1．引言
2．激光加工工業(yè)的發(fā)展
從上世紀(jì)80年代開始，從深度上來看，激光加工工業(yè)的發(fā)展主要經(jīng)歷了三個階段：
第一階段是納秒激光器應(yīng)用階段。調(diào)Q技術(shù)獲得的納秒脈沖，其峰值功率遠(yuǎn)高于平均功率，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)激光器無法達(dá)到的高瞬時(shí)功率密度，從而瞬間超過材料破壞閾值，實(shí)現(xiàn)刻蝕效果。
第二階段是本世紀(jì)伊始，SESAM（半導(dǎo)體可飽和吸收鏡）使皮秒激光技術(shù)迅猛發(fā)展，并很快應(yīng)用于工業(yè)中。皮秒激光器一直以來都是通過染料進(jìn)行鎖模，但是染料需要循環(huán)，且經(jīng)常容易漂白而影響鎖模的穩(wěn)定性。SESAM不但能夠代替染料進(jìn)行鎖模，而且能夠?qū)崿F(xiàn)自啟動。在此背景下，迅速涌現(xiàn)出了眾多商業(yè)化的工業(yè)級皮秒激光器。
相較納秒激光，皮秒激光器以其更短的脈沖寬度，更高的峰值功率，能夠?qū)崿F(xiàn)更精細(xì)的加工效果。因此，一時(shí)間，精細(xì)加工成為熱點(diǎn)話題。
（1）激光首先激發(fā)的是固體的電子，在100飛秒的時(shí)間內(nèi)電子吸收光子的能量而躍遷到高能級；
（2）由于電子相對于晶格的溫度更高，因此其處于非平衡態(tài)。為了達(dá)到平衡，電子會在1皮秒的時(shí)間內(nèi)將能量傳遞給晶格；
（3）在10皮秒的時(shí)間內(nèi)，這些能量將被逐步傳遞到材料內(nèi)部。
因此，對于10皮秒左右的皮秒激光加工，材料有足夠的時(shí)間把熱量傳遞到其內(nèi)部，然后才發(fā)生刻蝕作用，因此熱效應(yīng)實(shí)際上無法避免。而對于飛秒激光而言，脈沖作用時(shí)間已經(jīng)實(shí)際小于1皮秒，電子沒有足夠的時(shí)間將能量傳遞給晶格。從而在材料表面生成眾多等離子體，能量伴隨著材料的去除而消散，因此出現(xiàn)強(qiáng)烈的刻蝕效果。也就是說，當(dāng)激光脈寬遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于晶格的受熱時(shí)間時(shí)，燒蝕時(shí)間不依賴于激光脈寬。
從上面三個階段，我們可以看到，激光加工的發(fā)展與激光器的發(fā)展基本上是同步的，一個新的技術(shù)突破，就可能迎來激光工業(yè)應(yīng)用的飛躍，當(dāng)然，也會帶來新的疑問：
第一，皮秒激光器既然無法完全避免加工時(shí)的熱效應(yīng)，那是否它就對精細(xì)加工就沒有意義，或者說已經(jīng)失去了存在的價(jià)值和必要性？
當(dāng)然不是。皮秒激光雖然無法實(shí)現(xiàn)精細(xì)的冷加工，但相對于飛秒激光器，價(jià)格較低，且結(jié)構(gòu)相對簡單，功率較高。因此，對于這樣一個超短脈沖技術(shù)的過度性產(chǎn)品，如何充分利用就值得我們思考了。目前比較值得借鑒的方法是，將皮秒激光進(jìn)行三倍頻，利用紫外光于材料的“光蝕”作用，高能量的光子通過“冷”處理直接破壞材料的化學(xué)鍵，從而減小加工的熱效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)“冷”加工。目前，該系統(tǒng)對于透明性材料加工有其較大的優(yōu)勢。此類激光器很多，例如Photonics industry公司的15ps的355nm激光器。
第二，飛秒激光器能夠?qū)崿F(xiàn)非熱刻蝕，那是不是脈沖寬度越短，加工越精細(xì)呢？實(shí)際上，刻蝕效果與六個主要因素有關(guān)：平均功率，脈寬，波長，譜寬，單脈沖能量，頻率。
一般來說，脈沖寬度越短，就很難獲得高平均功率，因此，從這方面來說，短脈沖是以犧牲平均功率為代價(jià)的。
另外，脈沖寬度越窄，譜寬就會越大，因此，色差也會影響加工效果。
其次是波長的影響，對于一般材料而言，波長對刻蝕效果影響不大，只有在對透明材料（如SiO2）進(jìn)行加工的時(shí)候才考慮，而且應(yīng)該考慮波長的問題。如前面所說，透明材料對紫外光有強(qiáng)烈的吸收，而對于可見和紅外光的透過率卻很高。因此通常將超快激光的三倍頻光用來加工。對于幾十飛秒的激光器而言，光譜寬度達(dá)到20nm，甚至是50nm，因此三倍頻效率非常低。而皮秒激光器卻能獲得較高的三倍頻率輸出。
因此，對于超快激光加工，不能盲目追求超短脈沖，必須看實(shí)際的需求。而且脈沖極短而高功率的飛秒激光器，價(jià)格不菲。就目前的精細(xì)加工需求而言，百飛秒級，幾百KHz頻率的激光器應(yīng)該是足夠應(yīng)對通常的精細(xì)加工需求，例如JENOPTIK公司的D2.fs工業(yè)級激光器（4W，400fs，300KHz，1025 nm，20 μJ @ 200 kHz）。而且該激光器采用光纖激光器振蕩器，能夠做到長壽命，免維護(hù)，這是一個亮點(diǎn)。指標(biāo)，價(jià)格，穩(wěn)定性，綜合性價(jià)比來看，該激光器是非常不錯的。
近兩年，飛秒激光技術(shù)得到了飛速提高，我國經(jīng)濟(jì)也穩(wěn)步發(fā)展，國外更多的先進(jìn)產(chǎn)品涌進(jìn)來。例如KMlabs的12fs振蕩器和峰值功率TW級放大器，menlosystems的飛秒光纖激光器，Lumera和photonics industry的皮秒激光器等就是比較成功的幾款商品化的超快激光器。
3．激光精細(xì)加工
對于一套激光精細(xì)加工系統(tǒng)，除了激光器外，整個系統(tǒng)平臺的搭建，軟件控制也是一個重要的問題。任何一個方面的缺憾，都足以影響整個系統(tǒng)的性能。
軟件方面，普通的標(biāo)刻軟件已經(jīng)無法滿足需求，在納秒脈沖打標(biāo)下無須考慮的很多問題，如何克服首脈沖，拐角漏點(diǎn)等擺在我們面前。
硬件方面，由于目前最好的振鏡的定位精度也只能達(dá)到十微米級別，很難勝任更精細(xì)的加工，因此，通常選用速度較慢而精度極高的位移平臺來組建系統(tǒng)，高精度位移平臺能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的精確控制。同時(shí)，還要考慮光路系統(tǒng)和聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)問題，矯正像差和色差以實(shí)現(xiàn)更小的聚焦光斑。
除此之外，為滿足不同加工需求，還要考慮夾具，工藝等多方面的問題。例如，心血管支架的加工因?yàn)槭侵婵涛g，所以對軟件和夾具有不同于平面加工的要求，而且難度更大。
再如調(diào)節(jié)焦距，使得焦斑的中心強(qiáng)度剛好達(dá)到材料的多光子電離閾值，則加工過程中的能量吸收和作用僅限于焦點(diǎn)中心位置處的很小一部分體積內(nèi)，而不是整個聚焦光斑輻照的區(qū)域。這樣，可以實(shí)現(xiàn)比聚焦光斑小得多的加工尺寸。
隨著我國經(jīng)濟(jì)和工業(yè)需求的發(fā)展，精細(xì)加工已經(jīng)成了激光加工領(lǐng)域的熱點(diǎn)，目前，中國的精細(xì)加工還處在萌芽階段，因此，具有兩方面的內(nèi)涵：
第一、萌芽階段意味著不成熟，目前在國內(nèi)尚沒有成熟的商品化飛秒精細(xì)加工系統(tǒng)，需要我們更多的探索，或許在探索中會走彎路，會付出一定的代價(jià)，但這對于未來可能獲得的回報(bào)而言，是值得的。為了避免盡量少的走彎路，減少不必要的損失，應(yīng)該更多的注意方法，更全面的考慮問題。精細(xì)加工問題，不僅僅是激光器的問題，而是系統(tǒng)全面優(yōu)化以實(shí)現(xiàn)更高精度要求的問題，刻蝕效果是我們追求的最終目標(biāo)。國外已經(jīng)有比較成熟的產(chǎn)品，而國內(nèi)還沒有，彼此的差別并不僅僅是激光器，還有工藝問題。工藝研究是一門復(fù)雜的科學(xué)，一個復(fù)雜的系統(tǒng)，需要一個團(tuán)隊(duì)的不懈努力，例如軟件參數(shù)的設(shè)置和工藝效果的嘗試。盡管激光器是關(guān)鍵部件，但只把眼界局限在激光器上，而忽略了整體系統(tǒng)的集成和優(yōu)化是我們的致命傷。
第二、而對起步階段的中國精細(xì)加工領(lǐng)域來說，正因?yàn)闆]有成熟的飛秒精細(xì)加工系統(tǒng)，因此市場潛力巨大，誰將會是第一個吃到螃蟹的人呢？
從1960年第一臺紅寶石激光器誕生至今，人們對激光技術(shù)的探索從未曾止步。因其優(yōu)越的特性越來越多的為人們所知，更多的應(yīng)用將被發(fā)掘出來，尤其是對高新技術(shù)比較敏感的工業(yè)領(lǐng)域。可以說，就人類社會發(fā)展的現(xiàn)階段，工業(yè)需求是社會發(fā)展的最強(qiáng)大的動力。激光應(yīng)用于工業(yè)加工領(lǐng)域已經(jīng)有20多年的歷史，激光在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用的深度和廣度都已經(jīng)達(dá)到了前所未有的階段。
2．激光加工工業(yè)的發(fā)展
在第一臺激光器誕生之初，功率較低，系統(tǒng)整體較大，實(shí)際上無法直接應(yīng)用于工業(yè)加工領(lǐng)域。在這之后的幾十年里，隨著激光技術(shù)的發(fā)展，新的激光介質(zhì)的出現(xiàn)，激光技術(shù)瓶頸的突破，激光器無論從深度上還是廣度上都有很大的進(jìn)步。激光在工業(yè)中的應(yīng)用之多，數(shù)不勝數(shù)，如：激光印刷，刻錄，打標(biāo)，雕刻，焊接，切割，毛化，調(diào)阻，熔敷等等，且潛力巨大。
從上世紀(jì)80年代開始，從深度上來看，激光加工工業(yè)的發(fā)展主要經(jīng)歷了三個階段：
第一階段是納秒激光器應(yīng)用階段。調(diào)Q技術(shù)獲得的納秒脈沖，其峰值功率遠(yuǎn)高于平均功率，能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)激光器無法達(dá)到的高瞬時(shí)功率密度，從而瞬間超過材料破壞閾值，實(shí)現(xiàn)刻蝕效果。
第二階段是本世紀(jì)伊始，SESAM（半導(dǎo)體可飽和吸收鏡）使皮秒激光技術(shù)迅猛發(fā)展，并很快應(yīng)用于工業(yè)中。皮秒激光器一直以來都是通過染料進(jìn)行鎖模，但是染料需要循環(huán)，且經(jīng)常容易漂白而影響鎖模的穩(wěn)定性。SESAM不但能夠代替染料進(jìn)行鎖模，而且能夠?qū)崿F(xiàn)自啟動。在此背景下，迅速涌現(xiàn)出了眾多商業(yè)化的工業(yè)級皮秒激光器。
相較納秒激光，皮秒激光器以其更短的脈沖寬度，更高的峰值功率，能夠?qū)崿F(xiàn)更精細(xì)的加工效果。因此，一時(shí)間，精細(xì)加工成為熱點(diǎn)話題。
然而，真正做到精細(xì)加工是在飛秒激光下實(shí)現(xiàn)的，這也是我們說的第三階段。我們首先來看激光與固體之間的相互作用機(jī)理：
（1）激光首先激發(fā)的是固體的電子，在100飛秒的時(shí)間內(nèi)電子吸收光子的能量而躍遷到高能級；
（2）由于電子相對于晶格的溫度更高，因此其處于非平衡態(tài)。為了達(dá)到平衡，電子會在1皮秒的時(shí)間內(nèi)將能量傳遞給晶格；
（3）在10皮秒的時(shí)間內(nèi)，這些能量將被逐步傳遞到材料內(nèi)部。
因此，對于10皮秒左右的皮秒激光加工，材料有足夠的時(shí)間把熱量傳遞到其內(nèi)部，然后才發(fā)生刻蝕作用，因此熱效應(yīng)實(shí)際上無法避免。而對于飛秒激光而言，脈沖作用時(shí)間已經(jīng)實(shí)際小于1皮秒，電子沒有足夠的時(shí)間將能量傳遞給晶格。從而在材料表面生成眾多等離子體，能量伴隨著材料的去除而消散，因此出現(xiàn)強(qiáng)烈的刻蝕效果。也就是說，當(dāng)激光脈寬遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于晶格的受熱時(shí)間時(shí)，燒蝕時(shí)間不依賴于激光脈寬。
從上面三個階段，我們可以看到，激光加工的發(fā)展與激光器的發(fā)展基本上是同步的，一個新的技術(shù)突破，就可能迎來激光工業(yè)應(yīng)用的飛躍，當(dāng)然，也會帶來新的疑問：
第一，皮秒激光器既然無法完全避免加工時(shí)的熱效應(yīng)，那是否它就對精細(xì)加工就沒有意義，或者說已經(jīng)失去了存在的價(jià)值和必要性？
當(dāng)然不是。皮秒激光雖然無法實(shí)現(xiàn)精細(xì)的冷加工，但相對于飛秒激光器，價(jià)格較低，且結(jié)構(gòu)相對簡單，功率較高。因此，對于這樣一個超短脈沖技術(shù)的過度性產(chǎn)品，如何充分利用就值得我們思考了。目前比較值得借鑒的方法是，將皮秒激光進(jìn)行三倍頻，利用紫外光于材料的“光蝕”作用，高能量的光子通過“冷”處理直接破壞材料的化學(xué)鍵，從而減小加工的熱效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)“冷”加工。目前，該系統(tǒng)對于透明性材料加工有其較大的優(yōu)勢。此類激光器很多，例如Photonics industry公司的15ps的355nm激光器。
第二，飛秒激光器能夠?qū)崿F(xiàn)非熱刻蝕，那是不是脈沖寬度越短，加工越精細(xì)呢？實(shí)際上，刻蝕效果與六個主要因素有關(guān)：平均功率，脈寬，波長，譜寬，單脈沖能量，頻率。
一般來說，脈沖寬度越短，就很難獲得高平均功率，因此，從這方面來說，短脈沖是以犧牲平均功率為代價(jià)的。
另外，脈沖寬度越窄，譜寬就會越大，因此，色差也會影響加工效果。
其次是波長的影響，對于一般材料而言，波長對刻蝕效果影響不大，只有在對透明材料（如SiO2）進(jìn)行加工的時(shí)候才考慮，而且應(yīng)該考慮波長的問題。如前面所說，透明材料對紫外光有強(qiáng)烈的吸收，而對于可見和紅外光的透過率卻很高。因此通常將超快激光的三倍頻光用來加工。對于幾十飛秒的激光器而言，光譜寬度達(dá)到20nm，甚至是50nm，因此三倍頻效率非常低。而皮秒激光器卻能獲得較高的三倍頻率輸出。
頻率則會影響加工速度。一般來說是越高越好，但是通常只有振蕩器才是80MHz左右，而振蕩器的單脈沖能量太低，因此需要放大，放大器的頻率一般從1KHz到幾百KHz不等。
因此，對于超快激光加工，不能盲目追求超短脈沖，必須看實(shí)際的需求。而且脈沖極短而高功率的飛秒激光器，價(jià)格不菲。就目前的精細(xì)加工需求而言，百飛秒級，幾百KHz頻率的激光器應(yīng)該是足夠應(yīng)對通常的精細(xì)加工需求，例如JENOPTIK公司的D2.fs工業(yè)級激光器（4W，400fs，300KHz，1025 nm，20 μJ @ 200 kHz）。而且該激光器采用光纖激光器振蕩器，能夠做到長壽命，免維護(hù)，這是一個亮點(diǎn)。指標(biāo)，價(jià)格，穩(wěn)定性，綜合性價(jià)比來看，該激光器是非常不錯的。
近兩年，飛秒激光技術(shù)得到了飛速提高，我國經(jīng)濟(jì)也穩(wěn)步發(fā)展，國外更多的先進(jìn)產(chǎn)品涌進(jìn)來。例如KMlabs的12fs振蕩器和峰值功率TW級放大器，menlosystems的飛秒光纖激光器，Lumera和photonics industry的皮秒激光器等就是比較成功的幾款商品化的超快激光器。
3．激光精細(xì)加工
對于一套激光精細(xì)加工系統(tǒng)，除了激光器外，整個系統(tǒng)平臺的搭建，軟件控制也是一個重要的問題。任何一個方面的缺憾，都足以影響整個系統(tǒng)的性能。
軟件方面，普通的標(biāo)刻軟件已經(jīng)無法滿足需求，在納秒脈沖打標(biāo)下無須考慮的很多問題，如何克服首脈沖，拐角漏點(diǎn)等擺在我們面前。
硬件方面，由于目前最好的振鏡的定位精度也只能達(dá)到十微米級別，很難勝任更精細(xì)的加工，因此，通常選用速度較慢而精度極高的位移平臺來組建系統(tǒng)，高精度位移平臺能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的精確控制。同時(shí)，還要考慮光路系統(tǒng)和聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)問題，矯正像差和色差以實(shí)現(xiàn)更小的聚焦光斑。
除此之外，為滿足不同加工需求，還要考慮夾具，工藝等多方面的問題。例如，心血管支架的加工因?yàn)槭侵婵涛g，所以對軟件和夾具有不同于平面加工的要求，而且難度更大。
激光加工的心血管支架
再如調(diào)節(jié)焦距，使得焦斑的中心強(qiáng)度剛好達(dá)到材料的多光子電離閾值，則加工過程中的能量吸收和作用僅限于焦點(diǎn)中心位置處的很小一部分體積內(nèi)，而不是整個聚焦光斑輻照的區(qū)域。這樣，可以實(shí)現(xiàn)比聚焦光斑小得多的加工尺寸。
4．結(jié)語
隨著我國經(jīng)濟(jì)和工業(yè)需求的發(fā)展，精細(xì)加工已經(jīng)成了激光加工領(lǐng)域的熱點(diǎn)，目前，中國的精細(xì)加工還處在萌芽階段，因此，具有兩方面的內(nèi)涵：
第一、萌芽階段意味著不成熟，目前在國內(nèi)尚沒有成熟的商品化飛秒精細(xì)加工系統(tǒng)，需要我們更多的探索，或許在探索中會走彎路，會付出一定的代價(jià)，但這對于未來可能獲得的回報(bào)而言，是值得的。為了避免盡量少的走彎路，減少不必要的損失，應(yīng)該更多的注意方法，更全面的考慮問題。精細(xì)加工問題，不僅僅是激光器的問題，而是系統(tǒng)全面優(yōu)化以實(shí)現(xiàn)更高精度要求的問題，刻蝕效果是我們追求的最終目標(biāo)。國外已經(jīng)有比較成熟的產(chǎn)品，而國內(nèi)還沒有，彼此的差別并不僅僅是激光器，還有工藝問題。工藝研究是一門復(fù)雜的科學(xué)，一個復(fù)雜的系統(tǒng)，需要一個團(tuán)隊(duì)的不懈努力，例如軟件參數(shù)的設(shè)置和工藝效果的嘗試。盡管激光器是關(guān)鍵部件，但只把眼界局限在激光器上，而忽略了整體系統(tǒng)的集成和優(yōu)化是我們的致命傷。
第二、而對起步階段的中國精細(xì)加工領(lǐng)域來說，正因?yàn)闆]有成熟的飛秒精細(xì)加工系統(tǒng)，因此市場潛力巨大，誰將會是第一個吃到螃蟹的人呢？
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