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醫(yī)療激光新聞

飛秒激光技術(shù),正在引發(fā)微細(xì)加工和生命科學(xué)領(lǐng)域的高度關(guān)注

Nick 來源:中科紅塔資本 激光內(nèi)參2017-08-08 我要評論(0 )   

各種激光器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工和醫(yī)療領(lǐng)域,而飛秒超快激光作為高端微納加工和生命科學(xué)領(lǐng)域的理想光源,正逐漸引發(fā)市場的高度關(guān)注。

現(xiàn)在,各種激光器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于工業(yè)加工和醫(yī)療領(lǐng)域,而飛秒超快激光作為高端微納加工和生命科學(xué)領(lǐng)域的理想光源,正逐漸引發(fā)市場的高度關(guān)注。

 

1、激光與物質(zhì)之間的相互作用過程大致為:

 

  • 在100 fs的時間內(nèi)電子吸收光子的能量而躍遷到高能級;

  • 為了達(dá)到平衡,電子會在1 ps的時間內(nèi)將能量傳遞給晶格;

  • 在10 ps的時間內(nèi),這些能量將被逐步傳遞到材料內(nèi)部。
對于飛秒激光而言,脈沖作用時間已經(jīng)實(shí)際小于1 ps,電子沒有足夠的時間將能量傳遞給晶格。從而在材料表面生成眾多等離子體,能量伴隨著材料的去除而消散,因此出現(xiàn)強(qiáng)烈的燒蝕效果。


用飛秒激光進(jìn)行加工,激光脈沖能量極快地注入很小的作用區(qū)域,瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運(yùn)動方式發(fā)生變化,從根本上改變了激光與物質(zhì)相互作用機(jī)制。


飛秒激光加工時存在著準(zhǔn)確的多光子吸收閥值。從光和物質(zhì)相互作用的角度而言,飛秒激光是在極短的時間、極小的空間尺度、極端的物理?xiàng)l件下對物質(zhì)進(jìn)行加工,其過程與傳統(tǒng)的激光加工線性吸收不同,主要涉及多光子吸收。


只有超過多光子吸收閥值的照射區(qū)域,才會出現(xiàn)明確的加工行為。飛秒激光加工可以實(shí)現(xiàn)小于焦點(diǎn)光斑尺寸的精度加工,原因在于多光子吸收的光強(qiáng)依賴性。

 

2、飛秒激光脈沖在微細(xì)加工中具有許多獨(dú)特的加工優(yōu)勢,主要表現(xiàn)在:

 

  • 飛秒激光加工的組織中沒有熔融區(qū),沒有重鑄層,不產(chǎn)生微裂紋。這是飛秒加工的最重要特征。它避免了熱熔化的存在,實(shí)現(xiàn)了相對意義上的“冷”加工,大大減弱和消除了傳統(tǒng)加工中熱效應(yīng)帶來的諸多負(fù)面影響。

  • 飛秒激光加工精度高,不受光的衍射極限的限制,具有很高的空間分辨性。

  • 飛秒激光加工對材料沒有選擇和限制性,可以對任何材料進(jìn)行精細(xì)加工、修復(fù)和處理。

  • 飛秒激光加工需要的脈沖能量閥值極低,一般只有毫焦耳量級,這決定了加工的能量低耗性。

  • 飛秒激光加工精度高,不受光的衍射極限的限制,具有很高的空間分辨性。

 

3、飛秒激光在微納加工的應(yīng)用包括:
  • 飛秒激光能對石英、玻璃、晶體、光纖等各種透明材料內(nèi)部進(jìn)行三維加工和改性。激光光強(qiáng)大于多光子吸收閥值時,會激發(fā)透明材料對光子能量的吸收。迅速升溫然后驟然降溫,可導(dǎo)致光學(xué)透明材料折射率的變化。

  • 通過飛秒激光雙光子聚合微細(xì)加工技術(shù)來實(shí)現(xiàn)聚合物的制備。通過雙光子聚合反應(yīng),并同時產(chǎn)生固化,生成大分子的聚合物,這樣就得到了需要的三維結(jié)構(gòu)制件。

  • 在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,作為超精密外科手術(shù)刀,飛秒激光可用于視力矯正手術(shù);也可用于無痛牙科治療,可以避免了因溫度變化引起的神經(jīng)痛感。

  • 在材料制備方面,飛秒激光應(yīng)用于脈沖激光沉積領(lǐng)域,可以進(jìn)行新材料薄膜制備。

在100 μm厚的不銹鋼薄片上鉆孔,飛秒激光的加工效果明顯好于納秒激光(圖1),非常干凈。

 

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圖1 納秒脈沖和飛秒脈沖在100 μm厚的不銹鋼薄片上的鉆孔效果對比,3.3 ns對200 fs,1萬個脈沖,燒蝕閾值附近

圖2給出了利用飛秒和皮秒脈沖在0.5 mm厚的銅片上鉆孔所需的脈沖數(shù)。結(jié)果表明:飛秒(亞皮秒)脈沖的材料去除過程更高效。

 

 

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圖2 飛秒和皮秒脈沖在0.5 mm厚的銅片上鉆孔所需的脈沖數(shù)。脈沖能量:30 μJ 


在激光脈沖重復(fù)率接近兆赫茲,并具有較高的平均功率的情況下,用于加工金屬時,飛秒脈沖似乎比皮秒脈沖更有利。在用19 ps的激光脈沖鉆的孔,觀察到一個薄的熔融層。而用800 fs脈沖的時候,得到一個干凈的燒蝕區(qū)(圖3)。

 

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圖3 19 ps(a)和800 fs(b)脈沖在銅片上鉆孔。重復(fù)頻率 975 kHz;脈沖能量:50 μJ 


透明材料的焊接是一個在各個行業(yè)不可或缺的制造工藝,包括精密機(jī)械、醫(yī)療、光電產(chǎn)業(yè)等。


與用于微焊接的傳統(tǒng)激光器不同,飛秒激光以高峰值強(qiáng)度的固有特征,利用獨(dú)特的非線性吸收機(jī)制,在沒有插入中間層的情況下,可以直接焊接透明材料,如熔融石英(軟化點(diǎn),1720℃)與 SiC晶圓(熔點(diǎn),3100 ℃)的焊接。光學(xué)接觸的熔石英和碳化硅在下面的條件下被直接焊接在一起:

 

1)激光脈沖:50 kHz,240 fs,800 nm;

 

2)焊接速度和脈沖能量分別為0.5 mm/s和1 μJ。


硬而脆的材料,如藍(lán)寶石對下一代觸摸屏或被作為LED生長的基底是很重要的。實(shí)驗(yàn)表明:不像皮秒脈沖,飛秒脈沖(<700 fs)可以在藍(lán)寶石當(dāng)中用來控制單一的裂縫方向(如圖4所示)。

 

 

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圖4 裂紋形貌與激光脈沖寬度的依賴關(guān)系 


與固體飛秒激光器相比,光纖飛秒激光器有很多優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)緊湊、高集成、高穩(wěn)定、免維護(hù)、免調(diào)試;高增益、低閾值、高轉(zhuǎn)換效率;散熱性能良好;高光束質(zhì)量。光纖激光器是實(shí)用化激光光源的重要方向。

 

摻鐿(Yb)增益光纖非常適合于中心波長在1 μm的光纖激光器(圖5)。它的主要優(yōu)點(diǎn)包括:能用半導(dǎo)體激光抽運(yùn)(860-1050 nm);寬增益帶(970-1200 nm);高飽和能量(35 J/cm2);高抽運(yùn)效率;無激發(fā)態(tài)吸收等。

 

 

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圖5 摻鐿(Yb)增益光纖的吸收與發(fā)射光譜


啁啾脈沖放大技術(shù)是飛秒激光脈沖放大的必要手段。它的基本原理是在脈沖放大之前在時域上對其展寬,以避免脈沖畸變和光學(xué)損傷。然后將脈沖能量放大, 最后利用光學(xué)元件(棱鏡、光柵)對脈寬再壓縮(圖6)。

 

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 圖6 飛秒激光器結(jié)構(gòu)示意圖


實(shí)用化的光纖飛秒激光器如圖7所示。它由光纖鎖模振蕩器、光纖脈沖展寬器、光纖功率放大器及光柵脈沖壓縮器構(gòu)成。

 

 

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圖7 光纖飛秒激光器結(jié)構(gòu)示意圖


在固體飛秒激光器中常用的體光柵脈沖展寬器,由于體積大、穩(wěn)定性差、難耦合進(jìn)單模光纖,并不適合用于光纖飛秒激光器。


如果單模保偏光纖能夠用作脈沖展寬器,這些問題就會得到解決。但是通常情況下,單模保偏光纖和體光柵脈沖壓縮器都有正的三階色散,不能相互補(bǔ)償,因此脈沖壓縮效果很差。


直到利用由功率放大器產(chǎn)生的非線性相位移動來補(bǔ)償光纖脈沖展寬器和光柵壓縮器的3階色散,適合于工業(yè)/醫(yī)療應(yīng)用的穩(wěn)定可靠的光纖飛秒激光器才得以實(shí)現(xiàn)。


作為光纖飛秒激光器應(yīng)用的典型例子,美國IMRA公司和德國Carl Zeiss公司合作開發(fā)的眼科工具–VisuMax(圖8)所用的全飛秒激光手術(shù)技術(shù)是目前全球最先進(jìn)的角膜屈光手術(shù)方式。

 

 

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圖8 德國Carl Zeiss公司的眼科激光手術(shù)儀-VisuMax

 

4、為了開發(fā)脈沖能量和平均功率更高的光纖飛秒激光器,我們需要:

 

  • 更長的被展寬脈沖;
  • 更大孔徑的增益光纖;
  • 盡可能短的增益光纖;
  • 高階模損耗大的增益光纖;
  • 更高衍射效率和損傷閾值的光柵。

 

國家也非常重視飛秒激光技術(shù)在中國的發(fā)展,在“十三五”國家重點(diǎn)研發(fā)計劃—“增材制造與激光制造”專項(xiàng)中,列入了《工業(yè)級皮秒/飛秒激光器關(guān)鍵技術(shù)研究及產(chǎn)業(yè)化》項(xiàng)目,由武漢華日激光牽頭,聯(lián)合了中科院上海光機(jī)所、華中科技大學(xué)、銳科公司、華工激光共同完成。


這一研發(fā)項(xiàng)目完成后,將從理論上解決全光纖飛秒激光器的系統(tǒng)優(yōu)化問題,技術(shù)上實(shí)現(xiàn)大口徑光纖啁啾脈沖放大技術(shù)和創(chuàng)新的時空整形及聚焦技術(shù)。最終能實(shí)現(xiàn)核心器件的全自主研發(fā)和批量供應(yīng),飛秒激光器必將達(dá)到世界先進(jìn)水平并打破國外壟斷,滿足工業(yè)高產(chǎn)出率和高質(zhì)量的要求,帶動上下游技術(shù)革新和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,服務(wù)中國制造2025。
 

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