1.1 引言

更高的功率、更短的脈沖、更強(qiáng)的亮度是激光器技術(shù)發(fā)展不變的追求。在脈沖激光器工業(yè)應(yīng)用中，短脈沖、高峰值對(duì)材料加工效果有重要影響。光纖激光器相比固體激光器而言，在平均功率上更具優(yōu)勢(shì)，在峰值功率上則受到明顯的限制。長(zhǎng)期以來(lái)光纖脈沖激光器的脈寬局限在ns以上，峰值15kW以內(nèi)，以100ns 1mJ為標(biāo)準(zhǔn)。

光至科技自成立以來(lái)，以“光照萬(wàn)物，至誠(chéng)致遠(yuǎn)”為發(fā)展愿景和價(jià)值理念，以創(chuàng)新創(chuàng)造價(jià)值為生存之本，專(zhuān)注于光纖脈沖激光器的品質(zhì)提升。光至科技自2019年推出GT系列MOPA脈沖激光器以來(lái)，歷經(jīng)多輪迭代，不斷完善，將激光器的峰值功率推升到150kW以上，脈沖寬度延伸到200ps以下，高功率光束質(zhì)量?jī)?yōu)化到1.4以內(nèi)，為光纖MOPA脈沖激光器開(kāi)拓了無(wú)損標(biāo)記、玻璃打孔、極片切割以及薄片金屬高強(qiáng)度焊接等的應(yīng)用場(chǎng)景和極致的加工體驗(yàn)。

圖1 光至科技200W GT系列MOPA脈沖激光器

2. 提高脈沖峰值功率的方法

如圖2所示的激光脈沖序列中，峰值功率等于脈沖能量除以脈沖寬度，因此在同等能量條件下，縮短脈沖寬度可以大大增加峰值功率，同等脈寬條件下，提高峰值則可以增加脈沖能量。目前主流工業(yè)市場(chǎng)上固體脈沖激光器中，納秒級(jí)脈寬的激光器能量可達(dá)mJ級(jí)，以1mJ能量10ns脈寬計(jì)算，峰值功率可達(dá)100kW。皮秒脈沖激光器能量在300μJ左右，以10ps計(jì)算，峰值功率可達(dá)30MW。飛秒脈沖激光器能量以100μJ，脈寬500fs計(jì)算，則峰值功率達(dá)到200MW。作為比較，常規(guī)的MOPA納秒脈沖激光器的峰值功率在10kW左右，遠(yuǎn)低于固體激光器的指標(biāo)。

圖2 脈沖寬度與峰值功率

3. 提高光纖脈沖峰值功率的受限因素

圖3給出了大模場(chǎng)單芯光纖的輸出能力受限因素分解框圖。主要的受限因素包括5項(xiàng)：負(fù)載能力受限、B 積分受限、提取效率受限、光束質(zhì)量受限以及偏振態(tài)受限。在圖3給出的各種物理機(jī)制的解決方法分屬于不同的設(shè)計(jì)層級(jí)，具體包括：基質(zhì)材料、增大模場(chǎng)、導(dǎo)模結(jié)構(gòu)和偏振結(jié)構(gòu)屬于光纖設(shè)計(jì)層級(jí)，圖中以藍(lán)色框表示；端面戴帽擴(kuò)束、模式激發(fā)、模式濾波屬于器件設(shè)計(jì)層級(jí)，圖中以橙色框表示；泵浦方式、隔離濾波和偏振控制屬于單元設(shè)計(jì)的層級(jí)，圖中以綠色框表示；增大帶寬、脈寬選擇、重頻選擇和增益分配則屬于系統(tǒng)設(shè)計(jì)層級(jí)，圖中以紫色框表示。除了上述5項(xiàng)之外，在連續(xù)高功率光纖激光器中需要考慮的熱效應(yīng)并未在此列出，因?yàn)槲覀冏非蟮母叻逯倒β使饫w放大器中，平均功率遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于熱效應(yīng)能夠發(fā)揮顯著作用的范疇，在此不做討論。

圖3 脈沖光纖激光器峰值功率受限因素分析

負(fù)載能力受限以激光強(qiáng)度度量，物理機(jī)制包括體損傷和面損傷，其中面損傷可以通過(guò)端面戴帽技術(shù)予以避免，體損傷則受限于光纖基質(zhì)材料特性，為極限受限因素。典型地，光強(qiáng)閾值約為4.75kW/μm2，對(duì) 50μm 的模場(chǎng)直徑，對(duì)應(yīng)的損傷功率閾值達(dá)到 9.3MW，已經(jīng)遠(yuǎn)超過(guò)目前脈沖光纖激光器芯內(nèi)峰值功率的水平，也高于自聚焦閾值功率，因此，體損傷目前還不是需要考慮的問(wèn)題。

提取效率主要受限于自發(fā)輻射放大（ASE），受限于多級(jí)放大器的增益分配，級(jí)內(nèi)則受限于脈沖的占空比。特別是在亞納秒短脈沖放大條件下，ASE直接限制了脈沖能量的提升，也限制峰值功率的提升。不過(guò)ASE的限制可以通過(guò)合理設(shè)計(jì)多級(jí)放大器，優(yōu)化級(jí)間增益分配和泵浦方式來(lái)抑制，另外還可以通過(guò)光譜濾波和聲光濾波的方式減少傳導(dǎo)到后級(jí)的ASE成分。合理的級(jí)間增益分配還有助于抑制脈沖增益飽和問(wèn)題，獲得更加完美的脈沖波形。

光束質(zhì)量受限以光束質(zhì)量因子 M² 度量，為獲得基模輸出主要是要通過(guò)光波導(dǎo)導(dǎo)模結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以保證單?；蛘呱倌＿\(yùn)轉(zhuǎn)，在此基礎(chǔ)上輔助以不同芯徑光纖熔接時(shí)模式激發(fā)控制以及光纖盤(pán)繞等模式濾波手段來(lái)改善光束質(zhì)量。目前能夠保證高光束質(zhì)量輸出的常規(guī)光纖就是30/250，光子晶體等特殊光纖的纖芯可以擴(kuò)大到100μm左右。這種模場(chǎng)尺寸相比工業(yè)固體激光器毫米級(jí)的光斑尺寸仍然太小，后面提到的諸多非線性效應(yīng)都跟B積分有關(guān)，而B(niǎo)積分是反比于模場(chǎng)面積的。

偏振態(tài)受限以偏振度度量，物理機(jī)制主要是光纖波導(dǎo)的偏振特性。在普通的雙包層光纖中，線偏振光會(huì)發(fā)生退偏，且退偏度對(duì)彎曲和環(huán)境參數(shù)敏感，難以保持穩(wěn)定的偏振態(tài)輸出。同樣條件下，偏振光一般比非偏振光的峰值功率閾值低一半，因?yàn)榉瞧窆饪梢苑纸鉃閮蓚€(gè)正交的非偏振光分量。

在脈沖光纖激光器中，影響峰值功率最重要的因素是B積分，也就是光纖中的非線性相位偏移量，B積分的定義如下：

可見(jiàn)，B積分正比于功率隨光纖長(zhǎng)度的積分，同時(shí)與模場(chǎng)直徑和激光波長(zhǎng)成反比。

光纖中的三階非線性效應(yīng)可以分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是光強(qiáng)誘導(dǎo)的折射率調(diào)制效應(yīng)，包括自相位調(diào)制（SPM）、交叉相位調(diào)制（Cross-Phase Modulation:XPM）、調(diào)制不穩(wěn)定性（Modulation Instability: MI）、四波混頻（Four-Wave Mixing:FWM）以及自聚焦（Self-Focusing: SF）等；另一類(lèi)是非彈性光散射效應(yīng)，涉及光子與基質(zhì)材料晶格振動(dòng)之間的能量交換，包括受激布里淵散射（SBS）和受激拉曼散射（SRS）。這其中，最高的限制取決于自聚焦閾值，對(duì)光纖材料而言，這個(gè)值大概在4MW的水平。在自聚焦閾值之下，受激拉曼散射是最重要的限制，因?yàn)槔庀啾然l光的光譜頻移量高達(dá)60nm，拉曼成分過(guò)高會(huì)嚴(yán)重影響隔離器磁光晶體的作用，也會(huì)給鏡頭帶來(lái)很大的色差。圖4給出了光纖內(nèi)峰值功率超過(guò)自聚焦閾值時(shí)產(chǎn)生的自聚焦成絲的演化過(guò)程。

圖4 功率為 2倍自聚焦閾值功率（8MW）下，在（圖a）80μm和（圖b）200μm芯徑光纖中LP₀₂ 模式的光強(qiáng)分布

4. 提高光纖脈沖激光峰值功率的應(yīng)用

在深刻理解脈沖光纖激光器峰值功率提升受限物理限制的前提下，通過(guò)綜合優(yōu)化光纖選型、放大器設(shè)計(jì)和關(guān)鍵器件定制，光至科技推出了全系列GT高峰值功率脈沖MOPA激光器產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)了從200ps到50ns的短脈沖高峰值放大，從20W到200W平均功率全覆蓋，峰值功率包括GT30、GT60、GT100、GT150等多個(gè)規(guī)格。

光至針對(duì)陽(yáng)極鋁打黑推出的20W GMX，脈寬低至500ps，峰值約40kW,同等打黑效果下效率能較普通MOPA 20W提升1~3倍，極具性價(jià)比。

圖5 200ps，速度從1000mm/s增加至10000mm/s效果

圖6  不同脈寬下黑度值與雕刻速度的關(guān)系

針對(duì)玻璃打孔，光至推出的GT系列產(chǎn)品，功率從80W到200W，峰值100kW，可以實(shí)現(xiàn)多種玻璃70mm以內(nèi)的切孔，這突破了超短及綠光光源才能做的應(yīng)用，將玻璃切割設(shè)備成本大幅度降低。

圖7 100W GT切割3mm玻璃70mm孔

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