間間隔條件下(即不同的NPLC設定參數(shù))進行過特征化測試。NPLC參數(shù)與測試時間間隔有如下關系式:
測試時間間隔(秒)= 1/60(NPLC參數(shù))
圖1表示了2400型源表NPLC值從0.01到1.0時,在10-2A、10-3A、10-4A、10-5A和10-6A量程內(nèi)的低電流測量性能。測試電流的大小接近每個量程的最大值,而每個測量點則代表100次測量的標準差。測試結(jié)果表明,對于每一個很短的積分(integration)時間,即 < 0.1 NPLC,在10-2A、10-3A和10-4A量程下,電流測量的標準差小于滿量程的0.005%,而在10-5A和10-6A量程下小于0.08%。在10-5A和10-6A量程下以最高測試速度測量時,±3σ的測試可重復性達到了< 2nA。圖2表示了一個以四個2400構建的測試系統(tǒng)的測試吞吐率的測量結(jié)果(該結(jié)果表示為NPLC設定值的函數(shù))。
圖1. 2400源表的電流測量值的標準差與NPLC的關系曲線,其中的測試量程為10-2A、10-3A、10-4A、10-5A和10-6A。
當用于單個像素的開路、短路測量時,2400被配置成一個電流源,然后進行電壓測量。PC機通過電流源輸出值和電壓測量值計算出電阻。這一技術直接使用了2400進行電阻測量,從而縮短了與電阻測量有關的測量時間。測量精度接近或小于0.2%,而這一性能水平對于“合格或不合格”的測試是足夠了。它的測試吞吐率為漏電流測試速度的百分之幾。
圖2. 采用四個2400的OLED特征化系統(tǒng)的測試吞吐率
在對電纜、掃描卡和夾具的設計中使用保護,可大大降低漏電流,而且能夠為基于6517A型靜電計和7158、7058型掃描卡的系統(tǒng),實現(xiàn)低電流的測量提供支持。加保護的信號通路縮短了與低電流測量所需的較長穩(wěn)定時間,這進而又縮短了測試時間。即使采用了保護電路,6517A的測量速度仍比不上2400,所以它的吞吐率將會低一些。
可以采用四個6517A和低電流掃描卡組成的系統(tǒng)進行一次性能研究,但由于測試夾具和電纜走線對測試系統(tǒng)有很大的影響而使此項研究未能實現(xiàn)。這些部件通常是客戶提供的,而漏電流的大小可以有非常大的變化范圍,這就影響到了低電流性能和測試穩(wěn)定時間。
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