相關(guān)產(chǎn)品：準分子激光氣體

    在準分子激光器全球的醫(yī)療、半導(dǎo)體、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用，但作為專業(yè)的準分子激光氣體的重要廠商，我們同時也發(fā)現(xiàn)在準分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，筆者想通過這篇文章，以引起相關(guān)操作人員的重視。

準分子激光氣體的主要成分：

氟化氬（ArF)  193 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF)  248 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H₂、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F₂、#p#分頁標題#e#Xe、He、Ne

   顯而易見，準分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體，除非大量釋放到密閉空間會引起窒息外，對人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害最主要的做法還是通風(fēng)，增強室內(nèi)空氣的對流。

   除了稀有氣體之外，準分子激光氣中的F₂是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進行供應(yīng)，這些預(yù)混氣的F₂濃度都在1%以下，但足以對人體健康構(gòu)成威脅，尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準分子激光氣，使用的是5%F₂+95%He，這類型的氣體對人體的危害更為嚴重。

   氟氣，化學(xué)式F₂，是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體，密度（標準狀態(tài)下）：1.554kg/m³ 比空氣大。有特殊氣味，吸入感覺干燥。

　理化性質(zhì)#p#分頁標題#e#

　  化學(xué)分子式：               F₂

    分子量：                   37.9968

　　熔點(101.325kPa)：          -219.62℃

　　沸點(101.325kPa)：          -188.1℃

　　液體密度(-188.1℃，S.P.)：    1507kg/m³

　　氣體密度(25℃，101.325kPa)： 1.554kg/m³

　　相對密度(氣體，空氣=1#p#分頁標題#e#，25℃，101.325kPa)：1.312

　　比容(21.1℃，101.325kPa)：   0.6367m³/kg

　　臨界溫度：                 -128.8℃

　　臨界壓力：                 5215kPa

　　臨界密度：                 574 kg/m³

　　熔化熱(-219.67℃，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg

　　氣化熱(-188.2℃，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg

　　比熱容(氣體，#p#分頁標題#e#21.1℃，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)

　　                                 Cv=609.65J/(mol.K)

　比熱比(氣體，21.1℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358

　　蒸氣壓(53.56K)：               0.223kPa

　　      (77.17K)：              37.383kPa

　　      (89.40K)：              162.638kPa

　　粘度(氣體，0℃，101.325kPa)：#p#分頁標題#e#   0.02180mPa.s

　　(液體，-192.2℃)：              0.275mPa.S

　　表面張力(-193.2℃)：            14.81mN/m

　　導(dǎo)熱系數(shù)(氣體，0℃，101.325kPa)：0.024769W/(mol.K)

　　(液體，-188.1℃)：               0.159W/(mol.K)

　　折射率(氣體，25℃，101.325kPa)： 1.000187 #p#分頁標題#e#

　　(液體，-188.1℃)：               1.2

　　毒性級別：                      4

　　易燃性級別：                    0

　　易爆性級別：                    3

　　火災(zāi)危險度：                    極大

   氟是電負度最強的元素，也是很強的氧化劑。在常溫下，氟幾乎能和所有的元素化合，并產(chǎn)生大量的熱能，在所有元素中，氟是最活潑的。在－188℃以下，凝成黃色的液體，在-223℃變成黃色結(jié)晶體。由于氟的強化學(xué)特性，單質(zhì)氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化鈣（CaF₂），俗稱螢石或氟石。由于原子能工業(yè)的發(fā)展，提煉核燃料必須使用單質(zhì)氟，才使得氟氣發(fā)展得到大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。氟氣在現(xiàn)代工業(yè)中，特別是核工業(yè)、電氣和化工行業(yè)等部門有著十分重要的用途。

毒性#p#分頁標題#e#

　　人吸入TCLo：25ppm，5分鐘，對眼有刺激性

　　最高容許濃度：0.1 ppm (0.2mg/m³)

　　氟是劇毒性氣體，能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由于它立即與水反應(yīng)生成氟化氫HF，所以在大多數(shù)情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜，導(dǎo)致咳嗽及呼吸困難，過度吸入有可能產(chǎn)生組織破壞或肺水腫。

　　當(dāng)氟濃度為5～10ppm時，對眼、鼻、咽喉等粘膜開始有刺激作用，作用時間長時也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發(fā)的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。氟物質(zhì)會與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸，如果超過20%氟化氫或氫氟酸污染致人體可能導(dǎo)致血鈣過少。吸入氟的患者應(yīng)立即轉(zhuǎn)移至無污染的安全地方安置休息，并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水沖洗之后就醫(yī)診治。氟物質(zhì)亦會與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分，如混合氣體大量的在河邊或水中外泄，會導(dǎo)致魚類或水中生物死亡。

安全防護

　　工作場所要通風(fēng)保持空氣新鮮干燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時必須與其它物料隔離，特別是與能和氟反應(yīng)的物料隔絕，要遠離易起火地點。

　　著火時消防人員須在防爆掩蔽處操作，切不可將水直接噴射漏氣處，否則會助長火勢。滅火可用二氧化碳、干粉、砂土、廢氣可用水吸收。

安全與運輸

　　氟氣是一種毒性極高的強腐蝕性氣體，在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現(xiàn)為強烈的酸性刺激性，其性質(zhì)同氟化氫相似。與水、水蒸氣反應(yīng)，產(chǎn)生有毒腐蝕性煙氣，并放出熱。

　　氟氣對皮膚的灼傷速度比氫氟酸快許多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它對眼睛的刺激程度也大大超過 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會產(chǎn)生明顯的生理病變，但經(jīng)過呼吸系統(tǒng)進入人體的骨組織內(nèi)，引起化 學(xué)反應(yīng)導(dǎo)致骨質(zhì)松軟。氟氣屬有毒壓縮氣體，宜儲存于陰涼、通風(fēng)倉內(nèi)，，并應(yīng)遠離火種、熱源。氟氣應(yīng)與易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放。

生態(tài)資料                                                                                   

廢棄處置方法