德國亞琛,2013年/8月/22日— AIXTRON愛思強股份有限公司宣布,中國領先光學元器件開發(fā)生產(chǎn)商武漢華工正源光子技術(shù)有限公司(簡稱“華工正源”)已訂購一套AIXTRON愛思強6x2英寸規(guī)格近耦合噴淋頭®(CCS)外延沉積系統(tǒng),用以在磷化銦襯底上生產(chǎn)發(fā)光及檢測設備。
華工正源首席科學家王肇中表示:“此次再度訂購說明我們非常滿意AIXTRON愛思強技術(shù)性能。我們現(xiàn)有的系統(tǒng)功能多樣、易于操作且可重復性優(yōu)良。購進新系統(tǒng)后,我們將能實施產(chǎn)能擴張計劃,并開發(fā)高質(zhì)量的外延產(chǎn)品。我們對再次順利擴大產(chǎn)能以及AIXTRON愛思強服務團隊卓越的支持、安裝和操作服務充滿期待。”
華工正源是中國擁有外延生長、管芯制作、器件、光學模塊和子系統(tǒng)批量生產(chǎn)全套工藝生產(chǎn)線的制造商之一。產(chǎn)品范圍涵蓋半導體激光器、探測器管芯、有源器件和收發(fā)器,廣泛應用于數(shù)字通訊、模擬通訊和光學傳感器領域。
AIXTRON愛思強6x2英寸規(guī)格CCS系統(tǒng)專為研究和生產(chǎn)而設計。使用CCS系統(tǒng)開發(fā)的過程可以很容易地擴展至較大規(guī)模生產(chǎn)的CRIUS®平臺上。CCS的三個分區(qū)加熱器能提供最佳的溫度均勻性標準。
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