1、前 言

    與氣體激光器相比，半導(dǎo)體泵浦固體激光器具有體積小、重量輕、供電簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)緊湊、便于攜帶、便于維護(hù)和操作等優(yōu)點(diǎn)?，F(xiàn)在已用作手術(shù)治療、肌肉組織焊接、牙科治療、光鎮(zhèn)痛和光針灸等領(lǐng)域。2μm波段恰恰處于水分子的吸收峰，輸出波長(zhǎng)為 2μm的固體激光器是激光手術(shù)的最佳波長(zhǎng)。與通常的Nd:YAG激光(1.064μm)相比，人體對(duì)2μm激光的吸收效果更好，激光切割能力大大提高，尤其對(duì)敏感組織，如肝、胃、結(jié)腸等軟組織的燒蝕利切割效果更加理想。此外石英光纖還可以傳播2μm激光，這使得激光傳導(dǎo)更加容易。目前半導(dǎo)體激光器泵浦的Ho∶YLF 2.12μm激光器已做成結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)容易、便攜式的醫(yī)用器械。雖然2μm激光器有著如此廣泛而重要的應(yīng)用前景，并且在相應(yīng)領(lǐng)域已經(jīng)得到了大范圍的應(yīng)用，但是對(duì)于二極管泵浦2μm固體激光器深入的研究并不是伴隨著激光器的產(chǎn)生而開(kāi)始的，其間經(jīng)歷了漫長(zhǎng)的過(guò)程。

2、國(guó)外2μm波段固體激光材料及激光器的發(fā)展?fàn)顩r

（1）Ho:YAG激光器

    1965年Bell實(shí)驗(yàn)室Johnson等人首先報(bào)道了Ho:YAG在液氮溫度下實(shí)現(xiàn)振蕩[1]，使用的晶體用熔鹽法生長(zhǎng)，晶體長(zhǎng)度25mm，輸出三種不同的激光波長(zhǎng)。輸出波長(zhǎng)2.0975μm時(shí)，脈沖閾值為44J；輸出波長(zhǎng)2.0914μm時(shí)，脈沖閾值為1760J；輸出波長(zhǎng)2.1223μm時(shí)，脈沖閾值為410J。高閾值限制了Ho:YAG的應(yīng)用。

（2）Er,Tm,Ho:YAG激光器

    Ho:YAG激光器泵浦效率低是由于Ho3+在YAG中只有幾條弱吸收線(xiàn)。為了增加對(duì)燈泵能量的吸收，1966年Johnson等人采用Er3+和Tm3+來(lái)敏化Ho3+，由于它們吸收和傳遞泵浦能量，液氮溫度下得到了5％的閃光燈泵浦效率和15W的連續(xù)激光輸出[2]。1975年， Beck等人報(bào)道了直徑4mm，長(zhǎng)度70mm的晶體在液氮溫度下連續(xù)輸出50W，斜率效率6.5％，使用鎢鹵素?zé)糇鞅闷衷碵3]。1981年Barnes等人在液氮溫度下實(shí)現(xiàn)了脈沖激光振蕩和放大，TEM00模輸出112mJ，斜率效率1.2％，放大輸出235mJ。晶體直徑4mm，長(zhǎng)度56mm，晶體中Ho3+、Tm3+、Er3+和Y3+分別占0.021、0.037、0.616和0.326[4]。

（3）Tm,Ho:YAG激光器

    1987年Fan等人報(bào)道了用波長(zhǎng)為781.5二極管激光器泵浦Tm,Ho:YAG獲得室溫連續(xù)輸出，閾值4.4mW，斜率效率19％，輸出波長(zhǎng)2.074μm [5]。1990年Stoneman等人實(shí)現(xiàn)了Tm,Ho:YAG在2.09～2.12范圍連續(xù)可調(diào)諧激光輸出。晶體用引上法生長(zhǎng)，Tm3+和Ho3+的含量分別為8.3×1020cm-3和6.9×1019cm-3。

（4）Cr,Tm,Ho:YSGG激光器

    1986年Alpatev研制出Cr,Tm,Ho:YSGG（釔鈧石榴石）激光晶體，并獲得室溫?zé)舯闷置}沖輸出能量7.4J,斜率效率3.1％，輸出波長(zhǎng)2.088μm，并于1988年實(shí)現(xiàn)開(kāi)關(guān)運(yùn)行[6]。其中晶體直徑4mm，長(zhǎng)度76mm，晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為2.5×1020cm-3、8×1020cm-3、5×1019cm-3。在室溫下獲得80mJ的電光調(diào)輸出，此時(shí)的泵浦輸入為125J，調(diào)閾值為60J。在轉(zhuǎn)鏡調(diào)時(shí)，獲得280mJ的多峰光脈沖，500的總寬度，脈沖中含5～6個(gè)峰，峰-峰間隔2μm，每個(gè)峰半寬度為40～50。

（5）Cr,Tm,Ho:YAG激光器

    1988年ST Systems公司的Mark E.Storm 采用單橢圓腔,Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2.7at%、5.8at%、0.36at%。晶體直徑5mm，長(zhǎng)度53mm。閃光燈內(nèi)徑4mm，閃光燈弧長(zhǎng)50mm，閃光燈脈寬600us，全反鏡曲率半徑10m，輸出鏡透過(guò)率85％。在溫度295K時(shí)，激光閾值25J,斜率效率2.3％[7]。

    1989年美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室的G.J.Quarles等人采用67mm鍍銀橢圓腔和69mm漫反射腔，晶體直徑5mm，長(zhǎng)度76.2mm，Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為7.7×1019cm-3、8.0×1020cm-3、5.0×1019cm-3,氙燈充氣壓630Torr，閃光燈內(nèi)徑4mm，閃光燈弧長(zhǎng)63.5mm，閃光燈脈寬540us，諧振腔長(zhǎng)度為300mm，全反鏡曲率半徑為1m，輸出鏡透過(guò)率小于75％，輸出波長(zhǎng)為2.097μm。使用漫反腔得到了4.7％斜效率，閾值70J。使用鍍銀腔得到了5.1％斜效率，閾值38J[8]。同時(shí)從理論和實(shí)驗(yàn)上證明了YAG是Cr,Tm,Ho:YAG最好基質(zhì),Cr3+→Tm3+能量傳遞效率YAG高于YSAG和YSGG。

    1990年T.Becker等人報(bào)道了Cr,Tm,Ho:YAG激光器重頻30Hz時(shí)的輸出特性。Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為2at%、5at%和0.5at%。晶體直徑分別為2.8mm、4mm和5mm，晶體長(zhǎng)度為56mm，諧振腔腔長(zhǎng)300mm，全反鏡半徑1m，輸出鏡透過(guò)率15％。閃光燈內(nèi)徑為4mm，弧長(zhǎng)76mm，放電脈寬500μm。在20oC時(shí)，直徑2.8mm晶體的效率比其它兩種高，在重頻21Hz時(shí)，斜效率1.6％，同時(shí)獲得了6.5W的輸出；在重頻30Hz時(shí)，得到2W輸出。

    1991年美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室采用單橢圓鍍銀腔，晶體直徑5mm，長(zhǎng)度67mm，Cr3+、Tm3+、Ho3+濃度分別為0.8at%、6.0at%、0.4at%,氙燈充氣壓450Torr，閃光燈內(nèi)徑5mm，閃光燈弧長(zhǎng)63mm，閃光燈脈寬290μs，諧振腔長(zhǎng)度為290mm，全反鏡曲率半徑為0.5m，輸出鏡透過(guò)率20％,水溫20oC，重頻1Hz時(shí)，得到最佳斜率效率。同時(shí)，研究了調(diào)的特性，發(fā)現(xiàn)開(kāi)關(guān)的Cr,Tm,Ho:YAG效率幾乎比長(zhǎng)脈沖Cr,Tm,Ho:YAG低一個(gè)數(shù)量級(jí)，得到了2.121μm增益系數(shù)為0.07cm-1,估計(jì)調(diào)在2.121μm的增益系數(shù)為0.02～0.07cm-1[9]。

    1994年W.Zendzian等人報(bào)道了閃光燈泵浦的Cr,Tm,Ho:YAG激光器。注入能量110J時(shí)，得到了17W的輸出，斜效率為2％，同時(shí)從理論和實(shí)驗(yàn)上驗(yàn)證了熱焦距對(duì)M2參數(shù)的影響[10]。

    1998年Yoichi等人報(bào)道了在溫度10oC，泵浦能量密度85.9J/cm3,得到了Cr,Tm:YAG和Cr,Tm,Ho:YAG的最大小信號(hào)增益系數(shù)分別為0.144cm-1和0.234cm-1[11]。

    2000年Cheng Li等人報(bào)道了采用閃光燈泵浦Cr,Tm,Ho:YAG晶體，在自由運(yùn)轉(zhuǎn)模式下，室溫獲得了4.5J的激光輸出，輸出波長(zhǎng)2.098μm，斜率效率2.7％，閾值能量95J；在聲光調(diào)方式下，室溫下單模輸出大于530mJ，脈沖寬度165ns。晶體直徑為4mm，長(zhǎng)度100mm，晶體中Cr3+、Tm3+、Ho3+的含量分別為1.2at%、6.1at%、0.4at%[12]。

    在醫(yī)用鈥激光器的研究開(kāi)發(fā)方面，美國(guó)相干公司等單位居領(lǐng)先地位，1990年向用戶(hù)提供了第一臺(tái)醫(yī)用鈥激光治療機(jī)，如今已開(kāi)發(fā)出平均功率為20W、60W和100W三種單波長(zhǎng)型號(hào)，相應(yīng)重復(fù)頻率分別為5－20Hz、5-40Hz和5-50Hz，相應(yīng)單脈沖能量分別為0.5-2.5J、0.2-3.5J和0.2-3.5J，相應(yīng)的平均功率設(shè)置分別為2J/10Hz、1.5J/40Hz和2J/50Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間為500μs。此外，還有80/100W 的雙波長(zhǎng)Holmium&Nd:YAG激光器，重復(fù)頻率為5-40Hz，單脈沖能量為0.2-3.5J，相應(yīng)的平均功率設(shè)置為2J/40Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間為500μs。這些構(gòu)成了Versa Pulse PowerSuiteTm系列鈥激光器。

    美國(guó)Trimedyne公司開(kāi)發(fā)的鈥激光治療機(jī)，平均功率有30W和80W兩種。對(duì)于30W的鈥激光治療機(jī)，單脈沖能量為0.2-3.5J，重復(fù)頻率為5-20Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間為350μs。而80W鈥激光治療機(jī)采用獨(dú)特的雙脈沖技術(shù)，能夠傳遞更多的能量到硬組織，同時(shí)盡量減少對(duì)周?chē)浗M織的損傷。其單脈沖能量為0.2-3.5J,重復(fù)頻率為5-60Hz，雙脈沖模式下，單脈沖有效能量為0.4-7J，重復(fù)頻率為3-30Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間為350μs。