據(jù)悉，鐳測(cè)科技公司經(jīng)過(guò)7年的研發(fā)，國(guó)內(nèi)首次研究成功可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器，已經(jīng)批量生產(chǎn)。這一成果終結(jié)了我國(guó)50年靠玻璃吹制氦氖激光器的歷史，有力推動(dòng)我國(guó)高端激光儀器的發(fā)展。

清華大學(xué)教授、鐳測(cè)科技公司顧問(wèn)張書(shū)練表示，氦氖激光器，是氣體激光器的一種，是氣體激光器中最先研發(fā)問(wèn)世的產(chǎn)品類型。氦氖激光器是以中性原子氣體氦和氖為工作物質(zhì)、由放電管和光學(xué)諧振腔構(gòu)成的激光器，可輸出連續(xù)激光。氦氖激光器工作在可見(jiàn)光與紅外光頻段，可輸出綠光5435nm、紅光632.8nm、紅外光1.15μm和3.39μm等多種波長(zhǎng)。其中，紅色波長(zhǎng)632.8nm在氦氖激光器家族中有獨(dú)一無(wú)二的品質(zhì)，應(yīng)用最廣泛。波長(zhǎng)632.8nm氦氖激光束質(zhì)量高、光束橫截面上光強(qiáng)度非常接近完美的高斯分布，非常小的發(fā)散角，傳播百米后光斑直徑還保有幾毫米大??；輸出功率穩(wěn)定，噪聲非常低；有天然的頻率（波長(zhǎng)）穩(wěn)定點(diǎn)，波長(zhǎng)穩(wěn)定性可以非常高，可以做到1小時(shí)時(shí)間內(nèi)632.8nm僅漂移百萬(wàn)甚至億分之一；造價(jià)低，可靠性高，一致性好互換性強(qiáng)等。

張書(shū)練指出，氦氖激光器在儀器儀表，精密測(cè)量方面應(yīng)用廣泛，無(wú)可替代。國(guó)內(nèi)外的單頻干涉儀，雙頻干涉儀，面型干涉儀，測(cè)振儀，橢偏儀，激光陀螺儀等都采用氦氖激光器做光源，這些儀器是精密機(jī)床、光刻機(jī)、航空、航天、機(jī)械和光學(xué)加工，薄膜技術(shù)等領(lǐng)域精度的保證。我國(guó)這些產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展的速度加快，市場(chǎng)對(duì)相關(guān)儀器的需求將持續(xù)增長(zhǎng)，將會(huì)拉動(dòng)我國(guó)對(duì)可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器需求規(guī)模不斷擴(kuò)大。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2022-2026年氦氖激光器行業(yè)深度市場(chǎng)調(diào)研及投資策略建議報(bào)告》顯示，2021年，全球氦氖激光器市場(chǎng)規(guī)模約為0.74億元；預(yù)計(jì)2021-2026年，全球氦氖激光器市場(chǎng)將以4.2%左右的年均復(fù)合增速增長(zhǎng)，到2026年市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到0.91億元左右。在全球市場(chǎng)中，氦氖激光器生產(chǎn)商主要有美國(guó)Lumentum Operations、美國(guó)Melles Griot（被Pacific Lasertec收購(gòu)）、美國(guó)Thorlabs、美國(guó)Excelitas Technologies、德國(guó)Lasos、德國(guó)Phywe、日本Neoark。

張書(shū)練表示，多年來(lái)，我國(guó)依賴玻璃吹制技術(shù)生產(chǎn)氦氖激光器（管），激光器之間一致性較差，穩(wěn)定性不佳，不能達(dá)到各類激光儀器的應(yīng)用要求。過(guò)去幾十年，雖然國(guó)內(nèi)也有對(duì)可伐-玻璃組裝式（無(wú)吹制）氦氖激光器進(jìn)行了研究，但沒(méi)有堅(jiān)持下來(lái)，也曾引進(jìn)了一條國(guó)外（裝配）生產(chǎn)線，運(yùn)行幾年，終因沒(méi)有自己元器件供應(yīng)鏈，沒(méi)有自己的工藝被迫停產(chǎn)。激光儀器儀表儀器裝配的氦氖激光器都從國(guó)外購(gòu)買，因?yàn)槿菀最l率突跳或不出雙頻振蕩，淘汰率很高。

鐳測(cè)科技自主研發(fā)的可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器用已成批用于雙頻激光干涉儀上和光刻機(jī)的失效激光器替換。用作雙頻激光器時(shí)，激光功率可以達(dá)到1.3mW以上，激光頻率差可選定3MHz、7MHz、10 MHz、20 MHz，或更大，這是國(guó)內(nèi)外以前沒(méi)有實(shí)現(xiàn)的。此外，之前，不論是單頻還是雙頻激光干涉儀，國(guó)產(chǎn)還是國(guó)外購(gòu)買，各型號(hào)都有幾納米甚至十幾納米的非線性誤差，可伐-玻璃組裝式的氦氖激光器作光源的雙頻激光干涉儀非線性誤差不大于1納米。