激光刻蝕機(jī)是指利用高能量的激光光束照射材料表面，通過(guò)剝離基材表面的導(dǎo)電材料，形成線路或達(dá)到一定的阻值，從而達(dá)到刻蝕的目的。

激光刻蝕機(jī)的主要構(gòu)成有激光器、XY直線工作臺(tái)、驅(qū)動(dòng)器、工控機(jī)、高速振鏡、聚焦透鏡、系統(tǒng)控制軟件、定位系統(tǒng)、抽塵系統(tǒng)、真吸附空系統(tǒng)、外光路、機(jī)臺(tái)等，能夠有效滿足大尺寸與高精度拼接加工的需求。根據(jù)不同的加工需求，組合配置光學(xué)及運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，以元祿光電為例，可采用納秒級(jí)別紅外光纖（包括可調(diào)脈寬激光器）、515/532nm綠光激光器、355nm紫外激光器，也可采用超短脈沖皮秒或飛秒激光設(shè)備進(jìn)行加工。標(biāo)準(zhǔn)配置600*600mm有效加工幅面，最大可做到3200*2400mm加工幅面，可滿足觸摸屏、光伏太陽(yáng)能電池、以及其他導(dǎo)電薄膜或?qū)щ姴ＡР牧系目涛g加工。

根據(jù)元祿光電的激光刻蝕設(shè)備的工藝經(jīng)驗(yàn)，以激光器的類(lèi)型分類(lèi)為向?qū)В瑸榇蠹規(guī)?lái)常見(jiàn)的激光刻蝕機(jī)主要應(yīng)用領(lǐng)域介紹。

納秒紅外光纖激光刻蝕機(jī)

采用普通脈沖式光纖激光刻蝕機(jī)或可調(diào)脈寬光纖激光刻蝕機(jī)，對(duì)鍍膜玻璃、薄膜表面FTO、ITO、銀獎(jiǎng)、鋁、銅、鉬鋁鉬、錫合金、鎳合金、鍍金玻璃等材料進(jìn)行超精細(xì)刻蝕。

在光伏太陽(yáng)能電池行業(yè)，對(duì)激光刻蝕機(jī)的工藝要求通常能夠有限滿足加工效率要求以及保證隔斷對(duì)材料的導(dǎo)通性，無(wú)殘留、無(wú)短路現(xiàn)象，對(duì)線寬的要求不高，保證在0.1mm以下的線寬就可以，因而部分材料的蝕刻可以選擇成本更加低廉的Q開(kāi)關(guān)光纖激光刻蝕機(jī)。

這類(lèi)型的激光刻蝕機(jī)通常用于光伏太陽(yáng)能電池激光劃線，以及P1刻蝕，如鈣鈦礦電池的P1層FTO刻蝕；也可用于觸摸屏行業(yè)ITO、銀獎(jiǎng)蝕刻，包括ITO玻璃、銀獎(jiǎng)薄膜等。而在一些特殊領(lǐng)域，如汽車(chē)后視鏡，紅外激光刻蝕機(jī)同樣有非凡的表現(xiàn)，能夠有限的實(shí)現(xiàn)鋁薄膜刻蝕，同時(shí)不傷及基材。

激光刻蝕FTO樣例

激光刻蝕鋁薄膜樣例

激光刻蝕銀獎(jiǎng)樣例

激光刻蝕ITO樣例

納秒綠光激光刻蝕機(jī)

相比較于紅外光纖激光刻蝕機(jī)，此類(lèi)型激光器的激光刻蝕應(yīng)用主要體現(xiàn)在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域，尤其是對(duì)PERC電池的應(yīng)用較為廣泛，特別適用于P1/P2/P3劃線等。相比較于光纖激光刻蝕機(jī)，刻蝕的線條更加精細(xì)，適合對(duì)P2、P3層的刻蝕。元祿光電總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)看，從背面利用綠光對(duì)P1層FTO或ITO刻蝕更加干凈、線條更細(xì)，并且對(duì)玻璃基材無(wú)損傷。

納秒紫外激光刻蝕機(jī)

紫外激光刻蝕機(jī)的主要適用領(lǐng)域是電子行業(yè)，如傳感器蝕刻，通常也可用于激光調(diào)阻，常見(jiàn)的有銅薄膜刻蝕。紫外激光刻蝕機(jī)的優(yōu)勢(shì)在于刻蝕的線條更加精細(xì)，同時(shí)不傷及薄膜，能夠有效保證導(dǎo)通性及阻值的要求，并能根據(jù)需求隨時(shí)進(jìn)行調(diào)整。

紫外激光刻蝕銅箔樣例

超快激光刻蝕機(jī)（皮秒、飛秒）

采用皮秒激光或飛秒激光對(duì)無(wú)機(jī)材料或?qū)щ娊饘俨牧峡涛g，如石墨烯、油墨、鈣鈦礦電池P2刻蝕以及碳粉刻蝕等。超快激光刻蝕機(jī)的優(yōu)勢(shì)在于對(duì)材料的熱影響更小，因此刻蝕的線寬相比較納秒紫外激光刻蝕機(jī)更加精細(xì)，加工效果更好，能對(duì)多層材料進(jìn)行蝕刻，如鈣鈦礦電池等。

鈣鈦礦電池激光刻蝕樣例