光學(xué)表面測(cè)量
通過量化、鑒定以及監(jiān)測(cè),光學(xué)表面測(cè)量?jī)x能提高太陽能電池的產(chǎn)量,并降低總體生產(chǎn)成本。
燃油價(jià)格的飆升、政府的能源倡導(dǎo)計(jì)劃,以及日益增長(zhǎng)的世界范圍內(nèi)減少溫室氣體以及碳排放量的需求等諸多因素,都在推動(dòng)著太陽能產(chǎn)業(yè)的日益發(fā)展。到 2050年,全世界的能源消耗將是現(xiàn)在的兩倍。目前,光伏太陽能電池的生產(chǎn)速度正在以每年40%的速度遞增。與其他產(chǎn)業(yè)一樣,太陽能電池商品化成功的關(guān)鍵 驅(qū)動(dòng)因素是終端用戶的總成本。對(duì)于太陽能電池制造商而言,這一關(guān)鍵驅(qū)動(dòng)因素表現(xiàn)為系統(tǒng)壽命范圍內(nèi)單位千瓦時(shí)發(fā)電功率的成本。
目前,日益增長(zhǎng)的太陽能市場(chǎng)上,多種光伏技術(shù)之間競(jìng)爭(zhēng)激烈。傳統(tǒng)的太陽能電池由結(jié)晶硅構(gòu)成,目前這種電池仍然在世界范圍內(nèi)太陽能電池制造中占據(jù)大 量市場(chǎng)份額。無定形薄膜硅能夠用于制造更為輕便、更易于加工、但效率相對(duì)較低的太陽能電池,因此其正在市場(chǎng)中獲得更多的份額。再加上一些其他的光伏技術(shù), 包括CdTe、CuInGa(Se)2、以及效率最高的III/V族三結(jié)電池,目前太陽能電池市場(chǎng)正呈現(xiàn)出群雄逐鹿的局面。盡管每種技術(shù)都各有千秋,但是 所有這些技術(shù)都需要對(duì)表面進(jìn)行高精度測(cè)量以控制材料質(zhì)量。目前,許多光伏制造商利用光學(xué)表面測(cè)量?jī)x對(duì)各種加工過程進(jìn)行量化、鑒定以及監(jiān)測(cè),以提高太陽能電 池的產(chǎn)量,并降低總體生產(chǎn)成本。
表面結(jié)構(gòu)測(cè)量
表面結(jié)構(gòu)是影響太陽能電池效率的重要表面參數(shù)之一。根據(jù)入射光波長(zhǎng)的不同,拋光的單晶硅晶片(例如半導(dǎo)體級(jí)裸晶片)的反射率約為40%。減小該反 射率的常用技術(shù)是對(duì)表面進(jìn)行結(jié)構(gòu)化處理,使被反射的光子具有一定的概率入射到光伏電池的另一平面,從而提高光子在發(fā)射層發(fā)生光伏反應(yīng)的機(jī)會(huì)。然而,如果表 面過于粗糙,電子/空穴對(duì)復(fù)合的平均自由程就會(huì)增加,以致于達(dá)到一定值后下降的復(fù)合概率會(huì)導(dǎo)致總效率的減小。
采用非接觸光學(xué)測(cè)量,最近研究人員應(yīng)用一套嚴(yán)格的理論與方法,研究出一種有效且可重復(fù)的方法,建立相對(duì)效率與表面性質(zhì)之間的關(guān)系。在早期研究中, 研究人員利用Veeco NT系列光學(xué)表面測(cè)量?jī)x對(duì)多種放大以及掃描條件下的單晶硅太陽能電池進(jìn)行測(cè)量。研究人員測(cè)量了三組不同制造商提供的光伏電池的三維表面特性,并且能將某些 表面結(jié)構(gòu)特征與電池的輸出效率關(guān)聯(lián)起來(見圖1)。
圖1:不同電池的表面結(jié)構(gòu)不同,因此效率不同。上圖顯示了若干光伏電池的表面圖像,它們的表面斜度(ssk)不同。這些電池的效率與表面斜度之間存在線性關(guān)系(下圖)。
痕量元素和線寬測(cè)量
除了絕佳的垂直分辨率以及快速的測(cè)量時(shí)間,非接觸光學(xué)表面測(cè)量?jī)x能夠?qū)?shù)據(jù)進(jìn)行分段,以測(cè)量樣品表面不同層次的重要特性。對(duì)于太陽能電池應(yīng)用,這 普遍用于痕量元素和線寬測(cè)量。在太陽能電池制造中,需要對(duì)使用的銀或者其他元素的質(zhì)量和數(shù)量進(jìn)行精確控制,以確保電池板的性能,同時(shí)還要減小非光電材料導(dǎo) 致的模糊面積。而且,過厚和過寬的導(dǎo)電痕量元素會(huì)增加制造成本(因?yàn)殂y面板的價(jià)格相對(duì)較高),同時(shí)還會(huì)降低光伏電池的效率。此外,特別是在薄膜加工過程 中,最后要用昂貴的導(dǎo)電油墨填充刻線,這種油墨能夠通過“連線”各種有源區(qū)來產(chǎn)生需要的輸出功率和電流。如果這些刻線太淺或太深,寬度不正確或所在部位不 正確,都將影響電池板的性能。在油墨沉積之前識(shí)別這種錯(cuò)誤,能夠減少油墨浪費(fèi)。
利用Veeco公司的Vision測(cè)量軟件,能夠自動(dòng)計(jì)算襯底上痕量元素的線寬、線間隔、深度、體積以及粗糙程度,也可以將所有參數(shù)保存在數(shù)據(jù)庫(kù)中,以在生產(chǎn)中進(jìn)行質(zhì)量控制(見圖2)。該軟件可對(duì)具有上百個(gè)特征的表面進(jìn)行測(cè)量分析。
圖2:對(duì)薄膜太陽能電池板上刻線測(cè)量結(jié)果進(jìn)行三維以及多區(qū)域顯示,能夠提供總體粗糙度、刻線區(qū)域粗糙度、線寬以及刻線深度等信息。
Surface stats:表面統(tǒng)計(jì)
同樣,光學(xué)表面測(cè)量?jī)x也可以在多種條件下,測(cè)量材料表面性質(zhì)。例如,美國(guó)伊利諾斯州大學(xué)材料科學(xué)與工程系利用Veeco公司的光學(xué)表面測(cè)量?jī)x,測(cè) 量了晶界(grain boundary)對(duì)CIGS雙晶生長(zhǎng)和光電效率的影響(見圖3)。通過高精度的快速定量測(cè)量,光學(xué)表面測(cè)量?jī)x能夠幫助研究人員改進(jìn)太陽能電池的性能。
圖3:不同襯底晶體取向的交界處對(duì)CIGS材料生長(zhǎng)的影響可以通過光學(xué)表面測(cè)量?jī)x測(cè)量。上圖顯示了交界兩側(cè)的不同晶粒結(jié)構(gòu)。
在太陽能制造業(yè)使用的加工儀器中,人們長(zhǎng)期利用干涉光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行質(zhì)量控制與加工開發(fā)/改進(jìn)。使用光學(xué)或探針測(cè)量?jī)x的高級(jí)自控能力,可以快速地計(jì)算 沿晶片的蝕刻率和沉淀率。沿襯底可以快速測(cè)量不同位置的特征高度。這些數(shù)據(jù)可以為加工控制和優(yōu)化提供反饋。一種典型的測(cè)量應(yīng)用是在沉淀過程中,測(cè)量8英寸 晶片范圍內(nèi)步進(jìn)特征的高度變化??梢栽诟鱾€(gè)位置進(jìn)行這種測(cè)量以及分析。得到的數(shù)據(jù)可以用來改進(jìn)重要特征的均勻性和平均高度。
Veeco光學(xué)表面測(cè)量?jī)x同樣可以集成其他特征,以進(jìn)行定量缺陷檢測(cè)及分析。用戶可以設(shè)定體積或者高度閾值,軟件可以自動(dòng)識(shí)別缺陷并且報(bào)告例如高 度、直徑、體積以及X方向或Y方向的最大范圍。通過量化這些表面缺陷,系統(tǒng)用戶可以決定缺陷在哪些過程中出現(xiàn),以優(yōu)化加工過程,從而消除缺陷。
薄膜厚度
不同襯底層的厚度,無論透明與否,都需要恰當(dāng)?shù)臏y(cè)量,特別是對(duì)于CIGS裝置。探針測(cè)量?jī)x采用的接觸方法,在邊界處提供了快速準(zhǔn)確的測(cè)量薄膜厚度 的方法,能夠很容易地確定薄膜-襯底間距。Veeco Dektak分析儀的接觸力很小,因此能夠?qū)Σ牧线M(jìn)行無損測(cè)量,甚至是柔軟的聚合體。更重要的是,由于采用接觸的方式,探針表面測(cè)量?jī)x對(duì)材料性質(zhì)差別并不 敏感。而這些差別在材料很薄或者吸收不同時(shí),會(huì)導(dǎo)致光學(xué)技術(shù)出現(xiàn)偏差。更重要的是,由于在僅僅幾秒鐘就可以得到這些信息,所以它在頻繁檢測(cè)加工質(zhì)量方面變 得切實(shí)可行。
由于具備不同的能力,探針測(cè)量?jī)x和光學(xué)表面測(cè)量?jī)x通常在薄膜厚度控制中共同使用。例如,NT9100S光學(xué)表面測(cè)量?jī)x能夠在多個(gè)重要方面對(duì) Dektak探針測(cè)量?jī)x進(jìn)行有益的補(bǔ)充,可以對(duì)厚度大于2µm的透明薄膜樣品表面進(jìn)行測(cè)量。光學(xué)系統(tǒng)可以進(jìn)行較快地基于面積的測(cè)量,但是如果存在光學(xué)特征 導(dǎo)致的高度差,那么Dektak測(cè)量?jī)x可以快速校準(zhǔn)薄膜。然后,分析軟件就可以自動(dòng)在接下來的光學(xué)測(cè)量中進(jìn)行補(bǔ)償。此外,NT測(cè)量?jī)x能夠分別提供薄膜的上 下表面粗糙程度和缺陷信息,因此可以分析薄膜的投影性質(zhì)。所以,這兩種測(cè)量?jī)x能夠很好地協(xié)同工作,以同時(shí)保證薄膜的厚度和表面質(zhì)量能夠充分描述出來,從而 提高并保持最高的性能。 #p#分頁(yè)標(biāo)題#e#
滿足光伏技術(shù)的快速進(jìn)步
隨著提高效率、降低成本的需求日益增加,各種太陽能電池加工技術(shù)迅速發(fā)展。其中,能夠?qū)Ρ砻骊P(guān)鍵特征進(jìn)行精確測(cè)量是這一發(fā)展的核心。通過對(duì)樣品厚 度以及表面進(jìn)行亞納米精度的測(cè)量,可以提供改進(jìn)太陽能電池開發(fā)及生產(chǎn)過程的必要數(shù)據(jù)。質(zhì)地、躍變高度、痕量、刻線寬度、薄膜厚度和缺陷探測(cè)都對(duì)實(shí)際生產(chǎn)線 至關(guān)重要。同時(shí),研究人員可以研究物質(zhì)效應(yīng)、環(huán)境影響及疲勞,以及進(jìn)行復(fù)雜的測(cè)量來更好地理解加工設(shè)備中各種變量對(duì)終端產(chǎn)品的影響。
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