大功率激光輸出功率低頻波動(dòng)測(cè)量采用的是空心探針探測(cè)法,這一方法過(guò)去是作為大功率激光光束光斑質(zhì)量檢測(cè)而提出的。由一個(gè)定速電機(jī)帶動(dòng)空心探針轉(zhuǎn)動(dòng),探針一端有一個(gè)微孔,探針轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)微孔對(duì)光束(光斑)的某一橫截面進(jìn)行掃描,這樣就可以獲得激光功率(橫截面分布)隨時(shí)間變化的信息。
探針是該儀器的關(guān)鍵部件,包括微孔、內(nèi)光腔、反射鏡等部分,微孔的大小由被測(cè)激光光束(光斑)的功率密度確定,直徑約為20^50如m。在選擇探針材料時(shí)要考慮到抗高功率的激光損傷,另外,為了實(shí)時(shí)在線測(cè)量,探針的直徑應(yīng)盡量小,使測(cè)量時(shí)的光能量損耗小于1%。入射光束通過(guò)微孔,通過(guò)探針的兩個(gè)傾斜的反射鏡反射到熱釋電探測(cè)器上,獲得激光的強(qiáng)度。
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