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2014年SPIE先進光刻技術(shù)會議成功召開

激光制造網(wǎng) 來源:中國光學(xué)期刊網(wǎng)2014-03-24 我要評論(0 )   

2月23日27日,第39屆先進光刻技術(shù)會議(SPIE Advanced Lithography 2014)在美國加州圣荷西會展中心成功召開。大會由美國國際光電學(xué)工程協(xié)會(SPIE)主辦,會議期間,定...

 2月23日—27日,第39屆先進光刻技術(shù)會議(SPIE Advanced Lithography 2014)在美國加州圣荷西會展中心成功召開。大會由美國國際光電學(xué)工程協(xié)會(SPIE)主辦,會議期間,定向自組裝技術(shù)(DSA)、納米壓印技術(shù)、3D縮放工藝、 極紫外光刻技術(shù)(EUV)等方向的研究現(xiàn)狀及進展再次成為研究領(lǐng)域的熱門話題。 


      本屆展會內(nèi)容主要包括技術(shù)會議、行業(yè)研討、專業(yè)課程及的展覽會,共有包括研究人員、開發(fā)商、供應(yīng)商、風(fēng)險投資商、企業(yè)家在內(nèi)的2,360多名觀眾參展,比2013年增長約6%。近幾年持續(xù)增長的觀眾人數(shù),也從側(cè)面反映了半導(dǎo)體行業(yè)良好的發(fā)展趨勢。

      此外,會議上還公布了三項SPIE光學(xué)大獎及榮譽,由前任國際光學(xué)工程學(xué)會主席Bill Arnold 頒發(fā)。獎項/榮譽及獲得者分別是:

      Frits Zernike獎 [縮微平版印刷(Microlithography)領(lǐng)域]
      獲得者:Mordy Rothschild
             麻省理工學(xué)院林肯實驗室(MIT Lincoln Laboratory)
      獲獎內(nèi)容:半導(dǎo)體光刻成像解決方案的開發(fā)成果

      Harold E. Edgerton獎
      獲得者:Martin Richardson
             美國中佛羅里達大學(xué)光學(xué)與光子學(xué)學(xué)院
            (CREOL, The College of Optics and Photonics, University of Central Florida)
      獲獎內(nèi)容:高速物理現(xiàn)象領(lǐng)域的研究成果

      國際光學(xué)工程學(xué)會會士(SPIE Fellow)
      獲得者:Frank Abboud
             英特爾公司(Intel)

      據(jù)悉,2015年SPIE先進光刻技術(shù)會議將于2月22日—26日在美國加州圣荷西會展中心舉行。屆時,將由來自ASML公司的Mircea Dusa博士擔(dān)任研討會共主席,聯(lián)合主席則由羅切斯特技術(shù)研究所的Bruce Smith教授擔(dān)任。所有會議論文經(jīng)批準(zhǔn)錄用后,將收錄至美國SPIE國際會議文集暨其數(shù)字圖書館中。

 

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