半導(dǎo)體光電材料和器件具備典型的軍民兩用特征,意義重大。一方面,先進制造、信息通信、探測感知等戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)的發(fā)展離不開先進半導(dǎo)體光電材料與器件的應(yīng)用;另一方面,高功率半導(dǎo)體激光器在國防與高精度導(dǎo)航領(lǐng)域也扮演著關(guān)鍵角色。
5月25日下午,“大功率半導(dǎo)體激光器前沿問題專題研討會”在蘇州召開,研討會由材料科學(xué)姑蘇實驗室主辦,集聚了國內(nèi)大功率半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域頂尖院士專家、龍頭企業(yè)家代表,為學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界同仁搭建高水平技術(shù)交流平臺,探討基礎(chǔ)的機理機制問題和未來產(chǎn)品發(fā)展共性技術(shù)問題,旨在增強同行業(yè)高水平企業(yè)間的合作,共同攜手攻克競爭前的共性技術(shù)難題,努力打造一個蘇州市創(chuàng)新集群建設(shè)的標桿,進而促進大功率半導(dǎo)體激光器整個國內(nèi)行業(yè)基礎(chǔ)的提升。
產(chǎn)業(yè)學(xué)術(shù)界代表作主旨報告
首先,由四位產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界代表作主旨報告。
長光華芯副董事長、CTO王俊博士的報告圍繞高功率半導(dǎo)體激光器的發(fā)展趨勢、當前研究水平展開,指出行業(yè)面臨的主要問題——功率和亮度是半導(dǎo)體激光器的主戰(zhàn)場,功率尋求突破,需要考慮高熱導(dǎo)率熱沉、新型散熱結(jié)構(gòu)問題;亮度尋求突破,需要加強模擬、設(shè)計、測量分析以及精確的工藝控制。此外,還要尋求降低制造成本的方式。
中科光芯董事長、總經(jīng)理蘇輝博士則就“InP高功率半導(dǎo)體激光器關(guān)鍵問題及下步計劃”的主題進行分享,分析國內(nèi)外產(chǎn)品市場情況,找出制約高功率半導(dǎo)體激光器的主要因素,包括電子限制、發(fā)熱與散熱、SOA集成和低損耗外延。下一步,計劃實現(xiàn)300~500mW級1550nm高功率半導(dǎo)體激光器,以及不同材料的集成以及級聯(lián)。
度亙激光副董事長、CTO楊國文博士介紹了高功率半導(dǎo)體激光器的分類、應(yīng)用及瓶頸問題。高功率半導(dǎo)體研究是一項綜合性極強的系統(tǒng)工程,需要眾多學(xué)科交叉的深入融合,需要基礎(chǔ)科學(xué)與工程技術(shù)的深度融合。他指出行業(yè)未來發(fā)展的趨勢,將從設(shè)計、材料、工藝、封裝及失效機理幾個方面實現(xiàn)技術(shù)突破。同時,極端參量理論體系存在大量科學(xué)問題,逼迫對原理進行研究,將帶動各方面實現(xiàn)新型材料和器件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
中科院蘇州納米所研究員劉建平的報告,結(jié)合理論和研究經(jīng)驗,從研究背景、前沿問題,以及研究進展角度闡釋了氮化鎵激光器研究前沿與進展,并提出藍光激光器、綠光激光器、紫外激光器以及GaN基VCSEL和DFB激光器各自的發(fā)展瓶頸及原因。
院士專家研討環(huán)節(jié)
精彩的主旨報告之后,是專家研討環(huán)節(jié)。首先由中國工程院院士陳良惠發(fā)表講話,他說:今天的報告讓我們看到了國內(nèi)大功率半導(dǎo)體激光器的最高水平,大家提到的一些關(guān)鍵共性技術(shù)問題,比如熱沉問題、銦磷國產(chǎn)化問題、模擬設(shè)計軟件國產(chǎn)化問題、MOCVD及MBE等設(shè)備的國產(chǎn)化問題,不是一家企業(yè)或者研發(fā)機構(gòu)可以解決的,需要面向未來,由龍頭企業(yè)、科研院所、院士專家各方積極開展全方位深層次合作,可以考慮由姑蘇實驗室牽頭,面向這些領(lǐng)域開展聯(lián)合研究。姑蘇實驗室的“成果交易前置模式”模式,為合作提供了很好的范本,有助于聯(lián)合企業(yè)進行協(xié)同創(chuàng)新,促進產(chǎn)學(xué)研融合,提高成果轉(zhuǎn)化效率,實現(xiàn)高功率半導(dǎo)體激光器前沿關(guān)鍵技術(shù)的重大突破,引領(lǐng)行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新與發(fā)展。
中國科學(xué)院院士王立軍表示,我國的半導(dǎo)體激光器技術(shù)早期與國外發(fā)展同步,但是長期受制于產(chǎn)業(yè)發(fā)展滯后的影響,整體水平與國際龍頭仍有差距。隨著近年來中國激光產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,市場需求不斷釋放,以及國家陸續(xù)推出相關(guān)政策推動光電子器件行業(yè)的發(fā)展,為培養(yǎng)國際一流水平奠定了基礎(chǔ)。蘇州占據(jù)長三角區(qū)位優(yōu)勢,集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)雄厚,擁有完善的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈,行業(yè)龍頭企業(yè)集聚。蘇州有基礎(chǔ)、有能力集合全國優(yōu)勢,攻克半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域國家亟需的問題。王院士還從學(xué)術(shù)角度出發(fā),建議要重視新結(jié)構(gòu)、新材料,特別是高溫器件的研究。
姑蘇實驗室G2101項目負責(zé)人王庶民教授也從物理角度提出實驗室下一步重點關(guān)注方向的建議,一是通過改變增益的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)更高的增益,二是通過泵浦和放大分開設(shè)計諧振腔。中科院半導(dǎo)體所、中科院蘇州納米所、華為海思的參會專家也都紛紛發(fā)表各自的見解,為行業(yè)技術(shù)發(fā)展建言獻策。
實驗室執(zhí)行主任楊輝研究員做總結(jié)發(fā)言,他表示,大功率半導(dǎo)體激光器在先進制造業(yè)和國家安全領(lǐng)域具有十分重要的意義。今天在座的各位企業(yè)都是國內(nèi)半導(dǎo)體激光器領(lǐng)域的佼佼者,代表行業(yè)最高技術(shù)水平。同行之間應(yīng)當加強聯(lián)合,共同探討國家“卡脖子”的共性技術(shù)問題,共同呼吁政府對大功率半導(dǎo)體激光器行業(yè)的關(guān)心與支持,共同面對新形勢、新要求帶給行業(yè)的壓力。企業(yè)面臨的共性技術(shù)難點問題,可以在姑蘇實驗室內(nèi)組織攻克,實驗室擁有多學(xué)科交叉的一流科研人才資源、有一流的高端科研設(shè)備,還有頂尖的業(yè)內(nèi)專家資源,幫助解決高水平技術(shù)問題。最后,楊主任呼吁大家以本次大會為開端,加強技術(shù)研討,凝聚合作共識,在姑蘇實驗室的平臺上,聯(lián)合長光華芯、度亙等企業(yè)組建跨界項目組合,打造蘇州市大功率半導(dǎo)體激光器創(chuàng)新集群標桿,提升全域產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能級。
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