閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
光學元件

多孔氧化鋁基相位透射光柵制備

星之球激光 來源:光學快報2011-08-08 我要評論(0 )   

中國科學院寧波材料技術與工程研究所在衍射光學元件的低成本制造方面取得進展,相關論文被《光學快報》( Optics Letters )接受,并提前在網(wǎng)上發(fā)表。該雜志由美國光學...

中國科學院寧波材料技術與工程研究所在衍射光學元件的低成本制造方面取得進展,相關論文被《光學快報》(Optics Letters)接受,并提前在網(wǎng)上發(fā)表。該雜志由美國光學學會主辦,以快速報道光學領域最新的研究成就而著稱。

 

博士后王彪與合作導師崔平、宋偉杰研究員通過集成有序納米孔材料合成和納米材料表面微納加工兩種先進技術,提出了一種在有序的多孔陽極氧化鋁基片上獲得所需圖案的低成本方法。他們在正常的光刻加工步驟完成后,利用化學刻蝕方法代替通常采用的干法刻蝕工藝,從而快速地將所需的微觀圖案轉(zhuǎn)移到多孔陽極氧化鋁片上。實驗表明,通過上述方法可以在多孔氧化鋁片上刻制出高精度的圖形結構,并且加工獲取的圖形結構深度很容易超過10μm以上。該方法將衍射光學元件如透射光柵的加工由傳統(tǒng)的致密光學材料擴展到有序納米孔材料上,有望適用于制造高性能衍射光學元件。例如,當多孔氧化鋁上刻制的圖形是光柵條紋時,所獲得的單色激光衍射結果與理論計算值吻合得很好。

 

轉(zhuǎn)載請注明出處。

暫無關鍵詞
免責聲明

① 凡本網(wǎng)未注明其他出處的作品,版權均屬于激光制造網(wǎng),未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用。獲本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使 用,并注明"來源:激光制造網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關責任。
② 凡本網(wǎng)注明其他來源的作品及圖片,均轉(zhuǎn)載自其它媒體,轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯(lián)系我們刪除。
③ 任何單位或個人認為本網(wǎng)內(nèi)容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網(wǎng)提出書面權利通知,并提供身份證明、權屬證明、具體鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網(wǎng)在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關涉嫌侵權的內(nèi)容。

網(wǎng)友點評
0相關評論
精彩導讀