1920年捷克斯洛伐克作家卡雷爾·恰佩克在他的科幻小說《羅薩姆的機器人萬能公司》中，根據(jù)Robota(捷克文，原意為“勞役、苦工”)和Robotnik(波蘭文，原意為“工人”)，創(chuàng)造出“機器人”這個詞。

1939年美國紐約世博會上展出了西屋電氣公司制造的家用機器人Elektro。它由電纜控制，可以行走，會說77個字，甚至可以抽煙。

1942年美國科幻巨匠阿西莫夫提出“機器人三定律”。雖然只是科幻小說里的創(chuàng)造，但后來成為學術界默認的研發(fā)原則。

1948年諾伯特·維納出版《控制論》，率先提出以計算機為核心的自動化工廠。

1954年美國人喬治·德沃爾制造出世界上第一臺可編程的機器人，這種機械手能按照不同的程序從事不同的工作。

1959年德沃爾與美國發(fā)明家約瑟夫·英格伯格聯(lián)手制造出第一臺工業(yè)機器人。隨后，成立了世界上第一家機器人制造工廠Unimation公司。

1962年美國AMF公司生產(chǎn)出“VER-STRAN”(意思是萬能搬運),與Unimation公司生產(chǎn)的Unimate一樣成為真正商業(yè)化的工業(yè)機器人，并出口到世界各國，掀起了全世界對機器人和機器人研究的熱潮。

1962年-1963年傳感器的應用提高了機器人的可操作性。1962年世界上最早的“靈巧手”用到了壓力傳感器上，而麥卡錫1963年則開始在機器人中加入視覺傳感系統(tǒng)，并在1965年幫助MIT推出了世界上第一個能識別并定位積木的機器人系統(tǒng)。

1965年約翰·霍普金斯大學應用物理實驗室研制出Beast機器人。Beast已經(jīng)能通過聲納系統(tǒng)、光電管等裝置，根據(jù)環(huán)境校正自己的位置。20世紀60年代中期開始，美國麻省理工學院、斯坦福大學、英國愛丁堡大學等陸續(xù)成立了機器人實驗室。

1968年美國斯坦福研究所公布他們研發(fā)成功的機器人Shakey。它帶有視覺傳感器，能根據(jù)人的指令發(fā)現(xiàn)并抓取積木,不過控制它的計算機有一個房間那么大。Shakey可以算是世界第一臺智能機器人，拉開了第三代機器人研發(fā)的序幕。

1969年日本早稻田大學加藤一郎實驗室研發(fā)出第一臺以雙腳走路的機器人。

1973年世界上第一次機器人和小型計算機攜手合作，就誕生了美國Cincin-natiMilacron公司的機器人T3。

1978年美國Unimation公司推出通用工業(yè)機器人PUMA，這標志著工業(yè)機器人技術已經(jīng)完全成熟。

1984年英格伯格再推機器人Help-mate，這種機器人能在醫(yī)院里為病人送飯、送藥、送郵件。同年，他還預言要讓機器人擦地板，做飯，洗車，檢查安全。1998年丹麥樂高公司推出機器人(Mind-storms)套件，讓機器人制造變得跟搭積木一樣，相對簡單又能任意拼裝，使機器人開始走入個人世界。
1999年日本索尼公司推出犬型機器人愛寶(AIBO)，當即銷售一空，從此娛樂機器人成為機器人邁進普通家庭的途徑之一。

2002年美國iRobot公司推出了吸塵器機器人Roomba，它能避開障礙，自動設計行進路線，還能在電量不足時，自動駛向充電座。Roomba是目前世界上銷量最大、最商業(yè)化的家用機器人。

2006年6月，微軟公司推出MicrosoftRoboticsStudio，機器人模塊化、平臺統(tǒng)一化的趨勢越來越明顯，比爾·蓋茨預言，家用機器人很快將席卷全球。