激光可在指甲蓋大小的玻璃晶圓或面板上打出100萬個(gè)微孔,使用金屬填充后,就能串聯(lián)起復(fù)雜的集成電路“高樓大廈”。
日前,央視報(bào)道我國科學(xué)家團(tuán)隊(duì)在“玻璃基封裝”技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重要突破,有望助力我國芯片制造“彎道超車”。
5月9日,記者從武漢東湖高新區(qū)了解到,實(shí)現(xiàn)“玻璃基封裝”技術(shù)突破的關(guān)鍵設(shè)備——玻璃通孔激光設(shè)備由光谷企業(yè)帝爾激光自主研發(fā)。
封裝是芯片制造過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著傳統(tǒng)光刻技術(shù)逐漸接近極限,芯片封裝的重要性被提升至前所未有的高度,被視為人工智能時(shí)代芯片研發(fā)制造的重要技術(shù)基礎(chǔ)。
相比于目前常見的有機(jī)基板、陶瓷基板和硅基板封裝,“玻璃基封裝”具備原材料易獲取、工藝流程相對簡單、機(jī)械穩(wěn)定性強(qiáng)、應(yīng)用領(lǐng)域廣泛等優(yōu)點(diǎn),是業(yè)界公認(rèn)的下一代先進(jìn)封裝技術(shù),
帝爾激光總經(jīng)理助理葉先闊介紹,公司在光伏領(lǐng)域深耕10余年,自主研發(fā)的光伏激光設(shè)備占據(jù)全球八成以上市場,具備深厚技術(shù)功底。此次曝光的玻璃通孔激光設(shè)備,核心參數(shù)“徑深比”可達(dá)1:100,具備世界領(lǐng)先水平。
葉先闊認(rèn)為,舍得在研發(fā)上投放資源,是企業(yè)加快形成高水平科技自立自強(qiáng)的關(guān)鍵路徑。2023年,帝爾激光研發(fā)費(fèi)用達(dá)2.51億元,營收占比達(dá)15.58%,同比2022年增長超過90%。2024年一季度,研發(fā)費(fèi)用為6996萬元,相比去年同期增幅超60%。他表示,帝爾激光將錨定光伏、半導(dǎo)體、新型顯示等領(lǐng)域,重點(diǎn)研發(fā)“從0到1”的技術(shù),持續(xù)探索激光應(yīng)用“無人區(qū)”。
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