據(jù)日經(jīng)中文網(wǎng),日本公司Gigaphoton將投資50億日元在日本建設(shè)新廠房,生產(chǎn)DUV(深紫外)光刻機(jī)的核心設(shè)備光源,目前工廠建設(shè)正在進(jìn)行中。
Gigaphoton公司是日本最大工程機(jī)械企業(yè)小松的子公司,其在光刻機(jī)光源設(shè)備中占據(jù)高達(dá)50%的市場份額,多年來一直向ASML供貨。該公司由于掌握DUV光源這一先進(jìn)技術(shù),營業(yè)利潤率約20%,甚至超過了母公司小松,目前公司估值達(dá)到3000億日元。
據(jù)悉,如果Gigaphoton的新廠房在2023年內(nèi)竣工,那么該公司的產(chǎn)能將提高至2020年財年的將近2倍,進(jìn)一步擴(kuò)大對荷蘭ASML的供貨。目前ASML獨(dú)占EUV極紫外光刻機(jī)市場,但Gigaphoton認(rèn)為DUV深紫外光刻機(jī)產(chǎn)品仍有增長空間,后者常用于7nm以上制程工藝。
Gigaphoton公司營業(yè)收入在2022財年為585億日元,在DUV光源領(lǐng)域,該公司與ASML旗下的美國公司Cymer平分市場。Gigaphoton計劃到2030年,獲得DUV光源60%的市場份額,營業(yè)收入達(dá)到1000億日元,營業(yè)利潤率25%。
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