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LED激光刻劃技術(shù)的特點分析(下)

星之球激光 來源:激光網(wǎng)2012-03-19 我要評論(0 )   

并不是所有的激光均適合LED刻劃,原因在于晶圓材料對于可見光波長激光的透射性。GaN對于波長小于365nm的光是透射的,而藍(lán)寶石晶圓對于波長大于177nm的激光是半透射的,...

  并不是所有的激光均適合LED刻劃,原因在于晶圓材料對于可見光波長激光的透射性。GaN對于波長小于365nm的光是透射的,而藍(lán)寶石晶圓對于波長大于177nm的激光是半透射的,因此波長為355nm和266nm的三、四倍頻的調(diào)Q全固態(tài)激光器(DPSSL)是LED晶圓激光刻劃的最佳選擇。盡管準(zhǔn)分子激光器也可以實現(xiàn)LED刻劃所需的波長,但是倍頻的全固態(tài)調(diào)Q激光器體積更小,比準(zhǔn)分子激光器所需的維護(hù)更少,而且在質(zhì)量方面,全固激光器刻劃線條非常窄,更適合于激光LED刻劃。

  激光刻劃使得晶圓微裂紋以及微裂紋擴張大大減少, LED單體之間距離更近,這樣既提高了出產(chǎn)效率也提高了產(chǎn)能。一般來講,2英寸的晶圓可以分離出20000個以上的LED單體器件,因而切割的切縫寬度就會顯著影響分粒數(shù)量;減少微裂紋對于分粒后的LED器件的長期可靠性也會有明顯的提高。激光刻劃與傳統(tǒng)的刀片切割相比,不但提高了產(chǎn)出效率,同時提高了加工速度,避免了刀片磨損帶來的加工缺陷與成本損耗,總之,激光加工精度高,加工容差大,成本低。

  總結(jié):

  隨著照明市場的持續(xù)增長,LED制造業(yè)對于產(chǎn)能和成品率的要求變得越來越高。激光刻劃技術(shù)將成為LED制造業(yè)普遍使用的技術(shù),甚者成為了高亮度LED晶圓加工的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
 

 

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