中科院光電所超分辨光刻裝備項(xiàng)目副總設(shè)計(jì)師楊勇（左）介紹研制成功的裝備整機(jī)。　孫自法　攝

中新網(wǎng)成都11月29日電 (記者 孫自法)由中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的國(guó)家重大科研裝備——超分辨光刻裝備項(xiàng)目29日在成都通過(guò)驗(yàn)收，作為項(xiàng)目重要成果之一，中國(guó)科學(xué)家已研制成功世界上首臺(tái)分辨力最高的紫外(即22納米@365納米)超分辨光刻裝備，并形成一條全新的納米光學(xué)光刻工藝路線，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

中科院光電所所長(zhǎng)、超分辨光刻裝備項(xiàng)目首席科學(xué)家羅先剛研究員介紹說(shuō)，2012年，該所承擔(dān)了超分辨光刻裝備這一國(guó)家重大科研裝備項(xiàng)目研制任務(wù)，經(jīng)過(guò)近7年艱苦攻關(guān)，在無(wú)國(guó)外成熟經(jīng)驗(yàn)可借鑒的情況下，項(xiàng)目組突破了高均勻性照明、超分辨光刻鏡頭、納米級(jí)分辨力檢焦及間隙測(cè)量和超精密、多自由度工件臺(tái)及控制等關(guān)鍵技術(shù)，完成國(guó)際上首臺(tái)分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備研制，其采用365納米波長(zhǎng)光源，單次曝光最高線寬分辨力達(dá)到22納米(約1/17曝光波長(zhǎng))。在此基礎(chǔ)上，項(xiàng)目組還結(jié)合超分辨光刻裝備項(xiàng)目開(kāi)發(fā)的高深寬比刻蝕、多重圖形等配套工藝，實(shí)現(xiàn)了10納米以下特征尺寸圖形的加工。

這一世界首臺(tái)分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備是基于表面等離子體超衍射研制而成，它打破了傳統(tǒng)光學(xué)光刻分辨力受限于光源波長(zhǎng)及鏡頭數(shù)值孔徑的傳統(tǒng)路線格局，形成了一條全新的超衍射納米光刻從原理、裝備到工藝的技術(shù)路線，具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，為超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、廣義芯片等變革性戰(zhàn)略領(lǐng)域的跨越式發(fā)展提供了制造工具。

驗(yàn)收專家認(rèn)為，中科光電所研制成功的超分辨光刻裝備所有技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到或優(yōu)于實(shí)施方案規(guī)定的考核指標(biāo)要求，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到超分辨成像光刻領(lǐng)域的國(guó)際領(lǐng)先水平。該項(xiàng)目在原理上突破分辨力衍射極限，建立一條高分辨、大面積的納米光刻裝備研發(fā)新路線，繞過(guò)了國(guó)外高分辨光刻裝備技術(shù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)壁壘，實(shí)現(xiàn)中國(guó)技術(shù)源頭創(chuàng)新，研制出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、技術(shù)自主可控的超分辨光刻裝備，也是世界上首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備。

同時(shí)，利用研制成功的超分辨光刻裝備已制備出一系列納米功能器件，包括大口徑薄膜鏡、超導(dǎo)納米線單光子探測(cè)器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片、超表面成像器件等，驗(yàn)證了該裝備納米功能器件加工能力，已達(dá)到實(shí)用化水平。

中科院光電所超分辨光刻裝備項(xiàng)目已發(fā)表論文68篇，目前已獲授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利47項(xiàng)，授權(quán)國(guó)際專利4項(xiàng)，并培養(yǎng)出一支超分辨光刻技術(shù)和裝備研發(fā)團(tuán)隊(duì)。羅先剛表示，中科院光電所后續(xù)將進(jìn)一步加大超分辨光刻裝備的功能多樣化研發(fā)和推廣應(yīng)用力度，推動(dòng)國(guó)家相關(guān)領(lǐng)域發(fā)展。(完)