激光器是生產(chǎn)薄膜太陽(yáng)能電池模塊的重要工具，特別是高性能超短脈沖激光器，其能提供持續(xù)時(shí)間僅幾個(gè)皮秒的超短脈沖，這不但能幫助制造商提高產(chǎn)量，而且還能優(yōu)化加工工藝。 

目前，在針對(duì)解決未來(lái)能源問(wèn)題的討論中，光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術(shù)進(jìn)步是實(shí)現(xiàn)電能平價(jià)消費(fèi)的一個(gè)至關(guān)重要的前提條件，比如通過(guò)技術(shù)進(jìn)步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統(tǒng)能源的成本。 

目前，晶硅太陽(yáng)能電池是光伏市場(chǎng)中的主導(dǎo)產(chǎn)品，其轉(zhuǎn)換效率最高達(dá)20%。在晶硅太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中，激光器主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。 

在激光邊緣絕緣過(guò)程中，激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來(lái)越多的激光器被用于激光輔助摻雜工藝中，以改善載流子的遷移率，特別是對(duì)于電極的接觸指而言尤為如此。在過(guò)去的幾年中，薄膜太陽(yáng)能電池取得了巨大的發(fā)展，業(yè)界專家們更是希望其未來(lái)能在光伏市場(chǎng)中占據(jù)大約20%的市場(chǎng)份額。 

薄膜太陽(yáng)能電池中所采用的膜層只有幾微米厚，因此其在生產(chǎn)中便能節(jié)約大量材料。在薄膜太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中，激光發(fā)揮著決定性的作用。在整個(gè)制造過(guò)程中，激光將電池結(jié)構(gòu)化并連接成模塊，并對(duì)模塊進(jìn)行相應(yīng)的刻蝕處理，進(jìn)而保證所需要的絕緣性能。 

成熟的激光刻線工藝 

在非晶硅或碲化鎘（CdTe）薄膜太陽(yáng)能電池模塊的生產(chǎn)過(guò)程中，導(dǎo)電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后，均利用激光對(duì)膜層進(jìn)行刻蝕，并使各個(gè)電池之間自動(dòng)串聯(lián)起來(lái)。這樣，就能夠根據(jù)電池寬度設(shè)定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工，能夠可靠地集成到薄膜太陽(yáng)能電池模塊的生產(chǎn)線中。人們通常所說(shuō)的刻線就是單個(gè)激光脈沖刻蝕的一個(gè)連貫過(guò)程，該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm，因此在P1層刻線中，要采用脈寬為幾十納秒（10~80ns）的脈沖光對(duì)玻璃基底進(jìn)行刻蝕。

透明導(dǎo)電氧化物（TCO，如ZnO和SnO2）通常使用近紅外激光和相對(duì)較高的脈沖重復(fù)頻率進(jìn)行加工。通常需要的脈沖重復(fù)頻率要超過(guò)100kHz。較高的脈沖重復(fù)頻率能夠確保切口處的徹底清潔。 

根據(jù)材料對(duì)激光的吸收系數(shù)的不同，需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長(zhǎng)。綠激光對(duì)于硅的破壞閾值遠(yuǎn)低于其對(duì)TCO的破壞閾值，因此綠激光可以安全透過(guò)TCO膜層后，對(duì)吸收層進(jìn)行刻線。P2層和P3層的刻線機(jī)理與P1層相同。 

單脈沖刻線機(jī)理本身的特征對(duì)脈沖重復(fù)頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導(dǎo)體層的脫落，加工過(guò)程中需要的典型脈沖重復(fù)頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2，也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上，其平均功率非常低。由于綠光激光器的平均功率均為數(shù)瓦量級(jí)，因此能夠?qū)⒐馐止夂筮M(jìn)行多光束并行加工，從而進(jìn)一步提高工作效率。 

對(duì)于P1、P2和P3層的刻線應(yīng)用而言，用于微加工應(yīng)用的、輸出波長(zhǎng)為1064nm和532nm的結(jié)構(gòu)小巧緊湊的二極管泵浦激光器，無(wú)疑是無(wú)疑是一種理想的選擇，并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性。這類激光器的脈沖持續(xù)時(shí)間為8~ 40ns，脈沖重復(fù)頻率為1~100kHz。