在許多情況下,納秒脈沖激光器為加工這些材料提供很好的成本和性能。對于氧化鋁 (Al2O3) 陶瓷,即使紅外 (1064 nm) 波長也能實現(xiàn)高速深層劃線,不過更短的波長可實現(xiàn)更高的質(zhì)量和更小的特征尺寸。玻璃切割和鉆孔在各種行業(yè)中越來越常見,使用綠光和紫外波長通常能夠大獲成功。然而,隨著制造商追求越來越高的質(zhì)量和更精細(xì)特征的加工,激光行業(yè)必須提供越來越好的工具。
為此,皮秒激光器技術(shù)在高質(zhì)量、高產(chǎn)量加工這些具有挑戰(zhàn)性的材料方面得到越來越多的應(yīng)用。然而,當(dāng)前的皮秒激光器存在許多重大缺點- 它們常常價格高昂、體積龐大、不靈活并且不一定可靠。Spectra-Physics 的 IceFyre 重新定義的皮秒微加工激光器市場。IceFyre 是一款新型工業(yè)皮秒激光器,以行業(yè)領(lǐng)先的性價比實現(xiàn)卓越的性能、前所未有的多功能性、最小的尺寸以及工業(yè)可靠性。
IceFyre 激光器在 1064nm 波長時提供 >200mJ 脈沖能量和 >50W平均功率。此外,它包含TimeShift™ ps技術(shù), 該技術(shù)允許通過可變子脈沖間隔時間進(jìn)行突發(fā)模式操作;每子次脈沖的能量、間隔和突發(fā)包絡(luò)中的次脈沖數(shù)量可變但仍然保持相同的最大輸出功率。
Spectra Physics 應(yīng)用工程師使用 IceFyre 1064-50 進(jìn)行了一系列透明和脆性材料加工實驗。這些實驗旨在為特定工業(yè)應(yīng)用開發(fā)最佳工藝。經(jīng)測試的材料包括 200μm厚Corning® Willow® 玻璃、150μm厚藍(lán)寶石和 200μm厚氧化鋁(Al2O3)陶瓷。在這些材料中,我為直徑 5 至 10 mm 范圍的孔開發(fā)了環(huán)鋸切割工藝。
在用于制造個人移動設(shè)備的薄玻璃中,皮秒激光器已證明尤其有價值。封閉形狀切割對按鈕、揚聲器開口、照相機(jī)窗口等特征的集成很重要。使用 IceFyre 激光器結(jié)合高速多程環(huán)鉆切割工藝,我們在 200μm厚Willow玻璃上切割出了直徑10 mm 的孔。圖 1 顯示完整切口的數(shù)碼照相機(jī)微距照片。孔切割時間約為 2.5 秒,燒蝕邊緣看起來非常光滑。經(jīng)光學(xué)顯微鏡檢查確定,邊緣碎屑通常為 0-10 μm,切割邊緣的表面輪廓數(shù)據(jù)顯示粗糙度 Ra 為 <1 μm。
人造藍(lán)寶石幾十年來一直用于手表蓋板,如今作為按鈕和照相機(jī)窗口等組件的堅固抗劃傷材料,越來越多地在移動設(shè)備中使用。在這些測試中,我們從 150 μm厚 C-面雙面拋光藍(lán)寶石上加工出小型圓盤。對于此類極薄的脆性材料,開發(fā)高平均功率激光器的高速工藝非常具有挑戰(zhàn)性。經(jīng)過精心的IceFyre 皮秒激光器工藝優(yōu)化,我們在約 1.5 秒內(nèi)切割出直徑 5 mm 的圓盤。圖 2 顯示圓盤的照相機(jī)微距照片。該照片顯示良好的薄藍(lán)寶石材料加工質(zhì)量,無可見碎屑, 并且切割邊緣光滑磨砂。
對于更快的切割速度,側(cè)壁粗糙度 Ra 通常約為 1.5 μm。然而,在產(chǎn)量上稍作取舍,IceFyre 激光器還以 可在藍(lán)寶石中加工出0.5至 1.0 μm范圍的Ra值在藍(lán)寶石中加工出一些特征。
由于結(jié)合了高硬度、高電氣絕緣性和高導(dǎo)熱性,氧化鋁陶瓷正越來越多地用于發(fā)光二極管 (LED)散熱器、高溫印刷電路板(PCB)以及嚴(yán)苛高溫環(huán)境的設(shè)備封裝等應(yīng)用。
然而,由于該材料的硬度和某種程度上的脆性,這些優(yōu)勢同樣伴隨著精密加工的挑戰(zhàn)。使用 IceFyre 的短皮秒脈沖結(jié)合高速多遍環(huán)鉆工藝,我們在該材料中高質(zhì)量、高產(chǎn)量地切割出直徑5 mm 的孔。圖 3 顯示加工孔的數(shù)碼照相機(jī)照片。每個孔的加
工時間為 0.8 秒,相當(dāng)于約 20 mm/s 的線性切割速度。照片顯示切口邊緣和側(cè)壁不存在使用長脈沖寬度激光器加工時常常出現(xiàn)的變暗和碎屑沉積。
產(chǎn)品:ICEFYRE 1064-50
IceFyre 正在申請專利的設(shè)計重新定義了皮秒微加工激光器,以行業(yè)領(lǐng)先的性價比實現(xiàn)卓越的性能和前所未有的多功能性。IceFyre基于Spectra-Physics的 It’s in the Box™ 設(shè)計,將激光器和控制器集成到行業(yè)最小的封裝中。IceFyre 的獨特設(shè)計利用光纖激光器的靈活性和Spectra-Physics 獨有的功率放大器能力,實現(xiàn) TimeShift ps 可編程突發(fā)模式技術(shù)和廣泛的重復(fù)頻率可調(diào)節(jié)性。每臺激光器均配備一組標(biāo)準(zhǔn)波形;可選的 TimeShift ps GUI可用于創(chuàng)建自定義波形。該激光器為高掃描速度的優(yōu)質(zhì)加工(例如使用多面掃描鏡)提供同類中抖動最低的按需脈沖觸發(fā)。
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