大族激光近期在接受機構調(diào)研時表示，目前，公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優(yōu)化。

大族激光成立于1996年，于2004年上市。公司致力于工業(yè)激光加工設備與自動化等配套設備及其關鍵器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

大族激光表示，目前，公司激光設備在薄膜電池領域國內(nèi)市占率一直位于市場前列，在鈣鈦礦電池行業(yè)幾家龍頭、前沿研究機構均取得激光設備的交付銷售，及大尺寸激光加工設備的整線交付。

公司在TOPCON領域產(chǎn)品布局完整，逐步具備TOPCON電池全產(chǎn)業(yè)鏈設備研發(fā)制造能力；在HJT電池已布局PECVD、PVD等設備產(chǎn)品。公司現(xiàn)有研發(fā)項目包括低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備、LPCVD設備等，低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備處于客戶驗證階段。