激光刻蝕機(jī)是指利用高能量的激光光束照射材料表面，通過剝離基材表面的導(dǎo)電材料，形成線路或達(dá)到一定的阻值，從而達(dá)到刻蝕的目的。

激光刻蝕機(jī)的主要構(gòu)成有激光器、XY直線工作臺、驅(qū)動器、工控機(jī)、高速振鏡、聚焦透鏡、系統(tǒng)控制軟件、定位系統(tǒng)、抽塵系統(tǒng)、真吸附空系統(tǒng)、外光路、機(jī)臺等，能夠有效滿足大尺寸與高精度拼接加工的需求。根據(jù)不同的加工需求，組合配置光學(xué)及運(yùn)動控制系統(tǒng)，以元祿光電為例，可采用納秒級別紅外光纖（包括可調(diào)脈寬激光器）、515/532nm綠光激光器、355nm紫外激光器，也可采用超短脈沖皮秒或飛秒激光設(shè)備進(jìn)行加工。標(biāo)準(zhǔn)配置600*600mm有效加工幅面，最大可做到3200*2400mm加工幅面，可滿足觸摸屏、光伏太陽能電池、以及其他導(dǎo)電薄膜或?qū)щ姴ＡР牧系目涛g加工。

根據(jù)元祿光電的激光刻蝕設(shè)備的工藝經(jīng)驗(yàn)，以激光器的類型分類為向?qū)?，為大家?guī)沓Ｒ姷募す饪涛g機(jī)主要應(yīng)用領(lǐng)域介紹。

納秒紅外光纖激光刻蝕機(jī)

采用普通脈沖式光纖激光刻蝕機(jī)或可調(diào)脈寬光纖激光刻蝕機(jī)，對鍍膜玻璃、薄膜表面FTO、ITO、銀獎、鋁、銅、鉬鋁鉬、錫合金、鎳合金、鍍金玻璃等材料進(jìn)行超精細(xì)刻蝕。

在光伏太陽能電池行業(yè)，對激光刻蝕機(jī)的工藝要求通常能夠有限滿足加工效率要求以及保證隔斷對材料的導(dǎo)通性，無殘留、無短路現(xiàn)象，對線寬的要求不高，保證在0.1mm以下的線寬就可以，因而部分材料的蝕刻可以選擇成本更加低廉的Q開關(guān)光纖激光刻蝕機(jī)。

這類型的激光刻蝕機(jī)通常用于光伏太陽能電池激光劃線，以及P1刻蝕，如鈣鈦礦電池的P1層FTO刻蝕；也可用于觸摸屏行業(yè)ITO、銀獎蝕刻，包括ITO玻璃、銀獎薄膜等。而在一些特殊領(lǐng)域，如汽車后視鏡，紅外激光刻蝕機(jī)同樣有非凡的表現(xiàn)，能夠有限的實(shí)現(xiàn)鋁薄膜刻蝕，同時不傷及基材。

激光刻蝕FTO樣例

激光刻蝕鋁薄膜樣例

激光刻蝕銀獎樣例

激光刻蝕ITO樣例

納秒綠光激光刻蝕機(jī)

相比較于紅外光纖激光刻蝕機(jī)，此類型激光器的激光刻蝕應(yīng)用主要體現(xiàn)在太陽能光伏領(lǐng)域，尤其是對PERC電池的應(yīng)用較為廣泛，特別適用于P1/P2/P3劃線等。相比較于光纖激光刻蝕機(jī)，刻蝕的線條更加精細(xì)，適合對P2、P3層的刻蝕。元祿光電總結(jié)的經(jīng)驗(yàn)看，從背面利用綠光對P1層FTO或ITO刻蝕更加干凈、線條更細(xì)，并且對玻璃基材無損傷。

納秒紫外激光刻蝕機(jī)

紫外激光刻蝕機(jī)的主要適用領(lǐng)域是電子行業(yè)，如傳感器蝕刻，通常也可用于激光調(diào)阻，常見的有銅薄膜刻蝕。紫外激光刻蝕機(jī)的優(yōu)勢在于刻蝕的線條更加精細(xì)，同時不傷及薄膜，能夠有效保證導(dǎo)通性及阻值的要求，并能根據(jù)需求隨時進(jìn)行調(diào)整。

紫外激光刻蝕銅箔樣例

超快激光刻蝕機(jī)（皮秒、飛秒）

采用皮秒激光或飛秒激光對無機(jī)材料或?qū)щ娊饘俨牧峡涛g，如石墨烯、油墨、鈣鈦礦電池P2刻蝕以及碳粉刻蝕等。超快激光刻蝕機(jī)的優(yōu)勢在于對材料的熱影響更小，因此刻蝕的線寬相比較納秒紫外激光刻蝕機(jī)更加精細(xì)，加工效果更好，能對多層材料進(jìn)行蝕刻，如鈣鈦礦電池等。

鈣鈦礦電池激光刻蝕樣例