1 引言

       光纖耦合半導(dǎo)體激光器以其體積小、光束質(zhì)量好、壽命長(zhǎng)及性能穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)在各領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，主要作為光纖激光器的泵浦源、固體激光器泵浦源，也可直接應(yīng)用于激光醫(yī)療，材料處理如熔覆、焊接等領(lǐng)域。受光纖激光器向高功率方向發(fā)展趨勢(shì)的影響，半導(dǎo)體激光器也在向高功率、高亮度發(fā)展，高亮度半導(dǎo)體激光器具有較高的光功率密度，經(jīng)合束器合束同樣成為高功率光纖激光器理想的泵浦源。目前光纖耦合半導(dǎo)體激光器結(jié)構(gòu)主要有單管耦合激光器、多單管耦合激光器、迷你Bar以及Bar條/疊陣系列，多單管耦合激光器因其具有高可靠性而成為光纖激光器的主流泵浦源之一，本文主要介紹通過(guò)多單管光纖耦合技術(shù)實(shí)現(xiàn)高亮度半導(dǎo)體激光器的技術(shù)與實(shí)現(xiàn)。

2 多單管結(jié)構(gòu)

       多單管結(jié)構(gòu)是將多路分立的半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光束經(jīng)過(guò)整形、重新排列、合束后耦合進(jìn)入單根光纖，從而可提高激光器輸出功率。由于分立半導(dǎo)體激光器芯片必須安裝在具有一定大小的熱沉上，如果直接將多個(gè)半導(dǎo)體激光器的輸出光束進(jìn)行排列并聚焦耦合，通常由于受到每個(gè)芯片和其熱沉體積的限制，合并光束體積較大，很難獲得小芯徑高亮度的光纖耦合輸出。為減小合并光束的空間體積大小，必須采取一定的措施。為此，凱普林自主研發(fā)的多單管耦合結(jié)構(gòu)采用階梯熱沉、聚焦透鏡、耦合光纖以及獨(dú)特的安裝方式，光路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，減小了組件的體積，大大提高了半導(dǎo)體激光器輸出的功率，同時(shí)保證了耦合點(diǎn)的合理工作溫度，如圖1所示。
 

       在進(jìn)行多單管耦合前可對(duì)分立半導(dǎo)體激光器芯片進(jìn)行老化篩選，從而保證了多單管耦合后的可靠性。單管的隨機(jī)失效特性獨(dú)立，相比于Bar條、疊陣無(wú)熱效應(yīng)干擾，單管的可替換也增加了其耐用性，具有較高的成本優(yōu)勢(shì)。

3 光纖耦合

       為實(shí)現(xiàn)高亮度、高功率輸出可增加同時(shí)耦合單管半導(dǎo)體激光器的數(shù)量來(lái)保證較高的輸出功率，但將合束后的激光束耦合進(jìn)入單根光纖中還必須滿足三個(gè)條件：一是光斑的最大直徑小于光纖芯徑；二是光束的發(fā)散角小于光纖的數(shù)值孔徑對(duì)應(yīng)的角度；三是激光快、慢軸的光束參量積（BPP，光束束腰半徑與發(fā)散角半角的乘積）要小于光纖光束參量積。即
 

但實(shí)際應(yīng)用中，只有光纖中心的正方形區(qū)域是可用區(qū)域，如圖2所示，耦合光束截面如圖3，

圖2 光纖耦合時(shí)光纖的可用區(qū)域

圖3 光纖中光束截面圖

對(duì)于芯徑為200μm，數(shù)值孔徑為0.22的光纖，它的BPP值為22mm mad，可耦合的半導(dǎo)體激光束的BPP最大值為：
 

以9xxnm半導(dǎo)體激光器單支芯片輸出的激光光束數(shù)據(jù)為例，慢軸束腰直徑為95μm，發(fā)散角半角10°（99%的能量），其光束參量積約為8.3mm mrad；快軸束腰直徑1.5μm，發(fā)散角半角39°（99%），光束參量積約為0.51mm mrad。經(jīng)軟件仿真，理論上200μm/0.22NA的光纖中可以耦合28個(gè)激光束。目前，經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)積累，凱普林9xxnm高亮度光纖耦合半導(dǎo)體激光器最高耦合分立半導(dǎo)體激光器數(shù)最高可達(dá)20支，激光器實(shí)物如圖4、圖5。

圖4 9xxnm/100W/200W激光器實(shí)物圖

圖5 9xxnm/65W激光器實(shí)物圖

4 結(jié)論與展望

       本文介紹了一種多單管耦合結(jié)構(gòu)以及實(shí)現(xiàn)高亮度激光輸出的計(jì)算方法，在高亮度半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域，多單管光纖耦合技術(shù)廣泛應(yīng)用于9xxnm、793nm、808nm等波長(zhǎng)激光器中，分別作為摻鐿光纖激光器和摻銩光纖激光器以及摻釹固體激光器的泵源；10W-200W不同功率級(jí)別可對(duì)應(yīng)各種工作模式及功率要求的光纖激光器應(yīng)用。未來(lái)，凱普林將通過(guò)增加偏振合束、多波長(zhǎng)合束等方法將實(shí)現(xiàn)更高亮度的光纖耦合半導(dǎo)體激光器，為高功率光纖激光器用戶提供更多的產(chǎn)品與服務(wù)。