LED行業(yè)的長期發(fā)展邏輯符合“海茨定律”，即提高發(fā)光效率、降低成本，二者共同推動LED行業(yè)應(yīng)用的滲透和技術(shù)的發(fā)展，這相當于LED行業(yè)的半導(dǎo)體摩爾定律——LED的產(chǎn)量每十年增加20倍，而成本則下降到原來的十分之一。從LED行業(yè)過去30年的發(fā)展來看，高功率、小型化、全彩成為推動LED在顯示、背光、照明等領(lǐng)域應(yīng)用的關(guān)鍵詞。

Mini LED和 Micro LED (又稱μLED) 分別指芯片尺寸小于200μm和50μm的LED。與普通LED相同，它們也是自發(fā)光的，通常應(yīng)用在不同尺寸的直接顯示領(lǐng)域，使用時每個像素都可以通過三種發(fā)光顏色的RGB LED芯片來顯示。從技術(shù)、顯示等優(yōu)勢上講，Mini 和 Micro LED繼承了LED的特點，能耗只有LCD的10%，OLED的50%，亮度是OLED的30倍，分辨率可達1500PPI。除此之外，它還具有可靠性高、速度快、壽命長、響應(yīng)快等優(yōu)點。

Mini 和 Micro LED與傳統(tǒng)顯示技術(shù)對比

（來自網(wǎng)絡(luò)公開資料）

預(yù)計在未來十年，隨著LED芯片的尺寸和成本的進一步降低及工藝難點的逐漸突破，Mini 和 Micro LED將在背光和顯示技術(shù)方面帶來一場革命，極有可能是商用顯示、可穿戴設(shè)備、手機、電腦等的終極方案。

新技術(shù)的發(fā)展，勢必帶來制程工藝和技術(shù)的不斷迭代和升級。從Mini LED發(fā)展到Micro LED的過程中，隨著單個LED芯片尺寸成倍數(shù)的縮小，其顯示效果和精度得到了不斷提升，同時相同面積下LED芯片的使用數(shù)量也成倍數(shù)增長。以4K分辨率直顯產(chǎn)品為例，其擁有近830萬顯示像素，約2400萬顆LED芯片，如此巨量的芯片，在面板制造過程中，巨量轉(zhuǎn)移、巨量焊接、芯片修復(fù)和驅(qū)動控制技術(shù)都需要全新的顛覆性的工藝來解決技術(shù)難題。

Mini和Micro LED顯示技術(shù)主要制程工藝中首先需要解決的就是芯片巨量轉(zhuǎn)移。芯片的轉(zhuǎn)移通常包括幾個關(guān)鍵工藝步驟，包括從供體/生長基板批量釋放 Micro LED 芯片、調(diào)整芯片間距尺寸、將芯片對準并移動到接收基板。傳統(tǒng)的機械轉(zhuǎn)移設(shè)備速度最高在數(shù)十顆每秒，無法滿足 Micro LED 量產(chǎn)化的需求，因此巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)應(yīng)運而生。

常用的芯片巨量轉(zhuǎn)移方式有靜電力吸附轉(zhuǎn)移、流體裝配轉(zhuǎn)移、彈性印模轉(zhuǎn)移、激光巨量轉(zhuǎn)移等。通過不斷的技術(shù)開發(fā)和迭代，激光巨量轉(zhuǎn)移被認為是效益和效率俱佳的方案，其主要原理是利用激光器產(chǎn)生的激光與物質(zhì)相互作用，在LED基底材料吸收紫外（UV）波長的光子，產(chǎn)生性狀變化后，巨量LED芯片即可從基底材料上一次性脫離。該轉(zhuǎn)移技術(shù)需要精準控制激光的功率和能量密度，才能不影響芯片性能并確保轉(zhuǎn)移良率和轉(zhuǎn)移效率。

炬光科技基于產(chǎn)生光子和調(diào)控光子等基礎(chǔ)核心技術(shù)，為Mini LED和 Micro LED巨量轉(zhuǎn)移提供全面的光子應(yīng)用解決方案。基于紫外（UV）波段的激光光源，通過靈活匹配客戶不同工藝需求的光學(xué)方案設(shè)計，滿足激光巨量轉(zhuǎn)移過程中，對激光光斑細節(jié)指標的定制，全面平衡工藝過程中的激光功率、激光能量均勻性和光斑大小，匹配客戶不同尺寸的量產(chǎn)產(chǎn)品和產(chǎn)能需求。

Mini和Micro LED顯示技術(shù)主要制程工藝中第二項重要工藝是巨量焊接。傳統(tǒng)的焊接方式使用回流爐，通過熔化和凝固焊料將LED芯片與電極焊接在一起。焊料固體結(jié)晶過程是一個固態(tài)——液態(tài)——固態(tài)的過程，由于LED芯片尺寸很小，在結(jié)晶過程中會發(fā)生移位，而在回流爐的整個加熱過程太長，且需要加熱整個基板，在回流過程中也容易發(fā)生基板變形。

激光巨量焊接作為傳統(tǒng)技術(shù)的替代技術(shù)，其優(yōu)點為加熱時間短，焊接效果可控，芯片基本無位移，局部加熱，基板無變形。但傳統(tǒng)“點”光源的激光回流焊接在這一應(yīng)用中受到了巨大的挑戰(zhàn)。拿一個4K的Micro LED電視為例，其像素點個數(shù)為4096×2160（約830萬像素），每個像素點有RGB三色芯片，芯片總數(shù)約為2400萬個。如果使用點光源焊接，效率低到不敢想象，因此激光巨量焊接是最佳的解決方案。

什么是巨量焊接？相對于一次只能焊接一個點的傳統(tǒng)焊接方法來說，巨量焊接可以一次性實現(xiàn)一定面積內(nèi)所有LED芯片的焊接。利用炬光科技獨有的微光學(xué)調(diào)控光子技術(shù)，巨量焊接工藝將傳統(tǒng)的“點”光束整形為一個大面積的勻化“面”光斑，使用勻化后的光斑對Mini 和 Micro LED焊接區(qū)域進行加熱，實現(xiàn)勻化光斑區(qū)域照射下的LED芯片一次性焊接，達到巨量焊接的效果。

為了提升Mini LED和 Micro LED芯片巨量轉(zhuǎn)移和巨量焊接的良品率，修復(fù)是制程中不可或缺的關(guān)鍵工藝步驟。以巨量轉(zhuǎn)移為例，轉(zhuǎn)移過程中每顆芯片的精準度必須控制在正負0.5微米以內(nèi)，否則就會造成良率的損失，以制造4K電視為例，即使達到99.999%的良率，仍會有260個壞點需要進行修復(fù)。激光的高精度和高指向性在這里發(fā)揮了巨大的作用。通常激光芯片修復(fù)工藝中包含AOI檢測、激光去除和激光焊接修復(fù)等步驟，首先通過高精度檢測設(shè)備識別和定位芯片壞點，然后使用高峰值能量的激光束去除壞點芯片，之后通過單個芯片的轉(zhuǎn)移和激光焊接修復(fù)，最終完成修復(fù)壞點。

炬光科技基于產(chǎn)生光子和調(diào)控光子等基礎(chǔ)核心技術(shù)，為Mini LED和 Micro LED芯片修復(fù)提供全面的光子應(yīng)用解決方案，如近紅外波段的極小矩形光斑激光系統(tǒng)，光斑尺寸可根據(jù)客戶應(yīng)用進行定制，最小可達50μm光斑長度；同時光斑長寬方向能量為平頂分布，光斑能量均勻性＞97%，滿足不同尺寸LED芯片的修復(fù)需求。

炬光科技較早地識別了Mini & Micro LED的發(fā)展趨勢。從2019年開始，炬光科技率先在Mini & Micro LED巨量焊接上開始研究，近兩年又在激光巨量轉(zhuǎn)移和激光芯片修復(fù)領(lǐng)域與客戶展開合作，憑借其在半導(dǎo)體激光器以及光學(xué)整形上的技術(shù)優(yōu)勢，公司經(jīng)過幾年的研發(fā)和積淀，發(fā)布了Flux H系列激光系統(tǒng)，可提供分別應(yīng)用于激光巨量焊接和激光芯片修復(fù)領(lǐng)域的光子應(yīng)用解決方案。

應(yīng)用于巨量焊接的Flux H激光系統(tǒng)，采用4000-10000W功率976nm波長的半導(dǎo)體光纖輸出激光光源，通過炬光科技自主知識產(chǎn)權(quán)的光學(xué)設(shè)計，從光斑長度和寬度方向分別使用微光學(xué)模組進行光斑尺寸調(diào)控和光學(xué)勻化，光斑長度和寬度可實現(xiàn)從2mm到200mm分段連續(xù)可調(diào)且光斑能量均勻度＞97%。

應(yīng)用于巨量焊接的Flux H激光系統(tǒng)

應(yīng)用于激光芯片修復(fù)的Flux H激光系統(tǒng)，采用30-150W功率976nm波長的半導(dǎo)體光纖輸出激光光源，光斑長度和寬度方向分別實現(xiàn)精準尺寸調(diào)控（365umx105um）和光學(xué)勻化，且光斑能量均勻度＞90%。

應(yīng)用于激光芯片修復(fù)的Flux H激光系統(tǒng)

炬光科技 Flux H系列激光系統(tǒng)，牢牢把握了Mini LED和 Micro LED巨量焊接、激光芯片修復(fù)工藝的以下三個關(guān)鍵點，為Mini 和 Micro LED工藝提供了優(yōu)選解決方案。

光斑調(diào)控：炬光科技獨特的折射光學(xué)(ROE)整形技術(shù)，可以讓半導(dǎo)體激光器輸出方形、線性、矩形的大光斑或精準小光斑?？蛻艨蛇x擇標準的光斑尺寸，也可根據(jù)實際需求定制光斑參數(shù)，實現(xiàn)一次性焊接整個光斑覆蓋內(nèi)的區(qū)域，真正達到巨量焊接的目的， 或通過精確光斑尺寸進行激光芯片修復(fù)。

均勻性：炬光科技的光場勻化技術(shù)，光斑均勻性的上限可達99%，無零級衍射，在實際產(chǎn)品中也有＞97%的光斑均勻性表現(xiàn)，有效保證焊接區(qū)域內(nèi)的良率和極高的一致性。

溫控閉環(huán)：溫控閉環(huán)控制可以有效地模擬高溫回流爐的控制過程，實現(xiàn)溫度曲線的編輯以及實現(xiàn)錫膏預(yù)熱-升溫-保溫-降溫-冷卻的過程。

炬光科技作為全球高功率半導(dǎo)體激光器及應(yīng)用領(lǐng)域有影響力的公司和品牌，從元器件到模塊、模組、子系統(tǒng)，能夠為客戶量身定制Mini 和 Micro LED顯示制程光子應(yīng)用解決方案。炬光科技堅持通過技術(shù)創(chuàng)新、卓越制造和快速響應(yīng)，成為光子行業(yè)全球值得信賴的合作伙伴。